本实用新型属于一种抛光机技术领域，具体涉及一种用于晶片加工的超精密双面抛光机。
背景技术：
双面抛光加工是工件随行星轮做行星式转动的同时，上下表面由上下抛光盘施加压力，依靠抛光液中微小磨粒的划擦作用而微细去除表面材料的一种精密加工方法。传统的双面抛光机由于机床结构和控制系统的不完善，使加工的晶片平整度差，加工效率低，达不到光电子材料晶片苛刻的加工精度和表面质量要求。
技术实现要素：
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足提供一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，其具有高的运动精度和稳定性，能精密控制加载过程且有可控的工件运动轨迹。
为实现上述技术目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，其中：包括气缸、球头轴承、连接盘、横梁、立柱、上抛光盘、行星轮、内齿圈、外轴、上静压支撑、液压缸、第一变频电动机、第二变频电动机、右电机安装座、第二主动齿轮、第一主动齿轮、第三从动齿轮、第二从动齿轮、第一从动齿轮、可调支撑、左电机安装座、第三主动齿轮、内轴、第三变频电动机、中轴、下静压支撑、床身、第四变频电动机、第四从动齿轮、工作台、第四主动齿轮、下抛光盘、工件、中心轮和长轴，所述的气缸安装在横梁的顶面上，所述的横梁固定安装在立柱上，所述的立柱固定安装在床身的顶面上，所述的连接盘通过球头轴承安装在气缸的活塞杆上，所述的上抛光盘安装在连接盘上，所述的第一变频电动机和第二变频电动机都固定安装在右电机安装座上，所述的右电机安装座安装在床身内且右电机安装座靠近床身的右侧面，所述的第一主动齿轮安装在第一变频电动机的输出轴上，所述的第一从动齿轮与第一主动齿轮啮合且第一从动齿轮安装在内轴上，所述的第二主动齿轮安装在第二变频电动机的输出轴上，所述的第二从动齿轮与第二主动齿轮啮合且第二从动齿轮安装在长轴上，所述的长轴通过轴承安装在床身内，所述的中心轮安装在内轴上，所述的第三变频电动机和第四变频电动机都固定安装在左电机安装座上，所述的左电机安装座安装在床身内且左电机安装座靠近床身的左侧面，所述的第三主动齿轮安装在第三变频电动机的输出轴上，所述的第三从动齿轮与第三主动齿轮啮合且第三从动齿轮安装在外轴上，所述的第四主动齿轮安装在第四变频电动机的输出轴上，所述的第四从动齿轮与第四主动齿轮啮合且第四从动齿轮安装在外轴上，所述的外轴两端分别安装在上静压支撑和下静压支撑上，所述的上静压支撑和下静压支撑都安装在床身内，所述的内齿圈安装在外轴上，所述的工作台安装在床身的顶面上，所述的下抛光盘安装在中轴的顶面上，所述的行星轮安装在下抛光盘的顶面上，所述的工件安装在下抛光盘的顶面上且工件位于内齿圈和行星轮之间，所述的液压缸安装在床身内，所述的上静压支撑和下静压支撑都通过管路与液压缸连接。
为优化上述技术方案，采取的具体措施还包括：
上述的上抛光盘的轴线与下抛光盘的轴线在同一条直线上。
上述的连接盘采用法兰盘结构形式。
上述的工作台采用花岗石材料制作而成。
本实用新型采用四个变频电动机分别拖动上下抛光盘、太阳轮、内齿圈，无级调速，软启动，软停止，使加工平稳可靠，冲击小；采用超精密液体静压轴承的回转主轴系统及缩短传动链，提高机床的运动精度；采用球头轴承浮动连接及数字阀控制气动伺服加载系统的上盘结构，保证加载均匀并精密控制加载过程，改进抛光盘的修整方法提高加工精度；采用花岗岩工作台面及封闭式龙门箱形的主体式结构，提高机床的刚度及稳定性，改善机床工作环境。
本实用新型的优点在于以下几点：具有高的运动精度和稳定性；有可控的工件运动轨迹，柔性启动，停止；能精密控制加载过程；具有自动化微机控制系统；实现抛光盘的超精密平面修整。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
其中的附图标记为：气缸1、球头轴承2、连接盘3、横梁4、立柱5、上抛光盘6、行星轮7、内齿圈8、外轴9、上静压支撑10、液压缸11、第一变频电动机12、第二变频电动机13、右电机安装座14、第二主动齿轮15、第一主动齿轮16、第三从动齿轮17、第二从动齿轮18、第一从动齿轮19、可调支撑20、左电机安装座21、第三主动齿轮22、内轴23、第三变频电动机24、中轴25、下静压支撑26、床身27、第四变频电动机28、第四从动齿轮29、工作台30、第四主动齿轮31、下抛光盘32、工件33、中心轮34、长轴35。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作出进一步说明：
一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，其中：包括气缸1、球头轴承2、连接盘3、横梁4、立柱5、上抛光盘6、行星轮7、内齿圈8、外轴9、上静压支撑10、液压缸11、第一变频电动机12、第二变频电动机13、右电机安装座14、第二主动齿轮15、第一主动齿轮16、第三从动齿轮17、第二从动齿轮18、第一从动齿轮19、可调支撑20、左电机安装座21、第三主动齿轮22、内轴23、第三变频电动机24、中轴25、下静压支撑26、床身27、第四变频电动机28、第四从动齿轮29、工作台30、第四主动齿轮31、下抛光盘32、工件33、中心轮34和长轴35，所述的气缸1安装在横梁4的顶面上，所述的横梁4固定安装在立柱5上，所述的立柱5固定安装在床身27的顶面上，所述的连接盘3通过球头轴承2安装在气缸1的活塞杆上，所述的上抛光盘6安装在连接盘3上，所述的第一变频电动机12和第二变频电动机13都固定安装在右电机安装座14上，所述的右电机安装座14安装在床身27内且右电机安装座14靠近床身27的右侧面，所述的第一主动齿轮16安装在第一变频电动机12的输出轴上，所述的第一从动齿轮19与第一主动齿轮16啮合且第一从动齿轮19安装在内轴23上，所述的第二主动齿轮15安装在第二变频电动机13的输出轴上，所述的第二从动齿轮18与第二主动齿轮15啮合且第二从动齿轮18安装在长轴35上，所述的长轴35通过轴承安装在床身27内，所述的中心轮34安装在内轴23上，所述的第三变频电动机24和第四变频电动机28都固定安装在左电机安装座21上，所述的左电机安装座21安装在床身27内且左电机安装座21靠近床身27的左侧面，所述的第三主动齿轮22安装在第三变频电动机24的输出轴上，所述的第三从动齿轮17与第三主动齿轮22啮合且第三从动齿轮17安装在外轴9上，所述的第四主动齿轮31安装在第四变频电动机28的输出轴上，所述的第四从动齿轮29与第四主动齿轮31啮合且第四从动齿轮29安装在外轴9上，所述的外轴9两端分别安装在上静压支撑10和下静压支撑26上，所述的上静压支撑10和下静压支撑26都安装在床身27内，所述的内齿圈8安装在外轴9上，所述的工作台30安装在床身27的顶面上，所述的下抛光盘32安装在中轴25的顶面上，所述的行星轮7安装在下抛光盘32的顶面上，所述的工件33安装在下抛光盘32的顶面上且工件33位于内齿圈8和行星轮7之间，所述的液压缸11安装在床身27内，所述的上静压支撑10和下静压支撑26都通过管路与液压缸11连接。
实施例中，上抛光盘6的轴线与下抛光盘32的轴线在同一条直线上。
实施例中，连接盘3采用法兰盘结构形式。
实施例中，工作台30采用花岗石材料制作而成。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。