专利名称：真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置。
在工业生产中，往往需要在一些颗粒状物的表面上镀一层薄膜，以提高其使用性能。如金刚石在用于制造工器具(刀具、磨具、钻头等)时，为了提高金刚石单晶同母材的结合力，防止在高温下的碳化还原，就要在金刚石表面镀一层金属薄膜，而用现在的电镀方法镀一层铜、镍、铬等金属薄膜。所得到的膜的膜层厚，硬度低，做成的工器具在使用中易发纯，且晶粒易于脱落，现有的真空镀膜方法在真空炉内，只能镀一些有一定体积，易于悬挂物体，因为炉内只有使被镀工件旋转的转动装置。
真空离子镀膜技术是一项先进的高新技术，所镀的膜层硬度高，致密性好，且耐高温。特别在金刚石表面镀一层氧化钛膜，大大提高了金刚石在制造工器具的使用寿命(另案申请)本实用新型的目的是提供一种配合离子镀膜技术，是被镀单晶体在真空镀膜炉内能够均匀，完整全方位的接受离子束而设计的一种真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置。
本实用新型是这样来完成的它是将堆放一起的被镀的颗粒物质一个相应的振动，让其产生跳跃，同时设法让料堆翻滚，能够使料堆中的每一个颗粒物质能够均匀，全方面地接受射入的离子束，形成均匀的薄膜。
以下结合附图
及实施例来对本实用新型做进一步详细描述参照附图，托盘(8)通过绝缘材料做成电隔离轴节(4)与蜗轮减速机(3)相连，减速机(3)通联轴节(2)接直流调速电机(1)，在托盘(8)上固定有空心端面凸轮(9)，端面凸轮(9)上设置有滚轮架(10)，滚轮(11)通过档圈(12)，销钉(13)安装在滚轮架(10)，滚轮架(10)固定在料盘支杆(16)下端，滚轮架(10)在料盘支杆(16)的位置，可根据所需振幅的大小调节，料盘支杆(16)连接料盘(14)，料盘(14)内设有一刮板(15)，刮板(15)通过链条(17)，拉在立杆(18)上，在托盘(8)的下端通过齿轮轴(7)与小齿轮(6)相连，小齿轮(6)与大齿轮(5)啮合，大齿轮(5)用螺丝固定在炉体(19)上。当托盘(8)旋转时，其托盘上安装的零件都随之旋转(公转)小齿轮(6)在托盘(8)的带动下，绕齿轮旋转，同时也产生自转，由于料盘支杆(16)与齿轮轴(7)插接，所以料盘支杆(16)既能随齿轮轴转动又能相对齿轮轴上下运动，滚动架(10)固定在料盘支杆(16)下端可在端面凸轮上滚动。下面分别介绍物料的翻滚及振动情况一、物料的翻滚电机(1)通用减速机(3)带动托盘(8)旋转，安装在托盘的小齿轮(6)将绕着在齿轮(5)旋转，大齿轮(5)固定在炉体(19)上不动，所以小齿轮(6)在随托盘(8)公转的同时，又产生自转。小齿轮(6)的自转可通过齿轮轴(7)带动料盘支杆(16)及固定在料盘支杆上的料盘(14)自转，盘中的颗粒物体受到刮板(15)的阻拦而翻转。
二、物料的振动在料盘支杆(16)自转时，固定在料盘支杆上的滚动架(10)随之转动，滚轮(11)在端面凸轮(9)上滚动，随着凸轮凸面的高低起伏，滚轮架将托着整个料盘起伏，缓慢上升，突然下降。从而料盘(14)中的颗粒物料，将随之振动，由于刮板(15)与立杆(18)采用链条(17)柔性约束，所以在相对料盘转动时，不影响料盘上下移动。由于颗粒物料在真空炉内实现了自动振动翻滚，能使颗粒晶体每个表面都有机会接触离子束，从而镀上一层均匀而坚硬的薄膜。
本实用新型设计新颖、独特，整个振动翻滚装置在真空炉内实现自动化，且运动可靠，保证了料盘中被镀颗粒物体均匀翻滚，上下振动。使其每个表面都有机会接触离子束，镀上一层硬度高、致密性好的膜层。用本装置镀过的金刚石，膜覆率可达98％以上，膜厚0.5-1.0μm，硬度2000HV左右，在850—900℃时烧结不变色，不碳化，不脱落。
本实用新型不仅可用在金刚石的镀膜中的自动振动翻滚，也可广泛地使用在其它颗粒物体的镀膜的振动翻滚。
权利要求1.一种真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置，它包括电机(1)，蜗轮减速机(3)，托盘(8)，其特征在于托盘(8)通过联轴节(4)，减速机(3)与电机(1)相连，在托盘(8)上固定有空心端面凸轮(9)，端面凸轮(9)上设有滚动架(10)，滚动架(10)固定在料盘支杆(16)下端，料盘支杆(16)连接料盘(14)，托盘(8)通过齿轮轴(7)与小齿轮(6)相连，小齿轮(6)与大齿轮(5)啮合，大齿轮(5)通过螺丝固定在炉体(19)上，料盘支杆(16)与设在托盘(8)下的齿轮轴(7)插接。
2.如权利要求1所述的真空膜炉内的自动振动翻滚装置，其特征在于滚轮(11)通过档圈(12)销钉(13)安装在滚轮架(10)上，滚轮架(10)固定在料盘支杆(16)下端，滚轮架(10)在料盘支杆(16)上的位置可调。
3.如权利要求1所述的真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置，其特征在于料盘(14)内设有一刮板(15)，刮板(15)通过链条(17)，拉在立杆(18)上。
专利摘要本实用新型涉及一种真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置，它包括电机、蜗轮减速机、齿轮、托盘。在托盘上固定有空心端面凸轮，端面凸轮上设有滚动架，滚动架固定在料盘支杆的下端，滚动架在料盘支杆上的位置可调，料盘支架连接料盘，在料盘内设有一刮板，刮板通过链条拉在立杆上。随着电机带动托盘的旋转，托盘上安装的零件随之旋转(公转)，小齿随托盘旋转时，并产生自转，实现物料在真空炉中的自动振动翻滚。
文档编号C23C14/56GK2232045SQ9520404
公开日1996年7月31日 申请日期1995年3月1日 优先权日1995年3月1日
发明者樊联哲, 雷勤才 申请人:樊联哲, 雷勤才