一种单晶硅片研磨砂轮的制作方法

文档序号:11346641阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅片研磨砂轮,其特征在于:包括一砂轮本体,所述砂轮本体的中心设有一内孔,所述砂轮本体的边缘处为斜面,所述斜面与砂轮本体表面的角度为45°,所述砂轮本体的直径为150mm,所述砂轮本体的厚度为10mm。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片研磨砂轮,其特征在于:所述内孔的直径为30mm。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片研磨砂轮,其特征在于:所述砂轮本体的内部为铝基合金材质,外表面为金刚砂材质。

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