一种镀膜设备的制作方法

本实用新型涉及氢气检测技术领域，尤其涉及一种具有氢气检测功能的镀膜设备。

背景技术：

现有的镀膜设备，例如：化学气相沉积(CVD)镀膜设备、低压化学气相沉积(LPCVD)镀膜设备、常压化学气相沉积(APCVD)或等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)镀膜设备的运输腔均未设置氢气检测装置，而是利用排气管将运输腔中的气体抽出并直接排放，实际中，运输腔可能会残留反应腔漏出的氢气，氢气受热易燃烧甚至爆炸，若将具有氢气的气体直接排放，会存在安全隐患；氢气在高温环境下易对真空器材造成损坏，减少设备使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种镀膜设备，主要目的是检测运输腔中是否存有氢气。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种镀膜设备，所述镀膜设备包括排气管和运输腔，所述排气管与所述运输腔连通，所述镀膜设备还包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：

检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；

氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；

提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。

本实用新型实施例提供的镀膜设备，通过氢气检测装置能够实时检测出排气管内是否存有氢气，进而确定运输腔中是否存有氢气，并通过提示元件发出提示信号，这样就可避免将含有氢气的气体直接排放，也便于及时发现镀膜设备的运输腔和反应腔之间存在泄漏现象。

可选的，所述氢气检测元件可拆卸安装在所述排气管上。

可选的，所述氢气检测元件通过U型螺栓安装在所述排气管上。

可选的，所述氢气检测元件固定在底座上，所述底座通过所述U型螺栓安装在所述排气管上。

可选的，所述氢气检测元件与所述提示元件集成为氢气检测报警器。

可选的，所述氢气检测装置还包括：粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置的入口与所述检测管连通，所述粉尘过滤装置的出口与所述氢气检测元件连通。

可选的，所述氢气检测装置还包括：甲烷收集装置，所述甲烷收集装置的入口与所述粉尘过滤装置的出口连通，所述甲烷收集装置的出口与所述氢气检测元件连通。

可选的，所述氢气检测装置还包括：干燥装置，所述干燥装置的入口与所述甲烷收集装置的出口连通，所述干燥装置的出口与所述氢气检测元件连通。

可选的，所述检测管螺纹连接在所述排气管上。

可选的，所述排气管上开设有螺纹检测孔，且所述螺纹检测孔配置有可拆卸的堵塞件。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种氢气检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种镀膜设备的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例镀膜设备进行详细描述。

在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内段的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型实施例提供了一种镀膜设备，参照图2，所述镀膜设备1包括运输腔102、反应腔101和氢气检测装置，具体镀膜时，将衬底通过输送口103送入运输腔102，再送入反应腔101进行所述衬底的镀膜，所述运输腔102与真空泵2连通，通过真空泵2抽取运输腔102内的气体，使运输腔102处于真空，并利用与所述真空泵2连接的排气管3将抽取的气体排出，在镀膜的过程中，所述反应腔101内会存有氢气，若反应腔101与运输腔102之间存在泄漏时，会将氢气泄漏至所述运输腔102内，通过本实施方式提供的氢气检测装置就可及时检测到运输腔102内泄漏的氢气。

参照图1，所述氢气检测装置包括：检测管4，所述检测管4的一端与所述排气管3连通；氢气检测元件，所述检测管4的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管4内具有氢气。

具体的，流通于所述排气管3内的气体进入检测管4后又流入所述氢气检测元件，通过氢气检测元件检测该气体中是否存有氢气，若存有氢气，就可通过所述提示元件发出提示信号，以告知操作人员。示例的，所述氢气检测元件可以是浓度传感器，所述提示元件可以是报警器、也可以是发光件，也可以是报警器与发光件的组合件，其他类型的氢气检测元件和提示元件也在本公开的保护范围之内。

若运输腔102中存有氢气，所述提示元件就会发出提示信号，这样操作人员就会得知排气管中流通的气体中存有氢气，便于及时调整排气途径，也能够提醒操作人员运输腔与反应腔之间发生泄漏现象，便于及时对运输腔与反应腔之间的密封结构进行处理。

示例的，所述检测管4可以是硬管，也可以是软管，具体材质不做限定，且检测管的具体结构也不做限定。

为了方便更换、维修所述氢气检测元件，所述氢气检测元件可拆卸安装在所述排气管3上，示例的，所述氢气检测元件可以通过卡接结构安装在所述排气管上，示例的，参照图1，所述氢气检测元件可以通过U型螺栓9安装在所述排气管3上。U型螺栓取材方便，能够降低制造成本，主要是U型螺栓能够稳定的固定氢气检测元件。

为了使氢气检测元件稳固的安装在所述排气管3上，先将所述氢气检测元件通过螺栓安装在底座10上，再将底座10通过U型螺栓9固定在排气管3上。示例的，所述底座10可以是钢板，也可以是橡胶板，所述底座的具体形状、材质均不做限定。

具体的，所述氢气检测元件与所述提示元件集成为氢气检测报警器8，通过氢气检测报警器8实现氢气的检测和提示，简化了整个氢气检测装置的结构。

具体检测时，排气管3中所抽取的气体可能含有粉尘，为了提高所述氢气检测元件测量的精确度，延长氢气检测元件的使用寿命，参照图2，所述氢气检测装置还包括：粉尘过滤装置5，所述粉尘过滤装置5的入口与所述检测管3连通，所述粉尘过滤装置5的出口与所述氢气检测元件连通。这样当气体进入氢气检测元件之前，先通过所述粉尘过滤装置5对气体进行过滤，将气体中的粉尘颗粒过滤掉，避免粉尘颗粒进入氢气检测元件影响所述氢气检测元件的性能，进而影响测量精度。示例的，所述粉尘过滤装置5一般用于过滤气体中的硅烷粉尘。所述粉尘过滤装置包括滤网，且滤网的孔径小于硅烷粉尘的粒径。

通常流通于所述排气管内的气体中混杂有甲烷，为了收集没有粉尘的甲烷，参照图2，所述氢气检测装置还包括：甲烷收集装置6，所述甲烷收集装置6的入口与所述粉尘过滤装置5的出口连通，所述甲烷收集装置6的出口与所述氢气检测元件连通，通过甲烷收集装置收集气体中的甲烷，同时也能够避免甲烷对测量数据的影响，具体的，所述甲烷收集装置包括收集箱体，所述收集箱体内具有可溶于甲烷的有机溶剂，通过甲烷溶于有机溶剂以将甲烷收集。

流通于所述排气管内的气体中也会混杂有水蒸气，为了防止水蒸气影响测量数据的精确度，参照图2，所述氢气检测装置还包括：干燥装置7，所述干燥装置7的入口与所述甲烷收集装置6的出口连通，所述干燥装置7的出口与所述氢气检测元件连通，所述干燥装置能够将气体中的水蒸气吸收，示例的，所述干燥装置至少包括干燥腔，以及吸附剂。

示例的，所述检测管4具有两根，两根均用于将气体导入所述氢气检测元件，当其中一根检测管发生泄漏时，另一根也能够保证实时检测到是否存有氢气，两根所述检测管螺纹连接在所述排气管上，所述排气管3上开设有两个螺纹检测孔301，螺纹连接作为一种可拆卸连接，制造工艺简便，实用性好。所述螺纹检测孔配置有可拆卸的堵塞件，当检测管被拆卸下后，通过所述堵塞件将所述螺纹检测孔封堵，避免排气管中的气体外泄。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。