的比（方英石的峰强度/背景强度）为1. 21。
[0202] 另外，测定装置、测定条件与实施例1同样。
[0203] 另外，关于热膨胀系数的变化率，从革El上切割20mmX3mmX 3mm，与实施例1同样， 使用理学公司制造的Thermo plus 2TMA 8310,以5°C/分钟的升温速度，测定从250°C到 350°C的热膨胀系数的变化率。从250°C升温到350°C时的热膨胀系数的变化率为3. 6%。
[0204] 使用该靶进行溅射的结果是，稳态时的粉粒产生数为2. 6个。另外，溅射的预烧时 间为0.47kWh。可见，在方英石（结晶化的SiO2)的峰强度低时，预烧时间缩短，并且得到粉 粒产生数少的结果。
[0205] (比较例8)
[0206] 在比较例8中，作为原料粉末，准备平均粒径3 μ m的Co粉末、平均粒径5 μ m的Cr 粉末、平均粒径1 μ m的Pt粉末、平均粒径5 μ m的Co-B粉末、平均粒径1 μ m的非晶5102粉 末、平均粒径1 μπι的CoO粉末。以靶的组成为71C〇-5Cr-12Pt-3B-4Si02-5Co0(摩尔％ )的 方式，以Co粉末56. 30重量％、Cr粉末3. 50重量％、Pt粉末31. 50重量％、B粉末0. 44重 量％、SiO2粉末3. 23重量％、CoO粉末5. 04重量％的重量比率称量这些粉末。
[0207] 然后，将这些粉末与作为粉碎介质的二氧化锆球一起密封到容量10升的球磨机 罐中，旋转20小时进行混合。
[0208] 然后，将该混合粉填充到碳制模具中，在真空气氛下、在温度1160°C、保持时间3 小时、压力30MPa的条件下进行热压，得到烧结体。另外，使用车床将所得烧结体进行切削 加工，得到直径180_、厚度7_的圆盘状靶。
[0209] 关于方英石的峰强度，与实施例1同样，切割靶的一部分并利用X射线衍射 (XRD)法测定X射线衍射强度。即，测定在2Θ :21.98°处出现的峰强度以及背景强度 (((20. 5°~21. 5°的强度平均值）+ (22. 5°~23. 5°的强度平均值））+2)。结果，在2 Θ : 21.98°处出现的峰强度高达64。另外，作为结晶化的5102的方英石的峰强度相对于背景 强度的比（方英石的峰强度/背景强度）为1.67,也增加。该结果与实施例1相比SiOJl 乎均结晶化。
[0210] 另外，测定装置、测定条件与实施例1同样。
[0211] 另外，关于热膨胀系数的变化率，从祀上切割20mmX3mmX 3mm，与实施例1同样， 使用理学公司制造的Thermo plus 2TMA 8310,以5°C/分钟的升温速度，测定从250°C到 350°C的热膨胀系数的变化率。从250°C升温到350°C时的热膨胀系数的变化率为7. 4%，比 实施例1大，产生体积变化，由于该体积变化，在靶中产生微裂纹。
[0212] 使用该靶进行溅射的结果是，稳态时的粉粒产生数增加到9. 8个。另外，溅射的预 烧时间为1.37kWh，预烧时间延长。可见，在方英石（结晶化的SiO2)的峰强度高时，溅射的 预烧时间延长，并且得到溅射时的粉粒产生数增加的结果。
[0213] (实施例 10)
[0214] 在实施例10中，作为原料粉末，准备平均粒径5 μπι的Fe粉末、平均粒径ΙμL? 的Pt粉末、平均粒径5 μπι的Au粉末、平均粒径1 μπι的非晶SiO2粉末。以靶的组成为 40Fe-40Pt-10Au-10Si02 (摩尔 ％ )的方式，以 Fe 粉末 17. 72 重量 ％、Pt 粉末 61. 89 重量 ％、 Au粉末15. 62重量％、SiO2粉末4. 77重量％的重量比率称量这些粉末。
[0215] 然后，将这些粉末与作为粉碎介质的二氧化锆球一起密封到容量10升的球磨机 罐中，旋转20小时进行混合。
[0216] 然后，将该混合粉填充到碳制模具中，在真空气氛下、在温度1090°C、保持时间3 小时、压力30MPa的条件下进行热压，得到烧结体。另外，使用车床将所得烧结体进行切削 加工，得到直径180_、厚度7_的圆盘状靶。
[0217] 关于方英石的峰强度，与实施例1同样，切割靶的一部分并利用X射线衍射 (XRD)法测定X射线衍射强度。即，测定在2Θ :21.98°处出现的峰强度以及背景强度 (((20. 5°~21. 5°的强度平均值）+ (22. 5°~23. 5°的强度平均值））+2)。结果，在2 Θ : 21.98°处出现的峰强度为31。另外，作为结晶化的SiO2的方英石的峰强度相对于背景强 度的比（方英石的峰强度/背景强度）为1. 13。另外，测定装置、测定条件与实施例1同 样。
[0218] 另外，关于热膨胀系数的变化率，从革El上切割20mmX3mmX 3mm，与实施例1同样， 使用理学公司制造的Thermo plus 2TMA 8310,以5°C/分钟的升温速度，测定从250°C到 350°C的热膨胀系数的变化率。从250°C升温到350°C时的热膨胀系数的变化率为3. 4%。
[0219] 使用该靶进行溅射的结果是，稳态时的粉粒产生数为2. 6个。另外，溅射的预烧时 间为0.52kWh。可见，在方英石（结晶化的SiO2)的峰强度低时，预烧时间缩短，并且得到粉 粒产生数少的结果。
[0220] (比较例9)
[0221] 在比较例9中，作为原料粉末，准备平均粒径5 μπι的Fe粉末、平均粒径1 μπι 的Pt粉末、平均粒径5 μL?的Au粉末、平均粒径1 μL?的非晶SiO2粉末。以靶的组成为 40Fe-40Pt-10Au-10Si02 (摩尔 ％ )的方式，以 Fe 粉末 17. 72 重量 ％、Pt 粉末 61. 89 重量 ％、 Au粉末15. 62重量％、SiO2粉末4. 77重量％的重量比率称量这些粉末。
[0222] 然后，将这些粉末与作为粉碎介质的二氧化锆球一起密封到容量10升的球磨机 罐中，旋转20小时进行混合。
[0223] 然后，将该混合粉填充到碳制模具中，在真空气氛下、在温度1160°C、保持时间3 小时、压力30MPa的条件下进行热压，得到烧结体。另外，使用车床将所得烧结体进行切削 加工，得到直径180_、厚度7_的圆盘状靶。
[0224] 关于方英石的峰强度，与实施例1同样，切割靶的一部分并利用X射线衍射 (XRD)法测定X射线衍射强度。即，测定在2Θ :21.98°处出现的峰强度以及背景强度 (((20. 5°~21. 5°的强度平均值）+ (22. 5°~23. 5°的强度平均值））+2)。结果，在2 Θ : 21.98°处出现的峰强度高达70。另外，作为结晶化的5102的方英石的峰强度相对于背景 强度的比（方英石的峰强度/背景强度）为1.86,也增加。该结果与实施例1相比SiOJl 乎均结晶化。
[0225] 另外，测定装置、测定条件与实施例1同样。
[0226] 另外，关于热膨胀系数的变化率，从祀上切割20mmX3mmX 3mm，与实施例1同样， 使用理学公司制造的Thermo plus 2TMA 8310,以5°C/分钟的升温速度，测定从250°C到 350°C的热膨胀系数的变化率。从250°C升温到350°C时的热膨胀系数的变化率为8. 1 %，比 实施例1大，产生体积变化，由于该体积变化，在靶中产生微裂纹。
[0227] 使用该靶进行溅射的结果是，稳态时的粉粒产生数增加到9. 2个。另外，溅射的预 烧时间为1.78kWh，预烧时间延长。可见，在方英石（结晶化的SiO2)的峰强度高时，溅射的 预烧时间延长，并且得到溅射时的粉粒产生数增加的结果。
[0228] (实施例 11)
[0229] 在实施例11中，作为原料粉末，准备平均粒径5 μπι的Fe粉末、平均粒径1 μπι 的Pt粉末、平均粒径5 μL?的Cu粉末、平均粒径1 μL?的非晶SiO2粉末。以靶的组成为 41Fe-41Pt-8Cu-10Si02 (摩尔％ )的方式，以Fe粉末18. 87重量％、Pt粉末64. 17重量％、 Cu粉末12. 64重量％、SiO2粉末4. 82重量％的重量比率称量这些粉末。
[0230] 然后，将这些粉末与作为粉碎介质的二氧化锆球一起密封到容量10升的球磨机 罐中，旋转20小时进行混合。
[0231] 将该混合粉填充到碳制模具中，在真空气氛下、在温度1090°C、保持时间3小时、 压力30MPa的条件下进行热压，得到烧结体。另外，使用车床将所得烧结体进行切削加工， 得到直径180_、厚度7mm的圆盘状革巴。
[0232] 关于方英石的峰强度，与实施例1同样，切割靶的一部分并利用X射线衍射 (XRD)法测定X射线衍射强度。即，测定在2Θ :21.98°处出现的峰强度以及背景强度 (((20. 5°~21. 5°的强度平均值）+ (22. 5°~23. 5°的强度平均值））+2)。结果，在2 Θ : 21.98°处出现的峰强度为33。另外，作为结晶化的SiO2的方英石的峰强度相对于背景强 度的比（方英石的峰强度/背景强度）为1. 2。另外，测定装置、测定条件与实施例1同样。
[0233] 另外，关于热膨胀系数的变化率，从革El上切割20mmX3mmX 3mm，与实施例1同样， 使用理学公司制造的Thermo plus 2TMA 8310,以5°C/分钟的升温速度，测定从250°C到 350°C的热膨胀系数的变化率。从250°C升温到350°C时的热膨胀系数的变化率为3. 5%。
[0234] 使用该靶进行溅射的结果是，稳态时的粉粒产生数为2. 3个。另外，溅射的预烧时 间为0.45kWh。可见，在方英石（结晶化的SiO2)的峰强度低时，预烧时间缩短，并且得到粉 粒产生数少的结果。
[0235] (比较例 10)
[0236] 在比较例10中，作为原料粉末，准备平均粒径5 μπι的Fe粉末、平均粒径ΙμL? 的Pt粉末、平均粒径5 μπι的Cu粉末、平均粒径1 μπι的非晶SiO2粉末。以靶的组成为 41Fe-41Pt-8Cu-10Si02 (摩尔％ )的方式，以Fe粉末18. 87重量％、Pt粉末64. 17重量％、 Cu粉末12. 64重量％、SiO2粉末4. 82重量％的重量比率称量这些粉末。
[0237] 然后，将这些粉末与作为粉碎介质的二氧化锆球一起密封到容量10升的球磨机 罐中，旋转20小时进行混合。
[0238] 然后，将该混合粉填充到碳制模具中，在真空气氛下、在温度1160°C、保持时间3 小时、压力30MPa的条件下进行热压，得到烧结体。另外，使用车床将所得烧结体进行切削 加工，得到直径180_、厚度7_的圆盘状靶。
[0239] 关于方英石的峰强度，与实施例1同样，切割靶的一部分并利用X射线衍射 (XRD)法测定X射线衍射强度。即，测定在2Θ :21.98°处出现的峰强度以及背景强度 (((20. 5°~21. 5°的强度平均值）+ (22. 5°~23. 5°的强度平均值））+2)。结果，在2 Θ : 21.98°处出现的峰强度高达47。另外，作为结晶化的5102的方英石的峰强度相对于背景 强度的比（方英石的峰强度/背景强度）为1.73,也增加。该结果与实施例1相比SiOJl 乎均结晶化。
[0240] 另外，测定装置、测定条件与实施例1同样。
[0241] 另外，关于热膨胀系数的变化率，从祀上切割20mmX3mmX 3mm，与实施例1同样， 使用理学公司制造的Thermo plus 2TMA 8310,以5°C/分钟的升温速度，测定从250°C到 350°C的热膨胀系数的变化率。从250°C升温到350°C时的热膨胀系数的变化率为7. 9%，比 实施例1大，产生体积变化，由于该体积变化，在靶中产生微裂纹。
[0242] 使用该靶进行溅射的结果是，稳态时的粉粒产生数增加到6. 9个。另外，溅射的预 烧时间为1.34kWh，预烧时间延长。可见，在方英石（结晶化的SiO2)的峰强度高时，溅射的 预烧时间延长，并且得到溅射时的粉粒产生数增加的结果。
[0243] (实施例 12)
[0244] 在实施例12中，作为原料粉末，准备平均粒径5 μπι的Fe粉末、平均粒径ΙμL? 的Pt粉末、平均粒径5 μπι的Ag粉末、平均粒径1 μπι的非晶SiO2粉末。以靶的组成为 45Fe-45Pt-2Ag-8Si02 (摩尔％ )的方式，以Fe粉末20. 96重量％、Pt粉末73. 23重量％、 Ag粉末1. 8重量％、SiO2粉末4. 01重量％的重量比率称量这些粉末。
[0245] 然后，将这些粉末与作为粉碎介质的二氧化锆球一起密封到容量10升的球磨机 罐中，旋转20小时进行混合。
[0246] 将该混合粉填充到碳制模具中，在真空气氛下、在温度1090°C、保持时间3小时、 压力30MPa的条件下进行热压，得到烧结体。另外，使用车床将所得烧结体进行切削加工， 得到直径180_、厚度7mm的圆盘状革巴。
[0247] 关于方英石的峰强度，与实施例1同样，切割靶的一部分并利用X射线衍射 (XRD)法测定X射线衍射强度。即，测定在2Θ :21.98°处出现的峰强度以及背景强度 (((20. 5°~21. 5°的强度平