一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的制作方法

本发明涉及电容器加工技术领域，特别的，是一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。

背景技术：

金属化薄膜作为薄膜电容器中的芯组材料，其中包括普通金属化膜和金属化安全膜，蒸镀是将材料在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法，又称为真空蒸镀或真空镀膜；

真空蒸镀中分为点蒸与面蒸，由于点蒸发源所对应的的沉积均匀性稍好于面蒸源，因此点蒸多用于目前金属薄膜的蒸镀加工，由于沉积时，真空度较高，被蒸发物质的原子、分子一般是处于分子流的状态下，导致真空系统中有残留的气体，杂质气体分子与蒸发物质的原子分别射向衬底，并同时沉积在衬底上，而造成薄膜纯度变差。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明提供一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括抽气泵、真空室、真空泵、控制机、蒸发源、基板、基片、加热器、抽真空管，所述抽气泵安装在真空室外侧顶端，所述真空室内分别设有蒸发源、基板、基片，在真空室内部用连接的抽真空管与真空泵连接，所述加热器与蒸发源配合，所述真空泵用控制机驱动，所述抽气泵位于真空室的内部连接有引管与挡板，所述引管与挡板采用导轮机械连接，所述挡板为半圆台结构。

作为本发明的进一步改进，相对称的所述挡板为交错设置，而板面相互活动接触贴合。

作为本发明的进一步改进，所述挡板沿着引管活动角度为360°。

作为本发明的进一步改进，所述挡板的圆形切面上组成有电磁铁、嵌环、伸缩气孔、扇形片、拉簧，所述电磁铁与扇形片吸合固定，所述嵌环与伸缩气孔之间用拉簧连接。

作为本发明的进一步改进，所述嵌环与伸缩气孔为同轴心，在两者之间呈圆周均匀设有四个所述拉簧，让伸缩气孔的连接更加稳定。

作为本发明的进一步改进，所述扇形片中心位置设有滑动配合于拉簧的滑槽，两者为水平固定。

作为本发明的进一步改进，所述扇形片分别由铁片与海绵层组成，所述铁片与电磁铁异性相吸，所述海绵层间接接触配合于伸缩气孔的环线上。

作为本发明的进一步改进，所述挡板与引管连接处安装有小型的旋转电机，通过旋转电机控制挡板的转动。

作为本发明的进一步改进，所述扇形片设有四个，其内弧边与伸缩气孔弧度等同，在做向心运动时完全与伸缩气孔吻合。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1.本发明挡板采用半圆台结构且两个对称交错，挡板配合旋转电机与引管发生角度变化，当挡板旋转至90°时，两个挡板一端接触将基片封闭于一个三角空间内，在引管与抽气泵配合下，利用抽吸作用将衬底周围的杂质分子及时吸出，避免其附于衬底上，以此保证薄膜的纯度。

2.本发明挡板圆形表面上设置的电磁铁与扇形片、伸缩气孔、拉簧配合，电磁铁与扇形片产生的吸附作用使扇形片能够在伸缩气孔圆周面活动，磁性断开时，扇形片的海绵层接触到伸缩气孔实现清洁，解决由于长期吸附作用时杂质分子残留在伸缩气孔的孔口处。

3.本发明扇形片与拉簧水平配合，四个扇形片所形成的圆形完全与伸缩气孔一致，使清洁更加全面，而拉簧可保证扇形片水平移动过程中不会偏离，实现有效清洁。

附图说明

图1为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的结构示意图。

图2为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的内部结构示意图。

图3为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的挡板旋转90°结构示意图。

图4为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的挡板旋转180°结构示意图。

图5为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的挡板平面结构示意图。

图6为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的扇形片断开吸合结构示意图。

图中：抽气泵-1、真空室-2、真空泵-3、控制机-4、蒸发源-5、基板-6、基片-7、加热器-8、抽真空管-9、引管-11、挡板-12、电磁铁-121、嵌环-122、伸缩气孔-123、扇形片-124、拉簧-125、铁片-241、海绵层-242。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，图1～图6示意性的显示了本发明实施方式的金属薄膜蒸镀设备的结构，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

如图1-图4所示，本发明提供一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括抽气泵1、真空室2、真空泵3、控制机4、蒸发源5、基板6、基片7、加热器8、抽真空管9，所述抽气泵1安装在真空室2外侧顶端，所述真空室2内分别设有蒸发源5、基板6、基片7，在真空室2内部用连接的抽真空管9与真空泵3连接，所述加热器8与蒸发源5配合，所述真空泵3用控制机4驱动，所述抽气泵1位于真空室2的内部连接有引管11与挡板12，所述引管11与挡板12采用导轮机械连接，所述挡板12为半圆台结构，相对称的所述挡板12为交错设置，而板面相互活动接触贴合，所述挡板12沿着引管11活动角度为360°，所述挡板12与引管11连接处安装有小型的旋转电机，通过旋转电机控制挡板12的转动。

改进了传统的挡板12结构设计，结合配合的引管11与抽气泵1以及旋转电机，使挡板12可随意进行角度变化，使蒸镀后的薄膜材料置于一个由挡板12形成的封闭空间内，再将衬底周围的杂质分子用从伸缩气孔123产生的负压气体进行吸附，从而保证薄膜的纯度，并且不会被二次污染。

实施例2

如图5-6所示，所述挡板12的圆形切面上组成有电磁铁121、嵌环122、伸缩气孔123、扇形片124、拉簧125，所述电磁铁121与扇形片124吸合固定，所述嵌环122与伸缩气孔123之间用拉簧125连接，所述嵌环122与伸缩气孔123为同轴心，在两者之间呈圆周均匀设有四个所述拉簧125，让伸缩气孔123的连接更加稳定，所述扇形片124中心位置设有滑动配合于拉簧125的滑槽，两者为水平固定，所述扇形片124分别由铁片241与海绵层242组成，所述铁片241与电磁铁121异性相吸，所述海绵层242间接接触配合于伸缩气孔123的环线上，所述扇形片124设有四个，其内弧边与伸缩气孔123弧度等同。

在改进的挡板12结构实现了保证薄膜纯度的同时，因吸附杂质分子的同时，其主要是在伸缩气孔123中流通，而伸缩气孔123接触的杂质分子少量积在孔口时，可通过配合的电磁铁121、嵌环122、拉簧125实现具有活动功能的扇形片124进行清洁，挡板12在旋转电机驱动下，旋转180°，将圆形的一面朝上，如图4所示，这样子可保证海绵层242在清洁伸缩气孔123周围时不会掉于真空室2内。

下面对上述技术方案中的金属薄膜蒸镀设备的工作原理作如下说明：

金属薄膜在真空室2内进行蒸镀工作时，将金属薄膜置于基片7上，启动真空泵3，进行抽真空使，使真空室2完全处于一个真空状态下，然后启动加热器8，在蒸发源5作用下开始蒸镀作业，而在这个蒸镀过程中，挡板12打开如图2所示状态下，直到蒸镀完成时，旋转电机带动挡板12活动呈如图3所示状态，形成一个封闭于薄膜的狭小空间，然后抽气泵1工作，抽空气时，经由引管11接通于伸缩气孔123，在孔口形成的负压从而将衬底上的杂质分子及时吸出，从而保证取出金属薄膜纯度；

在伸缩气孔123产生负压时，电磁铁121工作，扇形片124始终保持着如图5所示打开状态，直到抽吸工作完成后，电磁铁121停止工作，而失去了磁性吸附作用下的扇形片124配合拉簧125向圆心运动，而拉簧125同时还起到限位扇形片124的作用，这样可防止扇形片124跑偏，直到海绵层242接触到伸缩气孔123，但是由于相邻海绵层242的相互抵触作用不会封闭孔口，通过海绵层242起到清洁伸缩气孔123的特点。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。