一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具的制作方法

本发明涉及光伏电池制造技术领域，具体涉及一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具。

背景技术：

随着光伏产业的规模化和光伏技术的迅速发展，超大产量原子层沉积（ALD）技术成为光伏产品降本增效的有效途径。对于ALD技术自身降低成本的最有效途径就是提高其设备如晶圆（硅片）的产量，而对于批入批出式ALD设备，有效提高ALD设备载具的装载量和缩短生产周期非常关键。

技术实现要素：

发明目的：本发明目的在于针对现有技术的不足，提供一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，能够提高载具的装载量和缩短ALD设备的生产周期。

技术方案：本发明所述一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。

优选地，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。

优选地，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。

优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。

优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。

优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有多个齿条，所述齿条与侧部齿条平行；所述顶板的上端和底板的下端均设有导气槽。

优选地，所述齿条由金属制成。

优选地，所述顶板、底板均由金属制成。

优选地，所述侧板由金属制成。

所述金属优选铝合金、不锈钢、钛合金。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

（1）本发明设置至少部分为中空结构的齿条，在实施时，将ALD设备如晶圆（硅片）置于齿条的中空结构中，热媒（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ALD设备直接接触，能够对ALD设备进行快速加热或冷却。

（2）本发明能够有效杜绝载具划伤，能够有效减少绕镀，绕镀厚度为镀层厚度的50%以下。

（3）本发明的齿条等结构优选采用金属制成，如铝合金或铝镁合金，能够达到ALD工艺要求，同时减少了载具成本，有效增加了转运和加热效率。

附图说明

图1为本发明实施例1的主视图。

图2为本发明实施例1的俯视图。

图3为本发明实施例1的侧视图。

图4为本发明实施例2的结构图。

图5为本发明实施例3的结构图。

图6为本发明实施例1实施时的示意图。

附图中，1-顶板，2-底板，3-侧板，4-齿条，5-导气槽，6-硅片，7-热媒。

具体实施方式

下面通过具体实施例和附图对本发明技术方案进行详细说明，但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。

实施例1

一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图1-3，包括由顶板1、底板2和两侧板3围成的载具框架；顶板1与底板2之间设置有两个齿条4，齿条4与侧板3平行，齿条4为中空齿条；两侧板3的内侧端均固设有齿条4；两侧板3的外侧端均设有导气槽5；其中，齿条4、顶板1、底板2和侧板3均由铝合金制成。

本实施例设置中空齿条，参照图6，在实施时，将ALD设备如硅片6置于齿条的中空结构中，热媒7（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ALD设备直接接触，能够对ALD设备进行快速加热或冷却。

实施例2

一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图4，包括由顶板1、底板2和两侧部齿条4围成的载具框架；顶板1和底板2之间设置有两个齿条4，齿条4与侧部齿条4平行，齿条4为中空齿条；其中，齿条4、顶板1和底板2均由不锈钢制成。

实施例3

一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图5，包括由顶板1、底板2和两侧部齿条4围成的载具框架；顶板1和底板2之间设置有17个齿条4，齿条4与侧部齿条4平行，齿条4的部分设置为中空结构，顶板1的上端和底板2的下端均设有导气槽5；其中，齿条4、顶板1和底板2均由钛合金制成。

如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本发明，但其不得解释为对本发明自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本发明的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。