一种镀膜设备的制作方法

文档序号:17502407发布日期:2019-04-23 23:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种镀膜设备,所述镀膜设备包括排气管和运输腔,所述排气管与所述运输腔连通,其特征在于,所述镀膜设备还包括:氢气检测装置;所述氢气检测装置包括:

检测管,所述检测管的一端与所述排气管连通;

氢气检测元件,所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通;

提示元件,所述提示元件与所述氢气检测元件电连接,且配置为提示所述检测管内具有氢气。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测元件可拆卸安装在所述排气管上。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测元件通过U型螺栓安装在所述排气管上。

4.根据权利要求3所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测元件固定在底座上,所述底座通过所述U型螺栓安装在所述排气管上。

5.根据权利要求1所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测元件与所述提示元件集成为氢气检测报警器。

6.根据权利要求1所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测装置还包括:

粉尘过滤装置,所述粉尘过滤装置的入口与所述检测管连通,所述粉尘过滤装置的出口与所述氢气检测元件连通。

7.根据权利要求6所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测装置还包括:

甲烷收集装置,所述甲烷收集装置的入口与所述粉尘过滤装置的出口连通,所述甲烷收集装置的出口与所述氢气检测元件连通。

8.根据权利要求7所述的镀膜设备,其特征在于,所述氢气检测装置还包括:

干燥装置,所述干燥装置的入口与所述甲烷收集装置的出口连通,所述干燥装置的出口与所述氢气检测元件连通。

9.根据权利要求1所述的镀膜设备,其特征在于,所述检测管螺纹连接在所述排气管上。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备,其特征在于,所述排气管上开设有螺纹检测孔,且所述螺纹检测孔配置有可拆卸的堵塞件。

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