一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法与流程

本发明属于蓝宝石衬底片加工技术领域，尤其是涉及一种蓝宝石衬底片加工废液之回收方法

背景技术：

随着第三代半导体材料氮化镓物的突破，led照明产业凭借其在节能降耗领域的性能优势，迎来黄金发展期，市场规模正在急剧扩大。

随着技术的进步，从2015年开始，国内外市场主流制作高亮蓝光led的衬底均选用4英寸蓝宝石平片或图形化蓝宝石衬底(pss)。为了提高图形化产品一致性和整体合格率,目前正向较大尺寸的4英寸蓝宝石衬底片方向发展,衬底片加工是led全产业链中一个非常重要的环节,也是外延客户的重要原材料,占外延成本达30％以上,然而,蓝宝石衬底的加工过程中,会产生许多研磨与抛光加工废材与废液，必须进行回收处理,但直接回收成本较高,而且若直接排放又对影响环境很大；因此,如何针对加工废材与废液进行回收,是各厂家节省成本与绿色环保议题的重要研究项目。

传统的蓝宝石衬底铜抛抛光制程主要以钻石抛光液与铜盘面进行抛光加工,产生的废液都以直接收集方式收集废液后,交由专门的回收厂家进行回收处理,由于没有经过任何处理,导致废液体积量大且内含多种成份,回收处理困难,成本也较高。因此，本专利提出一种蓝宝抛光加工废液之回收方法，可将废液中的钻石颗粒,铜盘金属屑,蓝宝石加工屑等固体分离,并且也将废液中内含的金属铜离子成份吸附,达成可以直接排放废液的回收方法；此方法可将废液中的固体与液体成份分离,除了将回收废液体积大大的降低,减少回收处理的成本外,也可将处理后的废液直接排放,符合绿色产业与环保的重要课题。

技术实现要素：

针对现有的蓝宝石抛光加工废液回收的问题，本发明的废液回收方法之技术方案如下：

该方法包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑；一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒；一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中的铜金属原子与离子；一最终排放部。

进一步的，所述的第一级自然沉淀部，其特征在于：铜抛加工废液直接排入后，加工废液中的大颗粒钻石颗粒,铜盘金属屑,蓝宝石加工屑经由重力自然沉淀，沉淀后的废液经由沉淀部排放口进入第二级过滤部。

进一步的，所述的第二级过滤部，其特征在于：所述的过滤部滤网为孔径30um～200um孔径,材质可为树酯,不锈钢,陶瓷,纸质等材料构成。

进一步的，所述的第三级金属离子吸附部，其特征在于：所述的金属离子吸附方式，可以是树酯滤芯,金属吸附剂,或ro返逆渗透膜方式。

进一步的，所述的最终排放部，其特征在于：最终的加工废液,其经过滤处理的废液可由此部进行排放至厂务端。

本发明的创新之处是：本发明通过废液回收方法直接在蓝宝石衬底铜抛抛光制程中使用，有效进行抛光加工废液的回收处理，包含钻石颗粒,铜盘面金属屑,蓝宝石加工屑,铜金属离子等，有效地降低加工废液的体积与符合环保法规的废液排放标准，进一步降低抛光废液的回收处理成本。本发明是一种蓝宝石衬底抛光加工废液中之回收成本低，符合环保法规，可操作性较高的回收方法。

附图说明

图1：抛光加工废液之回收流程图

具体实施方案

下面结合附图对本发明实施例进行说明:

基本的加工废液回收方法为：包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑；一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒；一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中的铜金属原子与离子；一最终排放部。

图1为本实施方案之回收方法具体布置，分别为101第一级自然沉淀部、102第二级过滤部、103第三级金属离子吸附部、104最终排放部。

101第一级自然沉淀部：铜抛加工废液直接排入后，加工废液中的大颗粒钻石颗粒,铜盘金属屑,蓝宝石加工屑经由重力自然沉淀，沉淀后的废液经由105沉淀部排放口进入102第二级过滤部。

102第二级过滤部：主要由一106过滤部滤网构成,滤网孔径选择为100um,将经过101第一级自然沉淀部的残余加工废液微粒再经过106过滤部滤网,以此将剩余的废液微粒滤除。

103第三级金属离子吸附部：将剩余的加工废液再经由107金属吸附方法,将废液中的铜金属离子进行吸附。

104最终排放部：将干净无污染的加工废液收集于此,并经由108排放口排放入工厂厂务端。

以上所述只是本发明的一种具体实施方式，对生产技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，可以进行完善，但这些完善被视为本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公布了一种用于蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法，其抛光加工系指在蓝宝石衬底片的铜抛制程。在本实施方案中，提供了一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法，包括一第一级自然沉淀部,用来初步沉淀加工废液中的大颗粒钻石,铜盘金属屑与蓝宝石加工屑；一第二级过滤部,以过滤方式滤除残余的加工废液微粒；一第三级金属离子吸附部,用来吸收最后溶于或悬浮于废液中的铜金属原子与离子；一最终排放部,最后确保了废液铜金属排放合乎环保法规标准的回收方法，这种抛光加工废液的回收方法以最低的成本与极高的效率合乎环保法规排放标准,同时也降低加工废液的处理成本,大大的节省蓝宝石衬底片制造成本。

技术研发人员：徐良;阳明益;占俊杰;蓝文安;刘建哲;余雅俊
受保护的技术使用者：浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
技术研发日：2018.11.16
技术公布日：2019.02.12