技术总结
本实用新型公开了一种石墨舟快速夹紧装置，包括：固定机构；以及与固定机构相对设置的至少一组夹紧机构，其中，夹紧机构与固定机构相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构包括固定的底板以及滑动组件，所述滑动组件可在底板上相对固定机构往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。根据本实用新型，其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。
技术研发人员：张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏
受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司
文档号码：201721008342
技术研发日：2017.08.14
技术公布日：2018.05.01