一种用于碱性蚀刻液循环再生装置的制作方法

本实用新型涉及碱性刻蚀液循环设备领域，特别是涉及一种用于碱性蚀刻液循环再生装置。

背景技术：

刻蚀技术（etching technique），是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工，碱性刻蚀液是刻蚀技术中常用的加工介质，蚀刻废液通常作为工业废料进行处理，对于环境破坏较大，传统碱性蚀刻液处理再生设备实用性较差。

对比申请号为201620021445.2的中国专利，公开了一种蚀刻液回收循环利用装置，包括油水分离器，所述油水分离器包括三个腔室，分别为第一腔室、第二腔室和第三腔室；第一腔室内设置有带搅拌电机的搅拌叶，第一腔室的一侧上部设置有液体进口，第一腔室的一侧下部设置有蚀刻废液进口，第一腔室的另一侧设置有混合液溢流口，第一腔室与第二腔室通过混合液溢流口相连通，混合液溢流口位于第二腔室的一侧，第二腔室的另一侧上部设置有与其相连通的溢流腔室，溢流腔室的顶部进液高度比混合液溢流口的出口高度低，油相出口与溢流腔室的底部相连通，第二腔室的底部与第三腔室的底部通过液通道相连通，出液管道的一端伸入第三腔室内并开口于第三腔室的中上部，上述专利的处理过程较为繁琐，实用性较低，蚀刻液回收处理能力较弱，本实用新型采取的设计具有体积小，占地面积小，回收效率更高，智能化程度更高的优点。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于碱性蚀刻液循环再生装置，本实用新型使用电解技术进行蚀刻液的回收，智能化程度更高，回收效率更高，有利于保护环境。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种用于碱性蚀刻液循环再生装置，包括过滤箱、水泵、液位窗、电解箱、调配箱，所述过滤箱内部设置有过滤板，所述过滤箱一侧设置有循环管，所述循环管上方设置有开关阀，所述开关阀型号为DN65，所述过滤箱后方设置有连接管，所述连接管远离所述过滤箱的一侧设置有所述调配箱，所述调配箱上方设置有添加板，所述添加板前方设置有挡板，所述调配箱远离所述开关阀的一侧设置有所述电解箱，所述电解箱内部设置有电解槽，所述电解箱远离所述调配箱的一侧设置有调整箱，所述调整箱前方设置有冷却槽，所述调整箱远离所述电解箱的一侧设置有所述水泵，所述水泵型号为50GW25，所述水泵远离所述调整箱的一侧设置有搅拌箱，所述搅拌箱上方设置有电动机，所述电动机型号为Y250M2，所述电动机下方的所述搅拌箱内部设置有搅拌杆，所述搅拌箱远离所述调整箱的一侧设置有储存箱，所述储存箱前方设置有所述液位窗，所述储存箱顶部设置有控制面板，所述储存箱远离所述搅拌箱的一侧设置有进液管，所述控制面板与所述水泵和所述电动机通过电连接。

进一步设置：所述过滤箱与所述过滤板通过螺钉连接，所述过滤箱与所述循环管通过卡箍连接。

如此设置，在所述过滤板的过滤作用下，将蚀刻液中的废料进行过滤。

进一步设置：所述循环管与所述开关阀通过法兰连接，所述过滤箱与所述连接管通过卡箍连接，所述连接管与所述调配箱通过卡箍连接。

如此设置，使用所述开关阀控制所述循环管的开闭，有效避免蚀刻液的泄露。

进一步设置：所述调配箱与所述添加板通过螺栓连接，所述添加板与所述挡板通过滑槽连接。

如此设置，将所述挡板固定在所述添加板前方，使用所述添加板向所述调配箱中加入调配药物，实用性更强。

进一步设置：所述调配箱与所述电解箱通过导管连接，所述电解箱与所述调整箱通过导管连接。

如此设置，通过所述电解箱中电解液电解的蚀刻液进入下一步工序，将蚀刻液中的铜等杂质去除。

进一步设置：所述调整箱与所述水泵通过卡箍连接，所述水泵与所述搅拌箱通过卡箍连接，所述电动机与所述搅拌箱通过螺栓连接。

如此设置，通过所述水泵将所述搅拌箱中的蚀刻液泵入所述调整箱中，通过所述调整箱将蚀刻液进行沉淀。

进一步设置：所述搅拌箱与所述搅拌杆通过轴承连接，所述电动机与所述搅拌杆通过联轴器连接，所述搅拌箱与所述储存箱通过导管连接，所述储存箱与所述控制面板通过螺钉连接，所述搅拌箱与所述进液管通过卡箍连接。

如此设置，通过所述电动机带动所述搅拌杆转动，便于将蚀刻液中的大颗粒杂质进行粉碎。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、体积小，占地面积小，回收效率更高，智能化程度更高，适用于多种碱性蚀刻液的循环再生工作；

2、废液排放达到国家要求标准，有利于保护环境；

3、操作方式简便，使用更加便捷，蚀刻液回收效果更好，适合大面积推广使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所述一种用于碱性蚀刻液循环再生装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型所述一种用于碱性蚀刻液循环再生装置的过滤板结构示意图；

图3是本实用新型所述一种用于碱性蚀刻液循环再生装置的添加板结构示意图；

图4是本实用新型所述一种用于碱性蚀刻液循环再生装置的电路结构流程框图。

附图标记说明如下：

1、过滤板；2、过滤箱；3、冷却槽；4、调整箱；5、水泵；6、搅拌箱；7、液位窗；8、储存箱；9、进液管；10、控制面板；11、搅拌杆；12、电动机；13、电解箱；14、电解槽；15、添加板；16、挡板；17、调配箱；18、连接管；19、循环管；20、开关阀。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、 “底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例1

如图1-图4所示，一种用于碱性蚀刻液循环再生装置，包括过滤箱2、水泵5、液位窗7、电解箱13、调配箱17，过滤箱2内部设置有过滤板1，过滤箱2用于安装过滤板1，过滤箱2一侧设置有循环管19，循环管19上方设置有开关阀20，开关阀20用于控制循环管19的开闭，开关阀20型号为DN65，过滤箱2后方设置有连接管18，连接管18用于连接过滤箱2，连接管18远离过滤箱2的一侧设置有调配箱17，调配箱17用于安装添加板15，调配箱17上方设置有添加板15，添加板15用于向碱性蚀刻液中加入添加剂，添加板15前方设置有挡板16，挡板16用于控制添加板15的开闭，调配箱17远离开关阀20的一侧设置有电解箱13，电解箱13用于完成电解工作，电解箱13内部设置有电解槽14，电解槽14用于放置电解液，电解箱13远离调配箱17的一侧设置有调整箱4，调整箱4前方设置有冷却槽3，冷却槽3用于对碱性蚀刻液进行冷却，调整箱4远离电解箱13的一侧设置有水泵5，水泵5用于将碱性蚀刻液泵入调整箱4，水泵5型号为50GW25，水泵5远离调整箱4的一侧设置有搅拌箱6，搅拌箱6用于安装搅拌设备，搅拌箱6上方设置有电动机12，电动机12用于带动搅拌杆11转动，电动机12型号为Y250M2，电动机12下方的搅拌箱6内部设置有搅拌杆11，搅拌杆11用于对碱性蚀刻液进行搅拌，搅拌箱6远离调整箱4的一侧设置有储存箱8，储存箱8用于储存废液，储存箱8前方设置有液位窗7，液位窗7用于观察碱性蚀刻液高度，储存箱8顶部设置有控制面板10，控制面板10用于控制设备工作，储存箱8远离搅拌箱6的一侧设置有进液管9，进液管9用于将碱性蚀刻液导入设备内部，控制面板10与水泵5和电动机12通过电连接。

实施例2

本实施例与实施例1的区别在于：

过滤箱2与过滤板1通过螺钉连接，过滤板1用于将碱性蚀刻液中的杂质进行过滤，过滤箱2与循环管19通过卡箍连接，循环管19将循环再生后的碱性蚀刻液排出设备，用于循环使用。

实施例3

本实施例与实施例1的区别在于：

循环管19与开关阀20通过法兰连接，开关阀20控制循环管19的开闭状态，过滤箱2与连接管18通过卡箍连接，连接管18与调配箱17通过卡箍连接，连接管18将调配箱17和过滤箱2进行连接。

工作原理：当工作人员需要使用碱性蚀刻液循环再生装置进行生产废液的处理工作时，将设备安装在设定位置，通过进液管9将碱性蚀刻液导入储存箱8中，通过液位窗7观察储存箱8中的液位高度，通过控制面板10控制水泵5和电动机12开始工作，水泵5将储存箱8中的碱性蚀刻液泵入搅拌箱6中，通过电动机12带动搅拌杆11转动，搅拌杆11将碱性蚀刻液进行搅拌，碱性蚀刻液在水泵5的作用下进入调整箱4，在调整箱4中冷却后进入电解箱13，工作人员向电解箱13中加入电解液，电解后的碱性蚀刻液进入调配箱17，工作人员通过添加板15向调配箱17中加入氨水和蚀刻盐，过滤箱2将碱性蚀刻液中的大颗粒杂质进行过滤，工作人员将开关阀20打开，过滤后的液体通过循环管19排出设备，完成碱性蚀刻液的循环再生工作。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。