一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机的制作方法

本发明涉及磁控溅射卷绕镀膜机技术领域，尤其涉及一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机。

背景技术：

真空镀膜是一种生成薄膜材料的技术，在真空室内镀膜材料的原子或分子从表面离析出来打到被镀物体的表面上，真空镀膜一般是指用物理的方法沉积薄膜，主要有蒸发镀膜、离子镀和溅射镀膜；其中溅射镀膜中的磁控溅射镀膜以其膜基结合牢度好、效率高、无污染等优点被广泛应用，磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率，通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射效率的方法，其原理是：把基材和靶材安装于真空室内，在处于低压状态(10-3～10-5乇)气体的辉光放电中形成正、负离子及电子，正离子轰击作为阴极的靶材，使靶材原子被溅射出来，在基材上形成薄膜，从而实现基体材料的各种功能化。

经检索，授权公告号cn204162778u公开了一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机，镀膜机的真空室中包括有：设置于镀膜辊下方的靶材罩、位于镀膜辊和靶材罩之间的模板，其中，模板上一体成型的设置有若干镂空状的纹理、图案或花纹，模板被镀膜辊压下并贴紧于靶材罩的内壁上，其通过控制放布轮、收布轮、镀膜辊、导辊的转速，使布料与模板的转动同步，通过更换不同的模板实现不同花纹、图案的镀膜操作，结构简单、使用方便、生成图案成本低。

上述专利虽然通过模板传动，配合模板自身上的缕空花纹实现了不同花纹、图案的镀膜操作；但是其仍然存在一些不足，其不便于根据实际需要调整模板的张紧度，（由于其公开了模板为聚酰亚胺、聚酯、聚乙烯、橡胶等材料中的任意一种，薄、韧且稍具弹性；就像传送带一样在长时间的传动中，容易出现松动打滑的现象，从而造成不能稳定的转动进行不同花纹、图案的镀膜操作），传统的调整方式较复杂繁琐费时，不能满足使用需求，针对此现象进一步延伸改进，因此我们提出了一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机，用于解决上述问题。

技术实现要素：

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机。

本发明提出的一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机，包括磁控溅射卷绕镀膜机本体，所述磁控溅射卷绕镀膜机本体包括真空室、转动安装在真空室后侧内壁和前侧内壁之间的四个导辊、以及绕设在四个导辊上的模板，所述真空室的左下角开设有l形安装孔，真空室的左侧固定连接有l形卡块，真空室的底部固定连接有左侧为开口设置的圆卡套，所述真空室的左下角设置有与模板相配合的可拆式张紧度调整装置，所述可拆式张紧度调整装置包括相互配合的张紧度快调机构和快固机构。

优选的,所述快固机构包括与真空室的左下角贴合接触的l形安装板，且l形安装板的内侧开设有l形槽，l形安装板活动卡套在l形卡块上，l形安装板的右侧底部转动安装有转动座，圆卡套内活动卡装有圆卡柱，且圆卡柱的右侧设为锥形结构，圆卡柱的左侧固定连接有方杆，方杆的左端贯穿l形槽延伸至l形安装板的左侧并固定连接有转盘，转盘的外侧呈环形等间距固定连接有四个把手杆，转动座滑动套设在方杆上，转动座的右侧与圆卡柱的左端之间固定连接有弹簧，且弹簧活动套设在方杆上。

优选的，所述张紧度快调机构包括滑动套设在方杆上的螺杆，且螺杆上螺纹套设有齿条，齿条的底部固定连接有与l形槽的底部内壁滑动安装的滑块，所述l形槽的左侧内壁上从上至下依次固定连接有两个第一固定杆、两个第二固定杆和两个第三固定杆，两个第一固定杆之间转动安装有位于l形安装孔内的第一齿轮，两个第二固定杆之间转动安装有第二齿轮，两个第三固定杆之间转动安装有第三齿轮和第四齿轮，第三齿轮位于第四齿轮的左侧并与第四齿轮相啮合，第二齿轮的顶部与第一齿轮的底部相啮合，第二齿轮与第三齿轮相啮合，第四齿轮的底部与齿条的顶部相啮合，第三齿轮和第四齿轮均位于模板的下方，第一齿轮位于模板的左侧，四个导辊中位于左下角的导辊位于第一齿轮和第四齿轮之间，第一齿轮的顶部焊接有倾斜设置的第一支杆，第一支杆的顶端转动安装有与模板的左侧滚动接触的第一挤压辊，第四齿轮的右侧焊接有倾斜设置的第二支杆，且第二支杆的右端转动安装有与模板的底部滚动接触的第二挤压辊。

优选的，所述l形安装板的顶部开设有矩形卡槽，且矩形卡槽的内壁与l形卡块的外侧活动接触，l形卡块的底部设为锥形结构。

优选的，所述转动座的右侧开设有第一方孔，且第一方孔的内壁与方杆的外侧滑动连接，l形安装板的右侧内壁上开设有第一圆孔，且第一圆孔内固定套设有第一轴承，第一轴承的内圈与转动座的外侧焊接套装,l形安装板的左侧内壁上开设有圆穿孔，方杆位于圆穿孔内并与圆穿孔的内壁不接触。

优选的，所述螺杆的右端开设有第二方孔，且第二方孔的内壁与方杆的外侧滑动连接，所述l形安装板的底部内壁上固定连接有两个第二轴承，且第二轴承的内圈与螺杆的外侧焊接套装，齿条的右端开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺杆螺纹连接。

优选的，所述l形安装板的底部内壁上固定连接有t形滑轨，滑块的底部开设有两侧均为开口设置的t形滑槽，且t形滑槽与t形滑轨滑动连接。

优选的，所述第一齿轮的前侧和后侧均固定连接有第一销轴，第一固定杆的前侧开设有第二圆孔，第二圆孔内固定套设有第三轴承，第三轴承的内圈与对应的第一销轴的外侧固定套装，第二齿轮的前侧和后侧均固定连接有第二销轴，第二固定杆的前侧开设有第三圆孔，第三圆孔内固定套设有第四轴承，第四轴承的内圈与对应的第二销轴的外侧固定套装，第三齿轮的前侧和后侧以及第四齿轮的前侧和后侧均固定连接有第三销轴，第三固定杆的前侧开设有两个第四圆孔，且第四圆孔内固定套设有有第五轴承，第五轴承的内圈与对应的第三销轴的外侧固定套装。

优选的，所述第一挤压棍的前端和后端以及第二挤压辊的前端和后端均固定连接有第四销轴，第一支杆的顶端和第二支杆的右端均开设有两侧为开口设置的凹槽，凹槽的前侧内壁和后侧内壁上均开设有第五圆孔，第五圆孔内固定套设有第六轴承，第六轴承的内圈与对应的第四销轴的外侧固定套装。

优选的，所述模板的外侧设置有缕空花纹。

与现有的技术相比，本发明的有益效果是：

通过第一齿轮正、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、第一挤压辊、第一支杆、第二支杆、第二挤压辊、螺杆、齿条、滑块、方杆、转盘、圆卡柱、转动座与t形滑轨相配合，调整模板的张紧度时，正向拉动把手杆带动转盘正向转动，转盘通过方杆带动转动座、圆卡柱和螺杆转动，螺杆转动能带动齿条向右移动，齿条带动滑块在t形滑轨上向右滑动，齿条带动第四齿轮反向转动，第四齿轮通过第二支杆带动第二挤压辊对模板的底部向上挤压，第四齿轮依次通过第三齿轮和第二齿轮带动第一齿轮正向转动，第一齿轮通过第一支杆带动第一挤压辊对模板的左侧向右挤压，在两个部位同步的挤压力下，使得模板的左下角被向内压弯绷紧，实现快速调整其张紧度的目的；

通过l形卡块、圆卡套、l形安装板、方杆、转盘、圆卡柱、弹簧与矩形卡槽相配合，当需要对可拆式张紧度调整装置拆装时，向左拉动转盘带动方杆在第一方孔和第二方孔内向左滑动，方杆带动圆卡柱向左与圆卡套分离并对弹簧向左压缩，此时便可向下移动l形安装板使其带动矩形卡槽向下与l形卡块分离，拆分完成，安装时，则向上移动l形安装板使其内侧与真空室的左下角贴合，l形安装板带动矩形卡槽向上卡套在l形卡块上，此时放松对转盘向左的拉力，此时处于压缩状态的弹簧的弹力带动圆卡柱向右卡入圆卡套内，安装完成，方便人员快速对可拆式张紧度调整装置拆装。

本发明设计合理，操作简便，便于根据实际需要快速对模板的张紧度进行调整，提高调整效率，且便于人员快速对可拆式张紧度调整装置拆装，快速拆装的方式也方便人员后续将可拆式张紧度调整装置快速转移至其他真空室上使用，提高其利用率，满足使用需求，有利于使用。

附图说明

图1为本发明提出的一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机的剖视结构示意图；

图2为图1中的a部分放大结构示意图；

图3为图2中的b部分放大结构示意图；

图4为本发明提出的一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机的可拆式张紧度调整装置主视未剖结构示意图；

图5为本发明提出的一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机的方杆、转动座和圆卡柱连接件立体结构示意图。

图中：100真空室、101导辊、102模板、1l形卡块、2l形安装孔、3圆卡套、4l形安装板、5l形槽、6第一固定杆、7第一齿轮、8第二固定杆、9第二齿轮、10第三固定杆、11第三齿轮、12第四齿轮、13第一挤压辊、14第一支杆、15第二支杆、16第二挤压辊、17第二轴承、18螺杆、19齿条、20滑块、21方杆、22转盘、23圆卡柱、24转动座、25弹簧、26t形滑轨、27矩形卡槽。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步解说。

实施例

参照图1-5，本实施例提出了一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机，包括磁控溅射卷绕镀膜机本体，磁控溅射卷绕镀膜机本体包括真空室100、转动安装在真空室100后侧内壁和前侧内壁之间的四个导辊101、以及绕设在四个导辊101上的模板102，真空室100的左下角开设有l形安装孔2，真空室100的左侧固定连接有l形卡块1，真空室100的底部固定连接有左侧为开口设置的圆卡套3，真空室100的左下角设置有与模板102相配合的可拆式张紧度调整装置，可拆式张紧度调整装置包括相互配合的张紧度快调机构和快固机构，本发明设计合理，操作简便，便于根据实际需要快速对模板102的张紧度进行调整，提高调整效率，且便于人员快速对可拆式张紧度调整装置拆装，快速拆装的方式也方便人员后续将可拆式张紧度调整装置快速转移至其他真空室100上使用，提高其利用率，满足使用需求，有利于使用。

本实施例中，快固机构包括与真空室100的左下角贴合接触的l形安装板4，且l形安装板4的内侧开设有l形槽5，l形安装板4活动卡套在l形卡块1上，l形安装板4的右侧底部转动安装有转动座24，圆卡套3内活动卡装有圆卡柱23，且圆卡柱23的右侧设为锥形结构，圆卡柱23的左侧固定连接有方杆21，方杆21的左端贯穿l形槽5延伸至l形安装板4的左侧并固定连接有转盘22，转盘22的外侧呈环形等间距固定连接有四个把手杆，转动座24滑动套设在方杆21上，转动座24的右侧与圆卡柱23的左端之间固定连接有弹簧25，且弹簧25活动套设在方杆21上，张紧度快调机构包括滑动套设在方杆21上的螺杆18，且螺杆18上螺纹套设有齿条19，齿条19的底部固定连接有与l形槽5的底部内壁滑动安装的滑块20，l形槽5的左侧内壁上从上至下依次固定连接有两个第一固定杆6、两个第二固定杆8和两个第三固定杆10，两个第一固定杆6之间转动安装有位于l形安装孔2内的第一齿轮7，两个第二固定杆8之间转动安装有第二齿轮9，两个第三固定杆10之间转动安装有第三齿轮11和第四齿轮12，第三齿轮11位于第四齿轮12的左侧并与第四齿轮12相啮合，第二齿轮9的顶部与第一齿轮7的底部相啮合，第二齿轮9与第三齿轮11相啮合，第四齿轮12的底部与齿条19的顶部相啮合，第三齿轮11和第四齿轮12均位于模板102的下方，第一齿轮7位于模板102的左侧，四个导辊101中位于左下角的导辊101位于第一齿轮7和第四齿轮12之间，第一齿轮7的顶部焊接有倾斜设置的第一支杆14，第一支杆14的顶端转动安装有与模板102的左侧滚动接触的第一挤压辊13，第四齿轮12的右侧焊接有倾斜设置的第二支杆15，且第二支杆15的右端转动安装有与模板102的底部滚动接触的第二挤压辊16，l形安装板4的顶部开设有矩形卡槽27，且矩形卡槽27的内壁与l形卡块1的外侧活动接触，l形卡块1的底部设为锥形结构，转动座24的右侧开设有第一方孔，且第一方孔的内壁与方杆21的外侧滑动连接，l形安装板4的右侧内壁上开设有第一圆孔，且第一圆孔内固定套设有第一轴承，第一轴承的内圈与转动座24的外侧焊接套装,l形安装板4的左侧内壁上开设有圆穿孔，方杆21位于圆穿孔内并与圆穿孔的内壁不接触，螺杆18的右端开设有第二方孔，且第二方孔的内壁与方杆21的外侧滑动连接，l形安装板4的底部内壁上固定连接有两个第二轴承17，且第二轴承17的内圈与螺杆18的外侧焊接套装，齿条19的右端开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺杆18螺纹连接，l形安装板4的底部内壁上固定连接有t形滑轨26，滑块20的底部开设有两侧均为开口设置的t形滑槽，且t形滑槽与t形滑轨26滑动连接，第一齿轮7的前侧和后侧均固定连接有第一销轴，第一固定杆6的前侧开设有第二圆孔，第二圆孔内固定套设有第三轴承，第三轴承的内圈与对应的第一销轴的外侧固定套装，第二齿轮9的前侧和后侧均固定连接有第二销轴，第二固定杆8的前侧开设有第三圆孔，第三圆孔内固定套设有第四轴承，第四轴承的内圈与对应的第二销轴的外侧固定套装，第三齿轮11的前侧和后侧以及第四齿轮12的前侧和后侧均固定连接有第三销轴，第三固定杆10的前侧开设有两个第四圆孔，且第四圆孔内固定套设有有第五轴承，第五轴承的内圈与对应的第三销轴的外侧固定套装，第一挤压棍13的前端和后端以及第二挤压辊16的前端和后端均固定连接有第四销轴，第一支杆14的顶端和第二支杆15的右端均开设有两侧为开口设置的凹槽，凹槽的前侧内壁和后侧内壁上均开设有第五圆孔，第五圆孔内固定套设有第六轴承，第六轴承的内圈与对应的第四销轴的外侧固定套装，模板102的外侧设置有缕空花纹，模板102为聚酰亚胺、聚酯、聚乙烯、橡胶等材料中的任意一种，薄、韧且稍具弹性，本发明设计合理，操作简便，便于根据实际需要快速对模板102的张紧度进行调整，提高调整效率，且便于人员快速对可拆式张紧度调整装置拆装，快速拆装的方式也方便人员后续将可拆式张紧度调整装置快速转移至其他真空室100上使用，提高其利用率，满足使用需求，有利于使用。

本实施例中，当模板102出现松动打滑的现象，需要调整其张紧度时，正向拉动把手杆带动转盘22正向转动，转盘22带动方杆21转动，方杆21带动转动座24转动，方杆21带动圆卡柱23在圆卡套3内转动，同时方杆21通过第二方孔带动螺杆18转动，在开设在齿条19上的螺纹孔的作用下，螺杆18转动能带动齿条19向右移动，齿条19带动滑块20在t形滑轨26上向右滑动，齿条19带动与其啮合的第四齿轮12反向转动，第四齿轮12通过第二支杆15带动第二挤压辊16对模板102的底部向上挤压，第四齿轮12还带动与其啮合的第三齿轮11正向转动，第三齿轮11带动与其啮合的第二齿轮9反向转动，第二齿轮9带动与其啮合的第一齿轮7正向转动，第一齿轮7通过第一支杆14带动第一挤压辊13对模板102的左侧向右挤压，在第一挤压辊13和第二挤压棍16的挤压力下，使得模板102的左下角在左下角的导辊101处被向内压弯，使得模板102被逐渐压弯绷紧，实现快速调整模板102张紧度的目的；

当需要对可拆式张紧度调整装置拆装时，拆分时，向左拉动转盘22带动方杆21向左移动，方杆21在转动座24上的第一方孔和螺杆18上的第二方孔内向左滑动，同时方杆21带动圆卡柱23向左与圆卡套3分离，圆卡柱23对弹簧25向左压缩，此时便可向下移动l形安装板4，l形安装板4带动矩形卡槽27向下与l形卡块1分离，同时l形安装板4带动第一齿轮7、第二齿轮9、第三齿轮11和第四齿轮12向下从l形安装孔2内移出，拆分完成，安装时，则向上移动l形安装板4使其内侧与真空室100的左下角贴合，l形安装板4带动矩形卡槽27向上卡套在l形卡块1上，此时放松对转盘22向左的拉力，此时处于压缩状态的弹簧25的弹力带动圆卡柱23向右卡入圆卡套3内，此时圆卡套3依次通过圆卡柱23、方杆21和转动座24对l形安装板4上下方向限制，l形卡块1通过矩形卡槽27前后左右方向限制，实现对l形安装板4固定，安装完成，使得便于快速对可拆式张紧度调整装置拆装，通过快拆快固的方式方便人员后续将可拆式张紧度调整装置快速转移至其他真空室100上使用，提高其利用率。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。