技术总结
本发明公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括抽气泵、真空室、真空泵、控制机、蒸发源、基板、基片、加热器、抽真空管，抽气泵安装在真空室外侧顶端，真空室内分别设有蒸发源、基板、基片，在真空室内部用连接的抽真空管与真空泵连接，加热器与蒸发源配合，真空泵用控制机驱动，抽气泵位于真空室的内部连接有引管与挡板，本发明挡板采用半圆台结构且两个对称交错，挡板配合旋转电机与引管发生角度变化，当挡板旋转至90°时，两个挡板一端接触将基片封闭于一个三角空间内，在引管与抽气泵配合下，利用抽吸作用将衬底周围的杂质分子及时吸出，避免其附于衬底上，以此保证薄膜的纯度。
技术研发人员：白海山
受保护的技术使用者：白海山
技术研发日：2019.12.14
技术公布日：2020.03.24