一种真空镀膜系统及其柔性产品光学镀膜工装的制作方法

本实用新型涉及光学仪器的光学镀膜技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜系统的柔性产品光学镀膜工装。本实用新型还涉及一种包括该柔性产品光学镀膜工装的真空镀膜系统。

背景技术：

随着我国现代制造业的崛起，光学产品被广泛的应用到人们的实际生产和生活当中去，光学产品在使用时根据不同的使用需求需要在光学产品的表面进行镀膜。

在对柔性产品进行镀膜时，需要通过工装将柔性工件安装在真空腔内，如图1所示，现有的柔性产品光学镀膜工装包括驱动101、与驱动101传动连接的锅架103、设置在锅架上的挂钩组件102、安装在锅架103上的锅体104，和设置在锅体104内的片托式夹具105；如图2所示，镀膜时需要将柔性产品108加工成(人工或者机器)符合片托式夹具105的尺寸，然后人工将加工好的柔性产品108装到两夹片107之间，并盖上防污片106，再对应的装满整个锅，最后通过上锅机构(类似叉车装置)将整个锅带锅架一起安装到真空腔体内。由于片托式夹具在加工中需要平铺在锅体中，且需要将柔性产品加工为与片托式夹具匹配的规格，导致单个片托式夹具所镀产品面积和有效利用率较低，影响镀膜效率；且一炉中所需的片托式夹具较多，导致被镀产品的边缘浪费较大，空间利用率较低。

因此，提供一种用于真空镀膜系统的柔性产品光学镀膜工装，以期降低工件的安装难度，缩减人力和时间成本，同时提高成品面积和空间利用率，提高镀膜效率，就成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜系统的柔性产品光学镀膜工装，以期降低工件的安装难度，缩减人力和时间成本，同时提高成品面积和空间利用率，提高镀膜效率。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述柔性产品光学镀膜工装的真空镀膜系统。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种柔性产品光学镀膜工装，用于真空镀膜系统，包括驱动组件、在所述驱动组件的作用下转动的转架装置，和可拆卸地安装于所述转架装置上的柔性夹具，待镀膜工件夹持固定于所述柔性夹具内；所述转架装置包括驱动连接件，和多个可拆卸地安装于所述驱动连接件周向上的隔板，所述柔性夹具可拆卸地安装于相邻的两所述隔板上，且所述待镀膜工件的镀膜面朝向所述真空镀膜系统的膜料源。

进一步地，所述隔板上开设有导轨，所述柔性夹具以其边缘插装于相邻两所述导轨。

进一步地，所述柔性夹具上设置有第一挂接部，所述隔板上设置有与所述第一挂接部配合的第二挂接部。

进一步地，所述驱动连接件为法兰盘，所述法兰盘的周向均匀设置有多个卡槽，各所述隔板分别一一对应地插装于安装于所述卡槽内。

进一步地，所述转架装置还包括围挡303和挡板，所述围挡303和所述挡板均通过导向螺柱固定在所述隔板的四周。

进一步地，所述隔板朝向所述膜料源的一侧侧面具有预设弧度，且各所述隔板在周向均布形成伞形骨架结构。

进一步地，所述柔性夹具包括柔性夹板，和将所述待镀膜工件安装于所述柔性夹板的夹子，处于安装状态时，所述柔性夹板的边缘与所述隔板的边缘相贴合。

进一步地，所述柔性夹具还包括与所述柔性夹板相贴合的光控板，所述光控板的预设位置开设有至少一个透光孔。

进一步地，所述光控板为柔性材料板。

本实用新型还提供一种真空镀膜系统，包括真空腔和设置于所述真空腔的膜料源，还包括如上所述的柔性产品光学镀膜工装，所述柔性产品光学镀膜工装设置于所述真空腔内，并位于所述膜料源的上方。

本实用新型所提供的一种柔性产品光学镀膜工装，用于真空镀膜系统，该工装包括驱动组件、在所述驱动组件的作用下转动的转架装置，和可拆卸地安装于所述转架装置上的柔性夹具，待镀膜工件夹持固定于所述柔性夹具内；所述转架装置包括驱动连接件，和多个可拆卸地安装于所述驱动连接件周向上的隔板，所述柔性夹具可拆卸地安装于相邻的两所述隔板上，且所述待镀膜工件的镀膜面朝向所述真空镀膜系统的膜料源。

在装配过程中，先将转架装置装配好，隔板周向均匀安装在驱动连接件上，并在两隔板之间形成柔性夹具安装位置，再通过螺钉连接方式将整个装配好的转架装置安装到驱动上，将带有待镀膜工件的柔性夹具安装在两隔板之间的预定位置即可完成装配。这样，该工装生产时操作方便，柔性夹具可形成较大的面积，减少柔性夹具数量，减少了大量的操作时间，同时减低了操作难度，节约了大量的人力成本。并且，成品面积和有效利用面积大，单片的成品面积大可以提高成品的竞争力，在大面积产品上具强有力的优势，整炉有效面积大大提高，比原来的提高了40％，极大地提高了设备的使用率和产能。

附图说明

图1为现有技术中镀膜工装的结构示意图；

图2-图3为本实用新型所提供的镀膜工装使用导轨连接方式的结构示意图；

图4-图5为本实用新型所提供的镀膜工装使用挂接结构连接方式的结构示意图；

图6为本实用新型所提供的柔性夹具的结构示意图；

图7为本实用新型所提供的镀膜工装所在的真空镀膜系统的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

请参考图3-图6，图3-图4为本实用新型所提供的镀膜工装使用导轨连接方式的结构示意图；图5-图6为本实用新型所提供的镀膜工装使用挂接结构连接方式的结构示意图。

在一种具体实施方式中，本实用新型所提供的一种柔性产品光学镀膜工装，用于真空镀膜系统，该工装包括驱动组件200、在所述驱动组件200的作用下转动的转架装置300，和可拆卸地安装于所述转架装置300上的柔性夹具400，待镀膜工件500夹持固定于所述柔性夹具400内；所述转架装置300包括驱动连接件301，和多个可拆卸地安装于所述驱动连接件301周向上的隔板302，所述柔性夹具400可拆卸地安装于相邻的两所述隔板302上，且所述待镀膜工件500的镀膜面朝向所述真空镀膜系统的膜料源600。

具体地，上述驱动连接件301为与驱动组件200的输出轴传动连接的法兰盘，所述法兰盘的周向均匀设置有多个卡槽，各所述隔板302分别一一对应地插装于安装于所述卡槽内，隔板302通过卡槽卡接的方式安装在法兰盘的周围，连接较为方便，结构简单，便于拆装。理论上，驱动连接件301不局限于为法兰盘，其也可以为与驱动组件200连接的其他结构，例如转接座等；隔板302也不局限于通过插装形式安装于法兰盘，例如，也可以在法兰盘上安装卡扣，在隔板302上设置卡钩，通过卡钩与卡扣的卡接形式实现可拆卸连接。

为了提高结构稳定性，上述转架装置300还包括围挡303和挡板304，所述围挡303和所述挡板304均通过导向螺柱固定在所述隔板302的四周，以形成完整的圆盘形结构。

在装配过程中，先将转架装置300装配好，隔板302周向均匀安装在驱动连接件301上，并在两隔板302之间形成柔性夹具400安装位置，再通过螺钉连接方式将整个装配好的转架装置300安装到驱动上，将带有待镀膜工件500的柔性夹具400安装在两隔板302之间的预定位置即可完成装配。这样，该工装生产时操作方便，柔性夹具400可形成较大的面积，减少柔性夹具400数量，减少了大量的操作时间，同时减低了操作难度，节约了大量的人力成本。并且，成品面积和有效利用面积大，单片的成品面积大可以提高成品的竞争力，在大面积产品上具强有力的优势，整炉有效面积大大提高，能够比原来的提高了40％，极大地提高了设备的使用率和产能。

上述柔性夹具400可以通过导滑连接的方式安装在隔板302，具体地，隔板302上可以开设有导轨，所述柔性夹具400以其边缘插装于相邻两所述导轨，各隔板302的设置方向以法兰盘的中心为原点向外呈辐射状分布，导轨沿隔板302的辐射方向开设。

从理论上来讲，柔性夹具400也不局限于上述导滑连接的方式，其也可以采用挂接方式安装在隔板302上，即柔性夹具400上设置有第一挂接部，该第一挂接部具体开设在柔性夹具400的托盘架401上，隔板302上设置有与所述第一挂接部配合的第二挂接部，通过第一挂接部与第二挂接部的挂接实现柔性夹具400与隔板302的连接。

进一步地，上述隔板302朝向所述膜料源600的一侧侧面具有预设弧度，且各所述隔板302在周向均布形成伞形骨架结构，隔板302形成预设弧度，以提高镀膜的均匀性。

为了便于与隔板302的弧形结构相适配，使得当柔性夹具400通过导轨推入隔板302、或通过挂接结构安装在隔板302上时，能够与隔板302边沿很好地贴合，如图7所示，上述柔性夹具400包括柔性夹板402，和将所述待镀膜工件500安装于所述柔性夹板402的夹子403，处于安装状态时，所述柔性夹板402的边缘与所述隔板302的边缘相贴合。该柔性夹具400还包括与所述柔性夹板402相贴合的光控板404，所述光控板404的预设位置开设有至少一个透光孔4041，以便根据需要调整镀膜厚度，具体地，该光控板404为柔性材料板。

上述柔性夹板402和夹子403均采用薄板加工，结构简单，加工方便，且不易损坏，还可以根据导轨的弧形随意成型，待镀膜工件500成品面积大，整体安装方便；镀膜时采用光控检测镀膜厚度，柔性材料板形成的光控板404作为承载光控监测片的载体，可以根据导轨的形状而成型，可以与柔性柔性夹具400形成相同的弧度。

下面以上述具体实施方式为例，简述本实用新型所提供的镀膜工装的装配过程：

将转架装置300装配好，并将光控板404安装到转架装置300上，通过螺钉连接方式将整个装配好的转架装置300安装到驱动组件200上，将装好待镀膜工件500的柔性夹具400通过导轨导入预定的位置或通过挂接结构固接到隔板302上。

其中，转架装置300的隔板302通过卡槽安装在法兰盘的周向，隔板302可为12块(即导轨可以为两个以上的任意个，根据产品成型面积来确认，如隔板为12PC，则能够安装11个夹具柔性夹具400)，通过螺钉锁紧，不需要调节，整体成伞型结构，围挡303和挡板304通过导向螺柱固定在隔板302四周，使得整体成一个完成的圆形，在镀膜时可防止磨料飞溅到待镀膜工件500无需镀膜的一面，同时也可以增强整体稳定性。

柔性夹具400的柔性夹板402和夹子403均采用特殊板材(例如薄板)加工，结构简单，不易损坏，可以根据导轨的弧形随意成型，待镀膜工件500成品面积大，整体安装方便。

镀膜时的安装过程为：裁剪与柔性夹具相符尺寸的待镀膜工件500，装好夹紧，(共11片)；向上拉开挡板304，通过导轨上的导槽慢慢地导入，直到不能再推动位置(为挂接结构时，通过将第二挂接件挂接在第一挂接件上)，将挡板304拉下，结束一片的安装，重复上述将11片装好，确认均在导槽中，将防污板或者防污膜覆盖上。

除了上述柔性产品光学镀膜工装，本实用新型还提供一种包括柔性产品光学镀膜工装的真空镀膜系统，该真空镀膜系统包括真空腔700和设置于所述真空腔的膜料源600，柔性产品光学镀膜工装设置于所述真空腔内，并位于所述膜料源600的上方，柔性产品光学镀膜工装与驱动组件相连，带动整个工装旋转，通过膜料源600蒸发磨料形成原子，形成产品表面的膜层，能量源附着在产品表面的原子更加紧实，同时两侧有均匀挡板800调节产品的均匀性，通过监控系统来检测产品表面的镀膜厚度，温度供应部件900起到调节镀膜温度的作用。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。