技术特征：
技术总结
本发明公开一种遮蔽框，该遮蔽框可与一承载台结合，以遮蔽位于承载台上基板的周围区域。此遮蔽框包括遮蔽外框和遮蔽内框，在遮蔽外框远离承载台的一面凸设有至少一限位装置，遮蔽内框通过该限位装置套设于遮蔽外框上，使遮蔽内框相对于遮蔽外框水平方向固定但竖直方向活动。本发明还公开一种化学气相沉积装置，包括上述遮蔽框。通过上述结构，实现遮蔽框与基板的贴合效果好。
技术研发人员：徐荣桢;陶灵芝
受保护的技术使用者：昆山龙腾光电有限公司
技术研发日：2018.03.07
技术公布日：2018.08.07