一种真空镀膜系统及其柔性产品光学镀膜工装的制作方法

文档序号:11041460阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性产品光学镀膜工装,用于真空镀膜系统,其特征在于,包括驱动组件、在所述驱动组件的作用下转动的转架装置,和可拆卸地安装于所述转架装置上的柔性夹具,待镀膜工件夹持固定于所述柔性夹具内;所述转架装置包括驱动连接件,和多个可拆卸地安装于所述驱动连接件周向上的隔板,所述柔性夹具可拆卸地安装于相邻的两所述隔板上,且所述待镀膜工件的镀膜面朝向所述真空镀膜系统的膜料源;所述柔性夹具包括柔性夹板,和将所述待镀膜工件安装于所述柔性夹板的夹子,处于安装状态时,所述柔性夹板的边缘与所述隔板的边缘相贴合。

2.根据权利要求1所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述隔板上开设有导轨,所述柔性夹具以其边缘插装于相邻两所述导轨。

3.根据权利要求1所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述柔性夹具上设置有第一挂接部,所述隔板上设置有与所述第一挂接部配合的第二挂接部。

4.根据权利要求1-3任一项所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述驱动连接件为法兰盘,所述法兰盘的周向均匀设置有多个卡槽,各所述隔板分别一一对应地插装于安装于所述卡槽内。

5.根据权利要求4所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述转架装置还包括围挡和挡板,所述围挡和所述挡板均通过导向螺柱固定在所述隔板的四周。

6.根据权利要求1-3任一项所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述隔板朝向所述膜料源的一侧侧面具有预设弧度,且各所述隔板在周向均布形成伞形骨架结构。

7.根据权利要求6所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述柔性夹具还包括与所述柔性夹板相贴合的光控板,所述光控板的预设位置开设有至少一个透光孔。

8.根据权利要求7所述的柔性产品光学镀膜工装,其特征在于,所述光控板为柔性材料板。

9.一种真空镀膜系统,包括真空腔和设置于所述真空腔的膜料源,其特征在于,还包括如权利要求1-8任一项所述的柔性产品光学镀膜工装,所述柔性产品光学镀膜工装设置于所述真空腔内,并位于所述膜料源的上方。

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