安全检测装置及晶圆修边机的制作方法

文档序号:17200856发布日期:2019-03-27 09:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种安全检测装置,其特征在于,包括温度检测器、转速检测器、控制器及电磁开关;所述电磁开关设置于一晶圆修边机的安全门上,所述温度检测器及所述转速检测器均设置于所述晶圆修边机内,并检测所述晶圆修边机的研磨刀的温度及转速以获得温度信号及转速信号,且所述温度检测器及所述转速检测器分别将所述温度信号及所述转速信号传递至所述控制器,所述控制器接收并分析所述温度信号及所述转速信号,以判断是否控制所述电磁开关打开所述安全门。

2.如权利要求1所述的安全检测装置,其特征在于,当所述温度信号对应的温度值小于第一阈值,且所述转速信号对应的转速值小于第二阈值时,所述控制器向所述电磁开关发送控制信号,以控制所述电磁开关打开所述安全门。

3.如权利要求2所述的安全检测装置,其特征在于,所述第一阈值小于等于30摄氏度,所述第二阈值小于等于10转/分钟。

4.如权利要求2所述的安全检测装置,其特征在于,当所述电磁开关接收到所述控制信号时,所述电磁开关断电以打开所述安全门。

5.如权利要求1所述的安全检测装置,其特征在于,所述温度检测器包括红外测温传感器、热电偶温度传感器及热敏电阻温度传感器中的一种或多种。

6.如权利要求1所述的安全检测装置,其特征在于,所述控制器包括显示器,所述显示器用于显示所述温度信号对应的温度值。

7.如权利要求1所述的安全检测装置,其特征在于,所述转速检测器设置于所述研磨刀的驱动马达上,通过检测所述驱动马达的转速以得到所述研磨刀的转速。

8.如权利要求1所述的安全检测装置,其特征在于,所述控制器还包括预警器,用于在所述安全门打开时发出预警信号。

9.如权利要求8所述的安全检测装置,其特征在于,所述预警器为蜂鸣器和/或发光二极管。

10.一种晶圆修边机,其特征在于,包括如权利要求1-9中任一项所述的安全检测装置。

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