掩膜板的制作方法

文档序号:12883528阅读:256来源:国知局
掩膜板的制作方法与工艺

本发明涉及液晶显示领域,尤其涉及一种掩膜板。



背景技术:

液晶显示器作为一种常用的电子设备在人们的日常生活中得到了广泛的应用。有机发光二极管显示器(organiclightemittingdisplay,oled)由于具有生产成本便宜,自身发光无需背光源等优点而得到广泛的应用。而oled在制备的时候需要使用掩膜板来达到对玻璃基板上的发光像素的区域蒸镀发光材料。随着oled技术的发展,oled显示器的尺寸以及玻璃基板的尺寸都在不断的增加,这就要求掩膜板的尺寸也要不断增加,为了保证掩膜板的制作精度,蒸镀所使用的掩膜板大都采用条状子掩膜板的形式。一般而言,条状子掩膜板焊接在底框上的时候容易出现焊接位置焊偏等,从而导致制备出来的oled混色不良,进而导致制备出的产品不良。



技术实现要素:

本发明提供一种掩膜板,所述掩膜板包括外框及多个子掩膜板,所述外框为中空结构,包括第一边、第二边、第三边及第四边,所述第一边与所述第二边平行且间隔设置,所述第三边及所述第四边平行且间隔设置,所述第三边及所述第四边沿所述第一方向延伸,所述第一边及所述第二边沿所述第二方向延伸,所述第三边相对的两端分别连接所述第一边的一端以及所述第二边的一端,所述第四边相对的两端分别连接所述第一边远离所述第四边的一端以及所述第二边远离所述第四边的一端,所述子掩膜板用于选择性的遮挡制备像素时的发光材料,所述子掩膜板沿第一方向延伸且多个所述子掩膜板沿第二方向排列,所述子掩膜板的相对的两端分别设置在所述第一边及第二边上,所述子掩膜板可沿所述第一方向或所述第二方向往复运动。

相较于现有技术,本发明提供的掩膜板中的子掩膜板能够在第一方向或者第二方向往复运动,从而调整了子掩膜板相较于所述底框在第一方向或者第二方向的位置,从而改善了蒸镀发光材料制备像素时所述子掩膜板相较于所述外框在所述第一方向以及所述第二方向的位置偏差导致的混色不良的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一较佳实施例的掩膜板的结构示意图。

图2为本发明一较佳实施例的子掩膜板的结构示意图。

图3为本发明一较佳实施例中两个相邻的底框的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

图1为本发明一较佳实施例的掩膜板的结构示意图。所述掩膜板1包括外框10及多个子掩膜板20。所述外框1为中空结构,所述外框1包括第一边101、第二边102、第三边103及第四边104。所述第一边101与所述第二边102平行且间隔设置,所述第三边103及所述第四边104平行且间隔设置。所述第三边103及所述第四边104沿所述第一方向d1延伸,所述第一边101及所述第二边102沿所述第二方向d2延伸。所述第三边103相对的两端分别连接所述第一边101的一端以及所述第二边102的一端,所述第四边104相对的两端分别连接所述第一边101远离所述第四边104的一端以及所述第二边102远离所述第四边104的一端。所述子掩膜板20用于选择性的遮挡制备像素时的发光材料,所述子掩膜板20沿第一方向d1延伸且多个所述子掩膜板20沿第二方向d2排列。所述子掩膜板20的相对的两端分别设置在所述第一边101及第二边102上。所述子掩膜板20可沿所述第一方向d1或所述第二方向d2往复运动。

请参阅图2,图2为本发明一较佳实施例的子掩膜板的结构示意图。所述子掩膜板20包括底框201和子掩膜202。所述底框201为中空结构,在本实施方式中,所述底框201为长条状的中空框体结构。所述子掩膜202开设有多个间隔设置的开口202a,所述开口202用于通过制备像素时的发光材料。相邻的开口202a之间为实体结构部分用于遮挡制备像素时的发光材料。所述子掩膜202设置在所述底框201上,且所述底框201对所述子掩膜202中的开口202a无遮挡。所述底框201设置第一刻度线201a及第二刻度线201b。所述第一刻度线201a对应所述第一边101设置,所述第二刻度线201b对应所述第二边102设置。相应地,所述第一边101设置第一基准刻度线101a,所述第二边102上设置第二基准刻度线102a。在所述子掩膜板20安装到所述外框10上时,调整所述第一刻度线201a与所述第一基准刻度线101a在所述第一方向d1上的相对位置关系,以及调整所述第二刻度线201b与所述第二基准刻度线102a在所述第一方向d1上的相对位置关系,以对所述底框201在所述外框10上的位置进行调整。

所述掩膜板1还包括第一顶丝30及第二顶丝40。相应地,所述第一边101对应所述子掩膜板20处开设第一通孔101b,所述第一通孔101b的一端邻近所述子掩膜板20的一端设置。所述第一顶丝30设置在第一通孔101b内,且所述第一顶丝30可在所述第一通孔101b内沿第一方向d1运动。所述第二边102对应所述子掩膜板20处开设有第二通孔102b,所述第二通孔102b的一端邻近所述子掩膜板20的另一端设置。所述第二顶丝40设置在所述第二通孔102b内,且所述第二顶丝40可在所述第二通孔102b内沿第一方向d1运动或者沿所述第一方向相反的方向运动。所述第一顶丝30及所述第二顶丝40相互配合以使所述子掩膜板20沿所述第一方向d1运动或者沿所述第一方向d1相反的方向运动,以实现所述子掩膜板20在所述第一方向d1上位置的调整。

举例而言,当需要将某一个子掩膜板20沿所述第一方向d1运动一定距离d1时,将所述第一顶丝30在所述第一通孔101b中沿所述第一方向d1移动所述距离d1,在将所述第二顶丝40在所述第二通孔102b沿所述第一方向d1移动所述距离d1,进而使得所述子掩膜板20沿所述第一方向d1移动所述距离d1,从而调整了所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第一方向d1的位置。可以理解地,当多个子掩膜板20需要沿所述第一方向d1进行调整时,可以按照上述描述对每一个子掩膜板20分别进行调整。

相应地,当需要将某一个子掩膜板20沿所述第一方向d1相反的方向运动一定距离d2时,将所述第二顶丝40在所述第二通孔102b中沿所述第一方向d1相反的方向移动所述距离d2,将所述第一顶丝30在所述第一通孔101b中沿所述第一方向d1相反的方向移动所述距离d2,进而使得所述子掩膜板20沿所述第一方向d1相仿的方向移动所述距离d2,从而调整了所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第一方向d1的位置。可以理解地,当多个子掩膜板20需要沿所述第一方向d1相反的方向进行调整时,可以按照上述描述对每一个子掩膜板20分别进行调整。

优选地,所述第一边101上对应每个子掩膜板20处开设的第一通孔101b的数目为两个,相应地,每个第一通孔101b与一个第一顶丝30相对应,两个所述第一通孔101b分别对应所述子掩膜板20的一端的两边设置。所述第二边102上对应每个子掩膜板20处开设的第二通孔102b的数目为两个,相应地,每个第二通孔102b与一个第二顶丝40相对应,两个所述第二通孔102b分别对应所述子掩膜板20的一端的两边设置。在所述第一边101上对应每个子掩膜板20开设的第一通孔101b的数目为两个,以及将每个第一通孔101b与一个第一顶丝30配合,且在所述第二边102上对应每个子掩膜板20开设的第二通孔102b的数目为两个,以及将每个第二通孔102b与一个第二顶丝40配合,从而使得调整所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第一方向d1的位置关系时,所述子掩膜板20在所述第一方向d1以及所述第一方向d1相反的方向移动得更加均匀,防止所述子掩膜板20跑偏。

本发明的掩膜板1通过前面描述的所述第一顶丝30与所述第一通孔101b配合以及所述第二顶丝40与所述第二通孔102b配合,从而调整了所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第一方向d1的位置,进而改善了蒸镀发光材料(所述发光材料可以为但不仅限于为氧化铟锡)制备像素时所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第一方向d1的位置偏差导致的混色不良的技术问题。

所述子掩膜板20可沿所述第二方向d2或者沿所述第二方向d2相反的方向分别进行粗调以及微调,以调整所述子掩膜板相较于所述外框在所述第二方向上的位置。其中,当所述子掩膜板20沿所述第二方向d2进行粗调时所述子掩膜板20的移动幅度大于所述子掩膜板20沿所述第二方向d2进行微调时所述子掩膜板20的移动幅度;当所述子掩膜板20沿所述第二方向d2相反的方向进行粗调时所述子掩膜板20的移动幅度大于所述子掩膜板20沿所述第二方向d2相反的方向进行细调时的移动幅度。

具体地,在本实施方式中,所述第一边101上对应所述子掩膜板20开设有第一凹槽101c,所述第一凹槽101c沿所述第二方向d2设置。所述第二边102上对应所述子掩膜板20开设有第二凹槽102c,所述第二凹槽102c沿所述第二方向d2设置。所述掩膜板1还包括与子掩膜板20对应的第一定位销50及第二定位销60。所述第一定位销50在所述第一凹槽101c内移动且所述第二定位销60在所述第二凹槽102c内移动以使得所述子掩膜板20在所述第二方向d2或者所述第二方向d2相反的方向上移动,以实现所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第二方向d2上进行粗调。

所述第一定位销50上设置第一参考刻度线,所述第二定位销60上设置第二参考刻度线。所述底框201上对应所述第一边101设置第一刻度线,所述底框201上对应所述第二边102设置第二刻度线。通过所述调节第一参考刻度线与所述第二刻度线之间的相对位置关系,以及调节所述第二参考刻度线与所述第二刻度线之间的相对位置关系,以实现所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第二方向d2上的微调。

所述第一边101对应所述子掩膜板20设置有第一定位孔101d,所述第二边102对应所述子掩膜板20设置有第二定位孔102d。所述子掩膜202邻近所述第一边101设置第一对位孔202b,所述子掩膜202邻近所述第二边102设置第二对位孔202c。图1示意出的是所述第一定位孔101d与所述第一对位孔202b重合的情况,所述第二定位孔102d与所述第二对位孔202c重合的情况。所述第一定位孔101d与所述第一对位孔202b作为所述外框10与所述子掩膜板20固定时的基准,所述第二定位孔102d与所述第二对位孔202c作为所述外框10与所述子掩膜板20固定时的基准。

相较于现有技术,本发明的掩膜板1可以在所述第二方向d2上进行粗调以及微调,从而调整了所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第二方向d2的位置,进而改善了蒸镀发光材料制备像素时所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第二方向d2的位置偏差导致的混色不良的技术问题。

通过前面描述的技术手段,本发明的掩膜板1即可以调整所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第一方向d1的位置,又可以调整所述子掩膜板20相较于所述外框10在所述第二方向d2的位置,从而改善了蒸镀发光材料制备像素时所述子掩膜板20相较于所述外框在所述第一方向d1以及所述第二方向d2的位置偏差导致的混色不良的技术问题。

在本实施方式中,所述开口202a为长方形,所述开口202的长边平行于所述第二方向d2,所述开口202的短边平行于所述第一方向d1。

在一实施方式中,所述第一方向d1为x方向,所述第二方向d2为y方向;或者,在另一实施方式中,所述第一方向d1为y方向,所述第二方向d2为x方向。

请一并参阅图3,图3为本发明一较佳实施例中两个相邻的底框的剖面结构示意图。所述底框201包括遮挡部201c,所述遮挡部201c用于遮挡相邻的两个底框201安装在所述外框10时,两个底框201之间的部分间隙,以防止发光材料通过相邻的两个子掩膜板20之间的缝隙蒸镀到产品上造成的产品不良。在本实施方式中,所述遮挡部201c为矩形长条,所述遮挡部201c的长度与所述底框201的长度相等,所述遮挡部201c的一条长边部分设置在所述底框上,部分突出出来。优选地,所述遮挡部201c的长边突出出来的长度大于相邻的两个子掩膜板20安装在所述外框10上时形成的间隙,以对相邻的两个子掩膜板20安装在所述外框10上时形成的间隙进行遮挡。优选地,所述遮挡部201c与所述底框201一体成型。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于发明所涵盖的范围。

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