一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的制作方法

文档序号:20163988发布日期:2020-03-24 21:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:其结构包括抽气泵(1)、真空室(2)、真空泵(3)、控制机(4)、蒸发源(5)、基板(6)、基片(7)、加热器(8)、抽真空管(9),所述抽气泵(1)安装在真空室(2)外侧顶端,所述真空室(2)内分别设有蒸发源(5)、基板(6)、基片(7),在真空室(2)内部用连接的抽真空管(9)与真空泵(3)连接,所述加热器(8)与蒸发源(5)配合,所述真空泵(3)用控制机(4)驱动,所述抽气泵(1)位于真空室(2)的内部连接有引管(11)与挡板(12),所述引管(11)与挡板(12)采用导轮机械连接,所述挡板(12)为半圆台结构。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:相对称的所述挡板(12)为交错设置,而板面相互活动接触贴合。

3.根据权利要求1或2所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述挡板(12)沿着引管(11)活动角度为360°。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述挡板(12)的圆形切面上组成有电磁铁(121)、嵌环(122)、伸缩气孔(123)、扇形片(124)、拉簧(125),所述电磁铁(121)与扇形片(124)吸合固定,所述嵌环(122)与伸缩气孔(123)之间用拉簧(125)连接。

5.根据权利要求4所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述嵌环(122)与伸缩气孔(123)为同轴心,在两者之间呈圆周均匀设有四个所述拉簧(125)。

6.根据权利要求4所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述扇形片(124)中心位置设有滑动配合于拉簧(125)的滑槽,两者为水平固定。

7.根据权利要求4或6所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述扇形片(124)分别由铁片(241)与海绵层(242)组成,所述铁片(241)与电磁铁(121)异性相吸,所述海绵层(242)间接接触配合于伸缩气孔(123)的环线上。

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