一种导电薄膜的溅镀成型装置的制作方法

本发明属于溅镀成型技术领域，具体的说是一种导电薄膜的溅镀成型装置。

背景技术

导电薄膜有键盘等输入器件的多层薄膜，也有为单层的，半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜，半导体薄膜主要有外延生长的si单晶薄膜和cvd生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜，绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金属薄膜主要有al、au等的薄膜，工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜，制作电路的基材应采用聚酯薄膜，它具有良好的绝缘性和耐热性，具有较高的机械强度、透明性和气密性，特别具有抗折性和高弹性，是制作薄膜键盘电路的理想材料。

传统的溅镀装置和热处理装置各为一种独立装置，因此装置整体占地面积较大，增加了装置的操作难度，不便于使用者操纵，传统的溅镀装置在加热室内部也是采用传送装置传送，容易导致导电薄膜在加热时被外力拉伸变形，从而影响导电薄膜的产品质量，传统的溅镀装置在溅镀过程中有可能导致溅镀成型的不均匀，从而降低了装置的溅镀效果。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种导电薄膜的溅镀成型装置，设置有第一隔板、第二隔板、第三隔板、溅镀室、加热室、溅镀室隔板、收卷室隔板、薄膜传送辊筒、金属靶材阴极、加热器、加热板、制冷器和制冷板，从而可使溅镀装置和加热装置位于同一台机器上，从而减小了装置的占地面积、简化了操作程序，更加方便操作者的使用，本装置设置有传送速度限定辊、加热室和垂直限位辊，从而可使导电薄膜在加热室内部可以进行无重力垂直悬挂，在进行加热功能时不会受到传送的拉力作用，从而保证了导电薄膜在加热成型时的稳定性，本装置设置有第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板和电浆处理器，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种导电薄膜的溅镀成型装置，包括装置本体，所述装置本体包括桌体，所述桌体顶部固定安装有桌台，所述桌台顶部固定安装有真空封闭室，所述真空封闭室内部底板顶部固定安装有第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第一隔板、所述第二隔板和所述第三隔板依次安装在所述真空封闭室内部，所述第一隔板与所述真空封闭室一侧内壁之间形成放卷室，所述第一隔板和所述第二隔板之间形成溅镀室，所述第二隔板和所述第三隔板之间形成加热室，所述第三隔板和所述真空封闭室内部另一侧内壁之间形成收卷室，所述放卷室内部设置有放卷辊，所述放卷辊上缠绕有薄膜基材，所述放卷室内部设置有若干个传送辊，所述放卷辊与相邻的一个所述传送辊之间通过薄膜基材连接，所述溅镀室内部设置有薄膜传送辊筒，所述薄膜传送辊筒四侧设置有若干个金属靶材阴极，所述加热室内部设置有若干个加热器和制冷器，所述第二隔板和所述第三隔板的顶部一端分别固定安装有溅镀室隔板和收卷室隔板，所述收卷室内部设置有收卷辊，所述收卷辊与所述传送辊之间通过导电薄膜连接。

具体的，所述真空封闭室内部包括放卷室、溅镀室、加热室和收卷室内部都设置有若干个位置数量不一的各种传送辊，若干个传送辊之间均通过薄膜基材或者导电薄膜连接。

具体的，所述桌体底部四角处均固定安装有桌腿，桌腿底部均设置有支撑块，支撑块顶部与桌腿底部之间固定连接。

具体的，所述薄膜传送辊筒与相邻的两个传送辊之间分别通过薄膜基材和导电薄膜连接，薄膜传送辊筒位于第一隔板和第二隔板的中间部分。

具体的，所述第一隔板和第二隔板一侧均固定安装有第一隔离板和第二隔离板，真空封闭室壁板顶部固定安装有第三隔离板和第四隔离板，薄膜传送辊筒顶部设置有电浆处理器，电浆处理器与两个相邻的金属靶材阴极之间通过第一隔离板隔离，若干个金属靶材阴极之间分别通过第二隔离板、第三隔离板和第四隔离板隔离。

具体的，所述加热室内部设置有六个加热器和两个制冷器，加热室内部顶端设置有两个垂直限位辊，制冷器位于导电薄膜上升端的末端，加热器输出端连接有加热板，制冷器输出端连接有制冷板。

具体的，所述第二隔板和第三隔板的顶部均设置有传送速度限定辊，溅镀室隔板和收卷室隔板均设置有开口，导电薄膜穿过传送速度限定辊和溅镀室隔板上的开口与垂直限位辊连接，导电薄膜垂直悬挂与加热室内，导电薄膜穿过收卷室隔板上的开口与传送速度限定辊连接。

具体的，六个所述加热器和两个制冷器两两相对应，且导电薄膜从两个加热器和两个制冷器之间穿过。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

(1)本发明提供的一种导电薄膜的溅镀成型装置，通过设置有第一隔板、第二隔板、第三隔板、溅镀室、加热室、溅镀室隔板、收卷室隔板、薄膜传送辊筒、金属靶材阴极、加热器、加热板、制冷器和制冷板，从而可使溅镀装置和加热装置位于同一台机器上，从而减小了装置的占地面积、简化了操作程序，更加方便操作者的使用。

(2)本发明提供的一种导电薄膜的溅镀成型装置，本装置设置有传送速度限定辊、加热室和垂直限位辊，从而可使导电薄膜在加热室内部可以进行无重力垂直悬挂，在进行加热功能时不会受到传送的拉力作用，从而保证了导电薄膜在加热成型时的稳定性，本装置设置有第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板和电浆处理器，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明图1中a放大示意图；

图3为本发明图1中b放大示意图；

图4为本发明第一隔板、第二隔板和第三隔板与真空封闭室连接示意图。

图中：1、装置本体；2、桌体；3、桌腿；4、支撑块；5、桌台；6、真空封闭室；7、第一隔板；8、第二隔板；9、第三隔板；10、放卷室；11、溅镀室；12、加热室；13、收卷室；14、放卷辊；15、薄膜基材；16、传送辊；17、导电薄膜；18、传送速度限定辊；19、溅镀室隔板；20、收卷室隔板；21、收卷辊；22、薄膜传送辊筒；23、金属靶材阴极；24、电浆处理器；25、第一隔离板；26、第二隔离板；27、第三隔离板；28、第四隔离板；29、垂直限位辊；30、加热器；31、加热板；32、制冷器；33、制冷板。

具体实施方式

请参阅图1-4所示，本发明提供一种技术方案：一种导电薄膜的溅镀成型装置，包括装置本体1，所述装置本体1包括桌体2，所述桌体2顶部固定安装有桌台5，所述桌台5顶部固定安装有真空封闭室6，所述真空封闭室6内部底板顶部固定安装有第一隔板7、第二隔板8和第三隔板9，所述第一隔板7、所述第二隔板8和所述第三隔板9依次安装在所述真空封闭室6内部，所述第一隔板7与所述真空封闭室6一侧内壁之间形成放卷室10，所述第一隔板7和所述第二隔板8之间形成溅镀室11，所述第二隔板8和所述第三隔板9之间形成加热室12，所述第三隔板9和所述真空封闭室6内部另一侧内壁之间形成收卷室13，所述放卷室10内部设置有放卷辊14，所述放卷辊14上缠绕有薄膜基材15，所述放卷室10内部设置有若干个传送辊16，所述放卷辊14与相邻的一个所述传送辊16之间通过薄膜基材15连接，所述溅镀室11内部设置有薄膜传送辊筒22，所述薄膜传送辊筒22四侧设置有若干个金属靶材阴极23，所述加热室12内部设置有若干个加热器30和制冷器32，所述第二隔板8和所述第三隔板9的顶部一端分别固定安装有溅镀室隔板19和收卷室隔板20，所述收卷室13内部设置有收卷辊21，所述收卷辊21与所述传送辊16之间通过导电薄膜17连接。

作为本发明的一种优选方式，所述真空封闭室6内部包括放卷室10、溅镀室11、加热室12和收卷室13内部都设置有若干个传送辊16，若干个传送辊16之间均通过薄膜基材15或者导电薄膜17连接，保证了装置整体的稳定性能，使导电薄膜17或者薄膜基材15更好的缠绕好。

作为本发明的一种优选方式，所述桌体2底部四角处均固定安装有桌腿3，桌腿3底部均设置有支撑块4，支撑块4顶部与桌腿3底部之间固定连接，实现对桌体2的支撑。

作为本发明的一种优选方式，所述薄膜传送辊筒22与相邻的两个传送辊16之间分别通过薄膜基材15和导电薄膜17连接，薄膜传送辊筒22位于第一隔板7和第二隔板8的中间部分，有利于导电薄膜17的后期溅镀成型。

作为本发明的一种优选方式，所述第一隔板7和第二隔板8一侧均固定安装有第一隔离板25和第二隔离板26，真空封闭室6壁板顶部固定安装有第三隔离板27和第四隔离板28，薄膜传送辊筒22顶部设置有电浆处理器24，电浆处理器24与两个相邻的金属靶材阴极23之间通过第一隔离板25隔离，若干个金属靶材阴极23之间分别通过第二隔离板26、第三隔离板27和第四隔离板28隔离，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜17的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

作为本发明的一种优选方式，所述加热室12内部设置有六个加热器30和两个制冷器32，加热室12内部顶端设置有两个垂直限位辊29，制冷器32位于导电薄膜17上升端的末端，加热器30输出端连接有加热板31，制冷器32输出端连接有制冷板33，减小了装置的占地面积、简化了操作程序，更加方便操作者的使用。

作为本发明的一种优选方式，所述第二隔板8和第三隔板9的顶部均设置有传送速度限定辊18，溅镀室隔板19和收卷室隔板20均设置有开口，导电薄膜17穿过传送速度限定辊18和溅镀室隔板19上的开口与垂直限位辊29连接，导电薄膜17垂直悬挂与加热室12内，导电薄膜17穿过收卷室隔板20上的开口与传送速度限定辊18连接，从而可使导电薄膜17在加热室12内部可以进行无重力垂直悬挂，在进行加热功能时不会受到传送的拉力作用，从而保证了导电薄膜17在加热成型时的稳定性。

作为本发明的一种优选方式，六个所述加热器30和两个制冷器32两两相对应，且导电薄膜17从两个加热器30和两个制冷器32之间穿过，通过对应设置的加热器30和制冷器32有利于对导电薄膜17进行加热和冷却，从而方便对导电薄膜17的溅镀成型，工作效率更高。

工作原理：一种导电薄膜的溅镀成型装置，首先启动放卷辊14、传送辊16、传送速度限定辊18、薄膜传送辊筒22和收卷辊21，从而带动薄膜基材15移动，然后启动金属靶材阴极23和电浆处理器24，从而对薄膜基材15进行溅镀工作，从而将薄膜基材15加工成导电薄膜17，然后导电薄膜17通过传送辊16进入到加热室12内部，启动加热器30，从而使加热板31发热，从而对导电薄膜17进行热处理工作，然后启动制冷器32，使制冷板33制冷，从而使导电薄膜17快速成型，然后缠绕到收卷辊21上，从而完成装置的溅镀功能和热处理功能。设置有第一隔板7、第二隔板8、第三隔板9、溅镀室11、加热室12、溅镀室隔板19、收卷室隔板20、薄膜传送辊筒22、金属靶材阴极23、加热器30、加热板31、制冷器32和制冷板33，从而可使溅镀装置和加热装置位于同一台机器上，从而减小了装置的占地面积、简化了操作程序，更加方便操作者的使用，本装置设置有传送速度限定辊18、加热室12和垂直限位辊29，从而可使导电薄膜17在加热室12内部可以进行无重力垂直悬挂，在进行加热功能时不会受到传送的拉力作用，从而保证了导电薄膜17在加热成型时的稳定性，本装置设置有第一隔离板25、第二隔离板26、第三隔离板27、第四隔离板28和电浆处理器24，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜17的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。