1.一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其特征在于：包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙。
2.如权利要求1所述的用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其特征在于：在基盘内设置传感器固定基座，所述传感器固定基座内设置上密封圈。
3.如权利要求2所述的用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其特征在于：所述在线磨盘平整度检测装置包括基座，所述基座上设置传感器固定基座，所述传感器固定基座上设置蓝牙传感器，所述蓝牙传感器下方设置传感头接触板，所述传感头接触板的下方设置弹性板。
4.如权利要求3所述的用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其特征在于：所述基座上设置加重模块，所述弹性板的下方设置耐磨外圈，所述耐磨外圈的内侧设置耐磨内圈。