一种多层纳米复合涂层的制作方法

文档序号:12646345阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种涂层,所述涂层为一种多层纳米复合涂层,包括过渡层和表涂层,其中表涂层为TiCN纳米涂层;所述过渡层为Ti、TiC、TiN、或Ti/TiN纳米层。

2.根据权利要求1所述的一种多层纳米复合涂层,其特征在于:所述过渡层厚度为100-200nm,表涂层为600-800nm。

3.根据权利要求1或2所述的一种多层纳米复合涂层,其特征在于:采用多靶位、靶材基座能旋转选择工作靶材的溅射设备;制备步骤包括:

1)将衬底分别在丙酮和乙醇中各超声清洗20min,烘干;

2)将衬底固定于溅射设备的样品架上置于溅射靶前,安装靶材于靶位上,靶基距为16cm;腔体温度加热至300℃,抽真空至4.0×10-3Pa以下,通入气压为1.0Pa的Ar气,基体偏压-350V,对衬底进行辉光刻蚀25min;

3)开启高功率脉冲电源沉积过渡层,膜层为100-200nm;

4)通入N2,流量20sccm,保持腔体气压0.35Pa,调整偏压-50--300V,频率为350kHz,,沉积TiCN涂层,采用脉冲溅射,脉冲电压700V,脉宽180μs,频率100Hz,靶功率850W;沉积时间为80-100min,膜层厚度600-700nm。

4.根据权利要求3所述的一种多层纳米复合涂层,其特征在于:衬底采用单晶硅片、玻璃片或钢片。

5.根据权利要求4所述的一种多层纳米复合涂层,其特征在于:所述靶材至少包括合金TiC靶。

6.根据权利要求5所述的一种多层纳米复合涂层,其特征在于:所述靶材还包括纯金属靶Ti。

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