一种保护腔壁的装置的制作方法

文档序号:18671067发布日期:2019-09-13 21:56阅读:344来源:国知局
一种保护腔壁的装置的制作方法

本实用新型属于镀膜设备领域,特别是涉及一种保护腔壁的装置。



背景技术:

随着膜材料在各行各业的应用越来越广,因此出现了各种各样的镀膜设备。对于厚膜的生产,腔体中微小的颗粒就会导致膜缺陷,影响产品的质量。通过镀膜经验,人们发现腔壁的洁净度很大程度影响了镀膜层的质量。

常用的镀膜设备腔体内部分为:镀料蒸发源(例如蒸镀设备)或靶材(磁控溅射设备)以及腔壁等。在蒸镀过程中,因为镀膜的一致性,膜层材料常会沉积于腔壁上,但是,腔壁表面有镀料会影响待镀产品的质量。为了避免镀料沉积腔壁,人们常常采取两种措施:第一种,设计一种护板,将护板悬挂于腔体表面,从而保护腔壁,镀膜过程中,镀料会沉积于护板表面,通过定期拆卸护板,并清理表面镀料,使护板能够再使用;第二种,设计一种护板,将护板悬挂于腔体表面,然后使用一种材料覆盖于护板表面,定期将覆盖的材料拆除掉。第一种方案,由于考虑护板的实用性,一般会比较重,拆卸不方便,且效率较低;第二种方案,拆除以及装覆盖材料于护板表面也极其不方便。

因此,提供一种在镀膜中保护腔壁的装置实属必要。



技术实现要素:

鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种保护腔壁的装置,用于解决现有技术中用于保护腔壁的装置拆卸不方便,效率低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种保护腔壁的装置,所述保护腔壁的装置至少包括:第一卷筒、第二卷筒、多个导轨转子以及覆盖膜层;

所述第一卷筒和所述第二卷筒分别安装在所述腔壁的两端;

所述导轨转子设置于所述第一卷筒和所述第二卷筒之间的腔壁表面;

所述覆盖膜层置于所述第一卷筒内,并且所述覆盖膜层的一端通过所述导轨转子的支撑传递至所述第二卷筒内。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,根据所述腔壁的高度,设置1层~3层所述保护腔壁的装置。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,根据所述腔壁的形状,在所述腔壁表面设置2个~5个所述导轨转子。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,所述腔壁的形状包括方形及半圆形中的一种或两种的组合。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,所述第一卷筒和所述第二卷筒的直径介于30mm~80mm之间,所述导轨转子的直径介于10mm~20mm之间。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,所述第一卷筒和所述第二卷筒分别通过卷筒支架安装在所述腔壁的两端。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,所述覆盖膜层的厚度介于0.05mm~1mm之间。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,所述覆盖膜层包括铝箔。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,所述第一卷筒内的所述覆盖膜层包括卷材。

作为本实用新型保护腔壁的装置的一种可选的结构,进行镀膜工艺时,所述覆盖膜层覆盖于所述腔壁的表面;镀膜结束后,转动所述第二卷筒将表面具有镀料的所述覆盖膜层收集于所述第二卷筒内,同时,在转动过程中,所述第一卷筒内未使用的所述覆盖膜层则通过所述导轨转子悬附于所述腔壁表面。

如上所述,本实用新型的保护腔壁的装置,所述保护腔壁的装置至少包括:第一卷筒、第二卷筒、多个导轨转子以及覆盖膜层;所述第一卷筒和所述第二卷筒分别安装在所述腔壁的两端;所述导轨转子设置于所述第一卷筒和所述第二卷筒之间的腔壁表面;所述覆盖膜层置于所述第一卷筒内,并且所述覆盖膜层的一端通过所述导轨转子的支撑传递至所述第二卷筒内。本实用新型提供的保护腔壁的装置结构简单,容易操作,有助于减小待镀产品的膜面颗粒,获得质量较好的镀膜层,提高镀膜机的工作效率。

附图说明

图1显示为本实用新型保护腔壁的装置的俯视图。

图2显示为本实用新型保护腔壁的装置的侧视图。

元件标号说明

1 第一卷筒

2 第二卷筒

3 导轨转子

4 覆盖膜层

5 腔壁

6 卷筒支架

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图2。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。

现有技术中,为了防止腔壁上的镀料脱落,影响待镀产品的质量,一般采用防护板或覆盖有材料的防护板来解决腔壁镀料问题,但是防护板笨重,不方便拆卸,且安装覆盖材料也极其不方便。鉴于此,本发明提出了一种保护腔壁的装置,防止腔壁沉积镀料,可以获得质量较好的镀膜膜层,提高镀膜机的工作效率。

如图1和图2所示,本实用新型提供一种保护腔壁的装置,所述保护腔壁的装置至少包括:第一卷筒1、第二卷筒2、多个导轨转子3以及覆盖膜层4;

所述第一卷筒1和所述第二卷筒2分别安装在所述腔壁的两端;

所述导轨转子3设置于所述第一卷筒1和所述第二卷筒2之间的腔壁5表面;

所述覆盖膜层4置于所述第一卷筒1内,并且所述覆盖膜层4的一端通过所述导轨转子3的支撑传递至所述第二卷筒2内。

作为示例,根据所述腔壁5的高度,设置1层~3层所述保护腔壁的装置。例如,当所述腔壁5高度小于1米时,可设置所述装置为1层;又如,当所述腔壁5高度大于1米小于2米,可设置所述装置为2层;再如,当所述腔壁5高度大于3米,可设置所述装置为3层。如图2展示了所述装置仅为1层的情况。

作为示例,根据所述腔壁5的形状,在所述腔壁5表面设置2个~5个所述导轨转子3。所述腔壁5的形状包括方形及半圆形中的一种或两种的组合。例如,当所述腔壁5的形状为四方形时,转折点有两个,可设计2个导轨转子3;又如,当所述腔壁5的形状为半圆形时,其转折点较多,可以设计3~5个导轨转子3;再如,如图1所示,当所述腔壁5的形状为半圆形与方形复合时,可设计5个导轨转子3。

根据腔体的尺寸及内部空间,可以设计合适的卷筒以及导轨转子的直径。作为示例,所述第一卷筒1和所述第二卷筒2的直径介于30mm~80mm之间,所述导轨转子3的直径介于10mm~20mm之间。

作为示例,所述第一卷筒1和所述第二卷筒2分别通过卷筒支架6安装在所述腔壁5的两端。所述第一卷筒1和所述第二卷筒2可以在所述卷筒支架6上转动,以带动所述覆盖膜层4的转动和传送。

所述覆盖膜层4的厚度要求适合,太厚了会使卷筒内仅能卷绕较短的覆盖膜层,太薄会容易被划裂。作为示例,所述覆盖膜层4的厚度介于0.05mm~1mm之间。

作为示例,所述覆盖膜层4包括铝箔,当然,也可以是其他适合的膜层材料,在此不做限制。

作为示例,所述第一卷筒1内的所述覆盖膜层包括卷材。即,所述覆盖膜层以卷绕的方式绕于所述第一卷筒1内,当所述第一卷筒1转动时,内部的所述覆盖膜层可以连续从所述第一卷筒1出来。

进行镀膜工艺时,所述覆盖膜层4覆盖于所述腔壁5的表面;镀膜结束后,转动所述第二卷筒2将表面具有镀料的所述覆盖膜层4收集于所述第二卷筒2内,同时,在转动过程中,所述第一卷筒1内未使用的所述覆盖膜层则通过所述导轨转子3悬附于所述腔壁5表面。

作为本实用新型保护腔壁的装置的其中一个实施方式,本实施例是在光学蒸镀机中实施,具体操作过程如下:

1、在腔壁5表面左右两端安装一个卷筒,将0.5m厚的铝箔作为覆盖膜层4装于一端卷筒(第一卷筒1)内,另一端装空的卷筒(第二卷筒2),其中,两个卷筒的直径为50毫米;

2、腔壁5表面两端内部安装多个导轨转子3,便于铝箔的移动,其中,根据腔体的内部形状的转折点,半圆形与方形复合,转折点有5个转折点,设计5个导轨转子3,导轨转子3的直径为5毫米;

3、将一端的铝箔卷材穿过导轨转子3,然后固定于另一端空的卷筒2上;

4、根据腔体的内部高度,腔体高度为2米,设计本装置为2层;

5、可以通过转动空的第二卷筒2将已经有镀料的覆盖膜层收集,装有覆盖膜层的第一卷筒1将新鲜的覆盖膜层悬附于腔壁5表面;

该装置除了用于蒸镀机,在其他实施例中,还可应用于其他各种镀膜设备中,例如磁控溅射、CVD设备等薄膜沉积设备中。

综上所述,本实用新型提供一种保护腔壁的装置,所述保护腔壁的装置至少包括:第一卷筒、第二卷筒、多个导轨转子以及覆盖膜层;所述第一卷筒和所述第二卷筒分别安装在所述腔壁的两端;所述导轨转子设置于所述第一卷筒和所述第二卷筒之间的腔壁表面;所述覆盖膜层置于所述第一卷筒内,并且所述覆盖膜层的一端通过所述导轨转子的支撑传递至所述第二卷筒内。本实用新型提供的保护腔壁的装置结构简单,容易操作,有助于减小待镀产品的膜面颗粒,获得质量较好的镀膜层,提高镀膜机的工作效率。

所以,本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

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