玻璃破裂检测方法及检测装置、玻璃板的研磨方法及研磨装置、以及玻璃板的制造方法与流程

本发明涉及玻璃破裂检测方法、玻璃破裂检测装置、玻璃板的研磨方法、玻璃板的研磨装置、以及玻璃板的制造方法。

背景技术：

在玻璃板的制造工序中，对玻璃板实施切断、倒角、开孔、研磨、搬运、清洗等各种处理。例如，关于在lcd(liquidcrystaldisplay：液晶显示器)或oled(organiclight-emittingdiode：有机发光二极管)等的平板显示器(fpd：flatpaneldisplay)中使用的玻璃板，其表面的微小的凹凸或起伏成为对图像造成影响的要因，因此存在利用研磨装置对玻璃板的表面的一部分或整体进行研磨的情况。

为了进行这样的研磨，已知有具备保持并搬运玻璃板的移动研磨头和在该研磨头的下方配置的多个研磨平台的研磨装置。根据该研磨装置，利用移动研磨头对玻璃板进行搬运，并利用多个研磨平台对玻璃板依次进行研磨。

然而，在研磨装置对玻璃板的研磨中，偶尔存在玻璃板破裂的情况。在这样的情况下，如果在玻璃板破裂的状态下继续进行研磨加工，则由于破裂的玻璃片而研磨垫会发生损伤。此外，在生产工序中依次研磨多个玻璃板的连续的研磨时，会产生对后续的玻璃板造成恶劣影响这样的不良情况。因此，希望提前检测到玻璃板的破裂而使研磨装置迅速停止。

专利文献1中公开了一种利用加工声音来检测研磨加工中的玻璃板的破裂的破裂检测装置。玻璃破裂检测装置利用麦克风对于在研磨加工中产生的加工声音进行集音，并且利用滤波器从集音到的加工声音提取规定的频率(3khz以上)的声波，关于该提取到的声波，将当前的声波等级与从当前起的过去规定时间内的稳态声波等级进行比较，由此来判定玻璃板的破裂。

专利文献2中公开了一种利用弹性波来检测研磨加工中的玻璃板的破裂的研磨装置。研磨装置利用安装在对玻璃板和研磨垫进行支承的工作台等上的ae(acousticemission)传感器检测来自玻璃板的弹性波，并基于来自ae传感器的输出信号来检测研磨中的异常。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2006-035343号公报

【专利文献2】国际公开第2010/067732号

【发明要解决的课题】

在专利文献1记载的破裂检测装置中，仅能通过玻璃板粉碎地破裂的状态下的声音进行检测，破裂发生的初期阶段(裂纹等的微小破裂、缺欠)的声音难以检测。而且，容易受到周边的声音频率成分的噪声的影响。

当玻璃板成为碎片地破裂时，如前所述会对研磨垫造成损伤，并且用于除去碎片的清扫作业花费数小时。因此，由于复原作业需要的时间、生产工序中的研磨作业中断，从而存在运转率下降这样的缺点。

在专利文献2记载的研磨装置中，经由工作台、板等各种各样的构件，利用ae传感器检测来自玻璃板的弹性波，因此存在弹性波在向ae传感器传递之前衰减的情况。因此，难以利用ae传感器检测在破裂发生的初期阶段产生的等级低的弹性波。

技术实现要素：

本发明鉴于这样的课题而作出，其目的在于提供一种能够在初期阶段发现玻璃板的破裂发生的玻璃破裂检测方法、玻璃破裂检测装置、玻璃板的研磨方法、玻璃板的研磨装置、及玻璃板的制造方法。

【用于解决课题的方案】

根据本发明的一形态，玻璃破裂检测方法包括：检测工序，在使玻璃板与液体接触并使ae传感器与所述液体接触的状态下，检测来自所述ae传感器的ae信号；及判断工序，通过所述ae信号超过规定的阈值的情况来判断所述玻璃板的破裂。

根据本发明的另一形态，玻璃破裂检测装置具有：液体供给部，向玻璃板供给液体；ae传感器，配置在与所述液体接触的位置；及信号处理部，对于从所述ae传感器输入的ae信号进行处理，所述信号处理部通过所述ae信号超过规定的阈值的情况来判断所述玻璃板的破裂。

根据本发明的又一形态，玻璃板的研磨方法是一边向研磨垫与玻璃板之间供给研磨液，一边利用研磨垫对所述玻璃板的表面进行研磨的玻璃板的研磨方法，其中，所述玻璃板的研磨方法包括破裂检测工序，所述破裂检测工序基于适用所述研磨液作为所述液体的上述的玻璃破裂检测方法。

根据本发明的再一形态，玻璃板的研磨装置具有：液体供给部，向玻璃板供给研磨液；及研磨垫，对所述玻璃板的表面进行研磨，其中，所述玻璃板的研磨装置具备适用所述研磨液作为所述液体的上述的玻璃破裂检测装置。

根据本发明的再一形态，玻璃板的制造方法包括：从熔融玻璃成形为板状的玻璃的工序；将所述板状的玻璃切断而切出玻璃板的工序；及基于上述的玻璃破裂检测方法的破裂检测工序。

【发明效果】

根据本发明的玻璃破裂检测方法、玻璃破裂检测装置、玻璃板的研磨方法、玻璃板的研磨装置、及玻璃板的制造方法，能够检测初期阶段的玻璃板的破裂。

附图说明

图1是玻璃破裂检测装置的构成图。

图2(a)是由噪声产生的ae信号的波形，(b)是以玻璃破裂为起因的弹性波产生的ae信号的波形。

图3是ae传感器的立体图。

图4是单片式的研磨装置的构成图。

图5是连续式的研磨装置的构成图。

图6是连续式的研磨装置的俯视图。

【标号说明】

1…玻璃破裂检测装置，2…液体供给部，4…ae传感器，6…信号处理部，10…plc线缆，12…前置放大器，14…鉴别器，16…工作台，18…工作台垫，20…板，22…树脂制管，24…树脂制管，26…板，30，50…研磨装置，32…研磨垫，34…研磨头，36…旋转轴，38…旋转升降装置，40…控制部，42…研磨液供给部，44…研磨液，g…玻璃板，l…液体

具体实施方式

以下，按照附图来说明本发明的实施方式。本发明通过以下的实施方式来说明。但是，不脱离本发明的范围而能够通过较多的方法进行变更，能够利用说明的实施方式以外的其他的实施方式。因此，本发明的范围内的全部的变更包含于权利要求的范围。在此，图中，同一记号表示的部分是基本上具有同样的功能的同样的要素。

(玻璃破裂检测装置及检测方法)

图1是玻璃破裂检测装置的概略构成图。玻璃破裂检测装置1至少具备：向玻璃板g供给液体l的液体供给部2；配置在与液体l接触的位置的ae传感器4；对于从ae传感器4输入的ae信号进行处理的信号处理部6。

液体供给部2只要能够向玻璃板g供给液体l即可，没有特别限定。作为液体供给部2，可以适用例如喷嘴等。

ae传感器4是指能够检测从玻璃板g产生的弹性波的传感器，只要能够检测弹性波即可，没有特别限定。ae传感器4例如具有压电元件，能够通过该压电元件来检测弹性波。

ae信号是指从ae传感器4输出并向信号处理部6输入的电信号。ae信号包括来自ae传感器4的电信号、放大及/或滤波后的电信号。

需要说明的是，ae(acousticemission：音响放出)是指将固体变形或破坏时产生的声音作为弹性波进行放出的现象。

ae传感器4配置在与液体l接触的位置。与液体l接触的位置是指玻璃板g与ae传感器4经由液体l进行接触且玻璃板g与ae传感器4不接触的状态。

在本实施方式中，其特征在于，经由液体l利用ae传感器4来检测从玻璃板g产生的弹性波。以往，ae传感器是计测在固体中传播的弹性波的传感器，需要使ae传感器直接密接于被测定物来进行测定。在本实施方式中，如图1所示，玻璃板g与ae传感器4之间的弹性波的路径仅由液体l形成，因此在玻璃板g与ae传感器之间未介有气体，能够成为与密接的状态同样的状态，能够抑制由ae传感器4接收的弹性波的衰减。即，以玻璃板g的破裂发生为起因的初期阶段的等级低的弹性波未衰减。因此，利用ae传感器4能够检测以玻璃板g的破裂为起因的初期阶段的等级低的弹性波。此外，只要玻璃板g与液体接触即可，即使玻璃板g移动也能够进行弹性波的检测。在本申请说明书中，玻璃板g的破裂包括在玻璃板g产生的裂纹等的微小破裂、缺欠及破裂。

只要能够形成弹性波的路径，作为液体l，优选使用在玻璃板的制造工序中使用的研磨液、清洗液、水等。

在本实施方式中，ae传感器4与信号处理部6由plc(powerlinecommunication：电力线通信)线缆10电连接，ae信号利用高速通信方式向信号处理部6输入。而且，在本实施方式中，在将ae传感器4与信号处理部6连接的plc线缆10上优选依次设置前置放大器12、鉴别器14。

前置放大器12能够将来自ae传感器4的微弱的ae信号放大，因此优选设置于plc线缆10。虽然说明将前置放大器12设于plc线缆10的情况，但是没有限定于此，也可以使用前置放大器内置的ae传感器。由此，能够减少零件个数。

另外，鉴别器14是在向信号处理部6输入之前对ae信号进行辨别并能够滤波成破裂的检测所需的频率范围的滤波器，鉴别器14优选设于plc线缆10。

作为ae传感器4，为了良好地检测玻璃板g的初期阶段的破裂，优选使用能够检测共振频率为140khz以上且150khz以下的频率带的弹性波的ae传感器。共振频率优选设定在应检测的频带的大致中央附近。

从ae传感器4向信号处理部6输入的ae信号的频带优选例如利用鉴别器14设定为100khz以上且200khz以下的范围。更优选为120khz以上且180khz以下的范围。

在玻璃板g的制造工序的周边设置切断装置、倒角装置、开孔装置、研磨装置、搬运装置、清洗装置等各种装置。有时需要排除来自这些装置的以机械振动为起因的小于100khz的频率的弹性波。而且，有时需要排除以电气性的噪声为起因的超过200khz的频率的弹性波。

在本实施方式中，将从ae传感器4向信号处理部6输入的频带的下限值设为100khz，因此能够防止以机械性的振动的弹性波为起因的误检测。而且，由于将上限值设为200khz，因此能够防止以电气性的噪声的弹性波为起因的误检测。这样，优选通过选择作为对象的频带并设定规定的滤波器，来进行与周围的噪声成分的辨别。

另外，本实施方式的玻璃破裂检测装置1具备工作台16和配置在工作台16上的工作台垫18。在该工作台垫18上载置玻璃板g。工作台16只要能够载置玻璃板g即可，没有特别限定。工作台16的载置玻璃板g的面优选为平坦面。工作台垫18例如由发泡聚氨酯制成，为了将玻璃板g固定而使用。

来自ae传感器4的ae信号向信号处理部6输入。信号处理部6具备进行各种运算的运算部、存储有各种程序及数据等的存储部等(未图示)。在玻璃破裂检测装置1中，从玻璃板g产生的弹性波经由液体l而由ae传感器4检测。从ae传感器4向信号处理部6输入ae信号。

信号处理部6可以预先设定确认产生了玻璃板g的破裂的阈值(例如，电压)，并能够将该阈值存储于存储部。信号处理部6的运算部能够将所输入的ae信号与所设定的规定的阈值进行比较。信号处理部6通过检测超过了规定的阈值的ae信号，能够判断玻璃板g的破裂。

接下来，说明基于本实施方式的玻璃破裂检测装置1的玻璃破裂检测方法。

在工作台16上的工作台垫18上配置玻璃板g。玻璃板g利用工作台垫18来吸附保持玻璃板g的两个主面中的任一个面。从液体供给部2朝向玻璃板g供给液体l，玻璃板g与液体l成为接触的状态。通过将规定量的液体l向玻璃板g供给，液体l的液面上升，液体l与ae传感器4成为接触的状态。因此，玻璃板g与ae传感器4经由液体l而接触。

需要说明的是，将ae传感器4配置在玻璃板g的上方的情况下，玻璃板g与ae传感器4的距离优选为0.5mm以上且5mm以下。如果为此范围，则能够利用ae传感器4高灵敏度地检测来自玻璃板g的弹性波。而且，通过将距离设为1mm以上，能够避免玻璃板g与ae传感器4的接触，因此优选。而且，通过使距离为2mm以下，能够避免液体l的过度使用，因此优选。

需要说明的是，也可以将ae传感器4配置在玻璃板g的侧方。通过将ae传感器4配置在侧方，在对玻璃板g的表面进行加工等的处理的情况下，容易避免该处理装置与ae传感器4的干涉。这种情况下，玻璃板g与ae传感器4的距离优选为0.5mm以上且150mm以下。如果为150mm以下，则能够利用ae传感器4检测来自玻璃板g的弹性波。优选为120mm以下。

对于玻璃板g实施例如玻璃板g的制造所需的处理(切断、倒角、开孔、研磨、搬运、清洗等)。在检测工序中，从玻璃板g产生的弹性波经由液体l而由ae传感器4检测。来自ae传感器4的ae信号向信号处理部6输入。在玻璃板g的处理时，在玻璃板g产生了破裂的情况下，在玻璃板g产生弹性波。

该弹性波经由玻璃板g的破裂起点、玻璃板g整面及液体l而向ae传感器4传递。此时，在本实施方式中，在弹性波的传递路径上仅介有液体l，因此弹性波几乎未衰减。因此，即使在弹性波的等级低的情况下，也能够利用ae传感器4高灵敏度地检测弹性波。能够利用ae传感器4检测在玻璃板g的破裂发生的初期阶段产生的等级低的弹性波。

检测到从玻璃板g产生的弹性波的ae传感器4输出ae信号。在本实施方式中，来自ae传感器4的ae信号经过前置放大器12及鉴别器14，经由plc线缆10，向信号处理部6输入。

在信号处理部6的存储部存储有上述的阈值。信号处理部6的运算部将始终输入的ae信号与规定的阈值进行比较。在判断工序中，信号处理部6通过来自ae传感器4的ae信号超过规定的阈值的情况，来判断玻璃板g的破裂。

信号处理部6通过ae信号是否超过了规定的阈值来判断玻璃板g的破裂。阈值对应于环境而适当设定。作为规定的阈值的设定方法，可以例示以下的方法。例如，可以将基于实验值或经验值而得到的值作为规定的阈值而存储于信号处理部6。

另外，可以将利用自动阈值调整功能而算出的值作为规定的阈值存储于信号处理部6。可以向信号处理部6的运算部装入自动阈值调整功能。自动阈值调整功能例如可以将所输入的ae信号和时间存储于信号处理部6的存储部，基于所输入的ae信号和时间，算出规定时间内的ae信号的平均值，将成为ae信号的平均值的1.5倍的值设定为阈值。在要检测等级低的弹性波的情况下，也可以将成为ae信号的平均值的1.2倍的值作为阈值，可以根据检测的信号而任意地设定。用于算出ae信号的平均值的时间可以任意地设定。

在本实施方式中，能够利用ae传感器4检测等级低的弹性波。因此，能够降低设定于信号处理部6的规定的阈值。另一方面，ae传感器4有时也检测考虑到不以玻璃破裂为起因的弹性波或紊乱等产生的振动(以下：噪声)。如果降低设定于信号处理部6的规定的阈值，则有时难以区别以玻璃破裂为起因的弹性波与噪声。

发明者仔细研究了以玻璃破裂为起因的弹性波和噪声时，如图2所示，发现了从ae传感器4向信号处理部6输入的ae信号的波形在以玻璃破裂为起因的弹性波和噪声中不同的情况。

图2是ae信号的波形的坐标图，纵轴表示电压，横轴表示时间。图2(a)表示因噪声产生的ae信号的波形，图2(b)表示以玻璃破裂为起因的弹性波所产生的ae信号的波形。将图2(a)所示的因噪声产生的ae信号的波形与图2(b)所示的以玻璃破裂为起因的弹性波所产生的ae信号的波形进行比较时，从ae信号发生至ae信号收敛的持续时间不同。可知以玻璃破裂为起因的弹性波所产生的ae信号的持续时间t2比因噪声产生的ae信号的持续时间t1长。

通过利用该持续时间的长度的差异，能够将以玻璃破裂为起因的弹性波与噪声加以区别。以玻璃破裂为起因的弹性波所产生的ae信号的持续时间t2较长，因此超过规定的阈值的ae信号连续地向信号处理部6输入。另一方面，因噪声产生的ae信号的持续时间t1较短，因此与以玻璃破裂为起因的弹性波相比，超过规定的阈值的ae信号单发地向信号处理部6输入。因此，信号处理部6在ae信号连续地超过了规定的阈值的情况下能够判断为以破裂为起因的弹性波，仅是ae信号单发地超过了规定的阈值的话，判断为噪声。因此，能够将以玻璃破裂为起因的弹性波与噪声加以区别。在信号处理部6中，能够高灵敏度地检测以玻璃破裂为起因的弹性波，结果是能够判断初期阶段的玻璃破裂。

在信号处理部6中，可以设定在ae信号连续何种程度的时间地超过了阈值的情况下判断为破裂，能够将连续地计测ae信号的时间存储于信号处理部6的存储部。例如，可以使信号处理部6在连续150msec地超过了规定的阈值时判断为破裂。如图2所示可知，如果为150msec，则例如在将规定的阈值设为1.000(v)的情况下，因噪声产生的ae信号虽然暂时高于规定的阈值，但是在未经过150msec期间低于阈值，另一方面，以玻璃破裂为起因的弹性波所产生的ae信号为150msec以上的期间超过规定的阈值。

通过适当设定阈值和时间，能够容易地区别以玻璃破裂为起因的弹性波与噪声。在此，单发和连续是指单发比连续的时间短，单发并不是仅指一次。

另外，在上述中，在ae信号连续地超过了规定的阈值(电压)的情况下判断为破裂，但是可以根据要检测的玻璃板g的破裂的状态而适当设定，因此没有限定于此。例如，每规定时间(例如，30msec)地计测ae信号，并对超过规定的阈值(例如，电压)的ae信号的产生数进行计数。预先设定连续的产生数的阈值(例如，5次)。超过规定的阈值(电压)的ae信号的连续产生数超过了连续产生数的阈值(例如，5次)的情况下，也可以判断为破裂。通过适当设定对于ae信号的规定的阈值(电压)和对于连续产生数的阈值，能够容易地将以玻璃破裂为起因的弹性波与噪声加以区别。

在玻璃板g的破裂的初期阶段，如上所述等级低的弹性波连续地产生。另一方面，在玻璃板g的破裂的程度大例如破碎的情况下，等级高的弹性波有时会单发地产生。也存在需要检测这样的单发地产生的等级高的弹性波的状况。

为了应对这样的情况，作为可认为在玻璃板g发生破裂的阈值，优选设定低等级的第一阈值和高等级的第二阈值。

在超过第一阈值且不超过第二阈值的ae信号向信号处理部6输入时，信号处理部6在连续地检测到ae信号的情况下判断为破裂。另一方面，在超过了第二阈值的ae信号向信号处理部6输入时，信号处理部6优选在单发地检测到ae信号的情况下也判断为破裂。通过设定低等级的第一阈值和高等级的第二阈值，能够根据玻璃板g的破裂的程度来判断玻璃板g的破裂。

接下来，说明在玻璃破裂检测装置1中使用的ae传感器4的优选的形态。图3是ae传感器4的立体图。ae传感器4包括：检测弹性波的接收板4a；安装于接收板4a的压电元件(未图示)；包围压电元件的导电性的壳体4b；及将压电元件与plc线缆10电连接并设置于壳体4b的连接器4c。

在使ae传感器4与液体l接触时，由于壳体4b与液体l的导通而可能会产生噪声。为了防止电气性的噪声，优选将ae传感器4与液体l进行电绝缘。在本实施方式中，如图3所示，能够将绝缘性的板20(例如，陶瓷板)安装于接收板4a。使用硅脂或瞬间粘结剂等使接收板4a与绝缘性板20密接。通过这样的密接，在接收板4a与绝缘性板20之间不介有气体，能够减少ae信号的衰减。能够利用绝缘性的树脂制管22(例如，硅管)覆盖壳体4b，而且，能够利用绝缘性的树脂制管24(例如，硅管)覆盖连接器4c。在ae传感器4的接收板4a的相反面上也可以安装绝缘性的板26。能够利用绝缘性的密封材料(硅树脂)将绝缘性的板20、26和树脂制管24密封。

通过将ae传感器4与液体l进行电绝缘，能够抑制电气性的噪声的产生，因此优选。

(玻璃板的研磨装置及研磨方法)

接下来，说明能够检测玻璃破裂的玻璃板的研磨装置及研磨方法。

图4是单片式的玻璃板的研磨装置的构成图。研磨装置30例如是如下研磨装置：对于制造成矩形形状的玻璃板g{例如，一边为2000×2200mm～2200×2600mm，厚度为0.7mm，fpd用途的由无碱玻璃系材料构成的利用浮法制造出的研磨前的玻璃板(例如，an100)}，将玻璃板的表面研磨至达到液晶显示器用玻璃板所需的平坦度的研磨装置。

玻璃板g的与研磨面相反的面配置在工作台16上并吸附保持于工作台垫18。研磨垫32以与玻璃板g的研磨面相对的方式安装于研磨头34的下表面。研磨头34的上表面固定于旋转轴36。

在旋转轴36上连结旋转升降装置38。旋转升降装置38通过对研磨装置30整体进行集中控制的控制部40，而与工作台16对玻璃板g的搬运时间同步地控制旋转及升降动作。

在研磨头34及旋转轴36设有利用贯通孔形成的液体供给部即研磨液供给部42。能够从研磨液供给部42向玻璃板g供给研磨液44。作为研磨液44，可以使用例如氧化铈水溶液等的研磨浆料。而且，通过旋转升降装置38能够使研磨垫32和研磨头34自转并公转。

本实施方式的研磨装置30具备ae传感器4和与ae传感器4电连接的信号处理部6。需要说明的是，信号处理部6作为功能的一部分而包含于控制部40。该ae传感器4配置在与研磨液44接触的位置。需要说明的是，也可以在工作台16侧设置研磨垫，在头侧设置吸附垫来吸附玻璃板g，设为与图4上下颠倒的形态。

接下来，说明基于本实施方式的研磨装置30的优选的玻璃板的研磨方法。

在工作台16上的工作台垫18上配置玻璃板g。玻璃板g利用工作台垫18来吸附保持玻璃板g的与研磨面相反的面。

从研磨液供给部42朝向玻璃板g供给研磨液44，玻璃板g与研磨液44成为接触的状态。通过将规定量的研磨液44向玻璃板g供给而研磨液44的液面上升，研磨液44与ae传感器4成为接触的状态。因此，玻璃板g与ae传感器4经由研磨液44而接触。

一边供给研磨液44，一边利用旋转升降装置38使例如研磨垫32及研磨头34自转并公转，利用研磨垫32对玻璃板g的表面(研磨面)进行研磨。旋转升降装置38通过对研磨装置30整体进行集中控制的控制部40，控制适合于玻璃板g的研磨的转速及下降动作(按压力)。

ae传感器4经由研磨液44检测来自玻璃板g的弹性波。在对玻璃板g进行研磨时，在玻璃板g的破裂产生的情况下，在玻璃板g产生弹性波。

该弹性波经由玻璃板g的破裂起点、玻璃板g整面及研磨液44而向ae传感器4传递。此时，在本实施方式中，在弹性波的传递路径上仅介有研磨液44，因此弹性波几乎未衰减。因此，即使在以玻璃破裂为起因的弹性波的等级低的情况下，也能够利用ae传感器4高灵敏度地检测弹性波。来自ae传感器4的ae信号向控制部40的信号处理部6输入。信号处理部6通过来自ae传感器4的ae信号超过规定的阈值的情况来判断玻璃板g的破裂。能够利用ae传感器4检测在研磨时产生的玻璃板g的破裂产生的初期阶段所产生的等级低的弹性波，因此能够判断初期阶段的玻璃板g的破裂。

接下来，说明连续式的玻璃板的研磨装置。图5是连续式的研磨装置的构成图，图6是连续式的研磨装置的俯视图。需要说明的是，在图6的俯视图中，在全部的工作台16上载置玻璃板g。对于与图4同样的结构，标注同一标号而有时省略说明。

如图5及6所示，研磨装置50例如将制造成矩形形状的玻璃板g{例如，一边为2000×2200mm～2200×2600mm，厚度为0.7mm，fpd用途的由无碱玻璃系材料构成的利用浮法制造出的研磨前的玻璃板(例如，an100)}载置于工作台16上的工作台垫18上，一边连续搬运该工作台16，一边利用沿着该搬运路径配置的多台研磨垫32、32…对工作台16上的玻璃板g的研磨面进行连续研磨。通过连续性的研磨，研磨装置50将玻璃板g的研磨对象面的微小的凹凸、起伏研磨除去，制造满足了液晶显示器用玻璃板所要求的平坦度的玻璃板。

工作台16能够由未图示的搬运装置在箭头所示的水平方向上沿着轨道(未图示)连续搬运。在工作台16的搬运中，在与搬运路径相对的位置，多个研磨垫32以与玻璃板g的研磨面相对的方式分别安装于多个研磨头34的下表面。利用各个研磨垫32能够将玻璃板g的研磨面研磨成液晶显示器用玻璃板所要求的平坦度。

在各个研磨头34及旋转轴36设置有利用贯通孔形成的液体供给部即研磨液供给部42。能够从研磨液供给部42向玻璃板g供给研磨液44。作为研磨液44，可以使用例如氧化铈水溶液等的研磨浆料。而且，能够通过旋转升降装置38使各个研磨垫32和研磨头34自转并公转。

本实施方式的研磨装置50具备多个ae传感器4和与ae传感器4电连接的信号处理部6。需要说明的是，信号处理部6作为功能的一部分而包含于控制部40。ae传感器4配置在与研磨液44接触的位置。

在本实施方式中，如图5及6所示，多个ae传感器4配置在与各个研磨头34对应的位置。即，一个研磨头34和一个ae传感器4构成一组。ae传感器4检测在通过研磨头34时由研磨垫32研磨的玻璃板g的弹性波。

来自ae传感器4的ae信号向控制部40的信号处理部6输入。信号处理部6通过来自ae传感器4的ae信号超过规定的阈值的情况来判断玻璃板g的破裂。能够利用ae传感器4检测在研磨时产生的玻璃板g的破裂产生的初期阶段所产生的等级低的弹性波，因此能够利用信号处理部6判断初期阶段的玻璃板g的破裂。

在玻璃板g的研磨工序的一个台上，在判断为玻璃板g破裂的情况下，发出警报而使研磨装置50停止。在没有判断为玻璃板g破裂的情况下，连续地将载置有玻璃板g的工作台16在水平方向上向下一个台搬运。在研磨工序的下一个台中，利用安装于研磨头34的研磨垫32对玻璃板g进行研磨。在研磨玻璃板g时，ae传感器4与研磨液44接触。ae传感器4经由研磨液44从玻璃板g检测弹性波。来自ae传感器4的ae信号向控制部40的信号处理部6输入。利用信号处理部6，根据来自ae传感器4的ae信号超过规定的阈值的情况，能够判断玻璃板g的破裂。

在本实施方式中，一个研磨头34与一个ae传感器4构成一组，因此在连续式的研磨装置50中，能够检测在哪个台上发生了玻璃板g的破裂。

但是，研磨头34与ae传感器4的个数未必非要一致，可以是两个研磨头34与一个ae传感器4构成一组的情况。而且，来自ae传感器4的ae信号的规定的阈值可以按照各台的传感器来设定，也可以按照传感器设定不同的阈值。

接下来，关于ae传感器4的优选配置，参照图6进行说明。如图6所示，ae传感器4优选在俯视观察下配置在与通过研磨头34的玻璃板g重叠的位置。由于能够使玻璃板g与ae传感器4的距离靠近，因此能够不使从玻璃板g产生的弹性波发生衰减地进行检测。

此外，ae传感器4优选配置在玻璃板g的宽度方向的中央。通过将ae传感器4配置在宽度方向的中央，无论在玻璃板g的哪个部分产生破裂，都能够检测其弹性波。玻璃板g的宽度方向是指在俯视观察下与玻璃板g的搬运方向正交的方向。

在本实施方式的单片式及连续式的玻璃板的研磨装置及研磨方法中能够适用上述的玻璃破裂检测装置及检测方法的技术的全部。

此外，优选在控制部40设置当信号处理部6判断为玻璃破裂的情况下发出警告的警告产生部。此外，优选利用控制部40使研磨停止。由于能够利用信号处理部6判断玻璃板g的破裂的初期阶段，因此能够在玻璃板g粉碎地破碎之前判断玻璃板g的破裂，使研磨装置30、50停止。能够将以研磨垫32的受损害或清扫作业等为起因的中断时间抑制成最小限度。

(玻璃板的制造方法)

可以将上述的玻璃破裂检测方法的破裂检测工序适用于如下玻璃板的制造方法：所述玻璃板的制造方法至少包括从熔融玻璃成形为板状的玻璃的工序以及将板状的玻璃切断而切出玻璃板的工序。玻璃板的制造方法除了具有切断工序以外，还具有倒角工序、开孔工序、研磨工序、搬运工序、清洗工序。在这些工序中通过使用液体，能够检测以玻璃板的破裂为起因的弹性波，能够判断初期阶段的玻璃板的破裂。

尤其是在如切断工序、倒角工序、开孔工序、研磨工序那样工具与玻璃板g接触的工序中，处于玻璃板g容易发生破裂的状况。因此，优选将上述的破裂检测工序设于切断工序、倒角工序、开孔工序、研磨工序中。其中，特别优选在研磨工序中设置破裂检测工序。