一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置的制作方法

本实用新型属于光学器件及半导体晶圆研磨抛光领域，进一步说，尤其涉及一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置。

背景技术：

对于光学器件和半导体晶圆的平面加工，通常都是将工件放置到研磨抛光盘表面，对工件表面进行加工处理。研磨抛光盘的表面通常是平整的，这使得工件被研磨抛光后的表面也将变得跟研磨抛光盘一样平整。然而，由于工件在加工过程中会有轻微的晃动，并且由于摩擦加热也会使工件发生热变形，所以研磨抛光盘的表面实际上可能需要稍微凹进或凸起一些来最终实现所需要的工件表面平坦度。此外，由于研磨抛光盘的表面在使用过程中会遭受磨损，因此也需要予以补偿。

对于研磨抛光盘表面的平整度测量：常规方法包括手动平整度测量规测量法、干涉测量法等，这个测量过程需要熟练的操作人员，并且耗时耗力。对于热变形和局部磨损的问题，通常是由熟练有经验的操作人员根据实际情况手动进行相关参数的调整。

对于研磨抛光盘表面的平整度测量和调整：整个过程通常需要熟练有经验的操作人员根据实际情况手动进行相关参数的调整，耗时耗力，而测量和调整的过程又导致生产必须停止，直接影响生产，无法提高效率。

技术实现要素：

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其中，具体技术方案为：

包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙。

上述的用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其中：在基盘内设置传感器固定基座，所述传感器固定基座内设置上密封圈。

上述的用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其中：所述在线磨盘平整度检测装置包括基座，所述基座上设置传感器固定基座，所述传感器固定基座上设置蓝牙传感器，所述蓝牙传感器下方设置传感头接触板，所述传感头接触板的下方设置弹性板。

上述的用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其中：所述基座上设置加重模块，所述弹性板的下方设置耐磨外圈，所述耐磨外圈的内侧设置耐磨内圈。

本实用新型相对于现有技术具有如下有益效果：可有效消除和减轻用于监测和控制盘面形常规设备和工艺的某些缺点，减少熟练工人依赖，同时提高工件生产的机器可控性，提高生产效率和产品质量。

附图说明

图1为监测原理图。

图2为在线磨盘平整度检测装置的结构图。

图3为磨盘形变控制装置的结构图。

图中：

1在线磨盘平整度测量装置 2磨盘 3密封圈 4基盘 5磨盘与基盘间隙 6盘形变化测量装置 7底部传感器 8真空通道 9蓝牙传感器10传感器信号接收处理单元 11控制电路及电脑软件 12真空控制单元

13传感头接触板 14传感器固定基座 15加重模块 16基座 17耐磨外圈，18耐磨内圈 19弹性板

21研磨抛光盘 21基盘 22基盘支轴 23中心轴 24传感器 25传感器探头 26电机皮带轮 27三通 28磨盘与基盘间隙 29大密封圈 30小密封圈 31真空导孔 32真空腔 33转接真空阀 34传感器接线导出 35上轴承 36下轴承 37下密封圈 38上密封圈 39传感器固定基座

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。

本实用新型提供了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，蓝牙传感器9和底部传感器7分别检测盘形变化，实时测量反馈给传感器信号接收处理单元10信号接收处理单元。控制电路及电脑软件11实时拟合出磨盘面形，然后与需要的面形进行对比。软件通过控制真空控制单元12来输出不同的真空压力。此真空压力通过真空通道8传输到磨盘与基盘间隙5处。通过磨盘上表面大气压与下表面真空度的压力差变化，来达到控制磨盘面形的目的。

本实用新型提供了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙。

在基盘内设置传感器固定基座，所述传感器固定基座内设置上密封圈，所述在线磨盘平整度检测装置包括基座，所述基座上设置传感器固定基座，所述传感器固定基座上设置蓝牙传感器，所述蓝牙传感器下方设置传感头接触板，所述传感头接触板的下方设置弹性板，所述基座上设置加重模块，所述弹性板的下方设置耐磨外圈，所述耐磨外圈的内侧设置耐磨内圈。

耐磨内圈7通过接触板2固定在弹性板8上，内圈7和接触板2可随弹性板8上下运动，传感器的传感头一直与接触板接触。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的为准。