技术总结
本实用新型涉及到一种石墨舟，具体涉及到一种高能效石墨舟领域。该高能效石墨舟包括石墨舟舟片、陶瓷环、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨块，所述石墨舟舟片按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片之间设置有一个陶瓷环，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨块将石墨舟舟片两端连接，所述石墨舟舟片其中一端最中心处的石墨舟舟片的一侧其上部设置有上石墨电极块，其下部设置有下石墨电极块，其另一侧设置有陶瓷片，所述陶瓷片设置在上石墨电极块和中心处的石墨舟舟片的两侧。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。
技术研发人员：黄春雨
受保护的技术使用者：苏州旗正保精密机械有限公司
文档号码：201620966021
技术研发日：2016.08.29
技术公布日：2017.06.20