技术总结
本实用新型公开一种镀膜设备,涉及氢气检测技术领域,为检测镀膜设备中的运输腔中是否存有氢气而设计。所述镀膜设备包括:氢气检测装置;所述氢气检测装置包括:检测管,所述检测管的一端与所述排气管连通;氢气检测元件,所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通;提示元件,所述提示元件与所述氢气检测元件电连接,且配置为提示所述检测管内具有氢气。本实用新型提供的镀膜设备具有氢气检测功能。
技术研发人员:贺涛
受保护的技术使用者:广东汉能薄膜太阳能有限公司
技术研发日:2018.07.26
技术公布日:2019.04.23