技术总结
本实用新型公开了一种卷对卷真空镀膜设备，它涉及真空镀膜设备技术领域，包括依次相连的放卷室、前张力控制室、进口狭缝室、进口过渡室、前离子清洗室、工艺室、后离子清洗室、出口过渡室、出口狭缝室、后张力控制室和收卷室，所述的放卷室内设置有放卷辊、第一纠偏辊、第二张力辊和第一导向辊，放卷辊与第一纠偏辊、第一张力辊和第一导向辊依次相连，所述的前张力控制室与第一旋片真空泵相连；所述的进口狭缝室与第二旋片真空泵相连；所述的进口过渡室通过第一罗茨真空泵与第二旋片真空泵相连。本实用新型结构设计合理，操作方便可靠，模块化组装，安装简单便捷，实用性强。
技术研发人员：张俊峰;赵子东;许春立;张大剑
受保护的技术使用者：上海子创镀膜技术有限公司
技术研发日：2018.11.26
技术公布日：2019.08.16