一种基片架玻璃固定夹具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于玻璃平面磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其涉及一种基片架玻璃固定夹具。
【背景技术】
[0002]基片架原有固定玻璃的上夹具为旋钮结构，玻璃固定要通过旋转上夹具，使夹具固定压紧玻璃端压住玻璃上，从而固定玻璃。
[0003]在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题:玻璃固定在基片架上随基片架一起移动，但由于基片架在传动过程中平稳性不是太好的情况下，夹具有时候会偏转，轻微的抖动就将玻璃晃出基片架，造成玻璃跌落破碎或设备传动故障。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可靠固定玻璃、减少或避免玻璃掉片情况出现的基片架玻璃固定夹具。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是:一种基片架玻璃固定夹具，包括底座，所述底座上设有限位玻璃的安装座，所述安装座上设有定位玻璃的定位槽，所述安装座内还设有可滑动伸入或伸出所述定位槽、从而与定位槽槽底配合夹持或松开所述玻璃的拨片。
[0006]还包括压板，所述安装座上还设有安装槽，所述压板与安装槽连接并将拨片夹持在安装槽槽底与压板之间。
[0007]所述拨片包括两端，分别为操作端和可伸入定位槽的夹持端，所述压板上设有导向槽，所述操作端伸出所述导向槽并能在导向槽内活动。
[0008]所述安装槽槽底设有卡紧所述拨片的卡紧机构。
[0009]所述卡紧机构为弹片。
[0010]所述安装座位于玻璃两侧和上端。
[0011]所述拨片为L型。
[0012]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果，采用拨片可靠限位固定玻璃，同时拨片操作方便，便于玻璃的拆卸。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型实施例中提供的基片架玻璃固定夹具的结构示意图；
[0014]图2为图1的剖视图；
[0015]图3为图2的局部放大图；
[0016]上述图中的标记均为:1、安装座，11、定位槽，12、安装槽，2、拨片，3、玻璃，4、压板，41、导向槽，5、弹片，6、底座。
【具体实施方式】
[0017]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
[0018]参见图1，一种基片架玻璃固定夹具，包括底座6，底座6上设有限位玻璃3的安装座1，安装座I上设有定位玻璃3的定位槽11，安装座I内还设有可滑动伸入或伸出定位槽
11、从而与定位槽11槽底配合夹持或松开玻璃3的拨片2。
[0019]还包括压板4，安装座I上还设有安装槽12，压板4与安装槽12连接并将拨片2夹持在安装槽12槽底与压板4之间。通过压板4和安装槽12限位拨片2。
[0020]拨片2包括两端，分别为操作端和可伸入定位槽11的夹持端，压板4上设有导向槽41，操作端伸出导向槽41并能在导向槽41内活动，通过导向槽41使拨片2的操作端伸出，便于操作。同时导向槽41起到限制拨片2活动行程的作用。
[0021]安装槽12槽底设有卡紧拨片2的卡紧机构。卡紧机构为弹片5。通过弹片5给拨片2 —个压力，使得拨片2的位置相对固定，只用通过外力操作，才能改变拨片2的位置，使对玻璃3的夹持或松开稳定可靠。
[0022]安装座I位于玻璃3两侧和上端。将玻璃3固定，通过两侧的安装座I防止玻璃3在传动过程中因惯性滑动，下夹具仍利用原来的支撑。
[0023]拨片2为L型。长端为夹持端；短端为操作端，伸出导向槽41。
[0024]使用时，将玻璃3放置到安装座I的定位槽11内，操作拨片2的操作端，使拨片2的夹持端伸入定位槽11内，在定位槽11槽底和拨片2和配合下，夹持住玻璃3。当需要拆卸玻璃3时，操作拨片2的操作端，拨片2的夹持端伸出定位槽11，玻璃3另一侧失去定位，将玻璃3取出即可。
[0025]采用上述的结构后，采用拨片2可靠限位固定玻璃3，同时拨片2操作方便，便于玻璃3的拆卸，减少或避免玻璃3掉片情况出现，提高产品合格率及降低设备故障率。
[0026]上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种基片架玻璃固定夹具，包括底座￠)，其特征在于，所述底座(6)上设有限位玻璃(3)的安装座(I)，所述安装座(I)上设有定位玻璃(3)的定位槽(11)，所述安装座(I)内还设有可滑动伸入或伸出所述定位槽(11)、从而与定位槽(11)槽底配合夹持或松开所述玻璃⑶的拨片⑵。
2.如权利要求1所述的基片架玻璃固定夹具，其特征在于，还包括压板(4)，所述安装座(I)上还设有安装槽(12)，所述压板(4)与安装槽(12)连接并将拨片(2)夹持在安装槽(12)槽底与压板⑷之间。
3.如权利要求2所述的基片架玻璃固定夹具，其特征在于，所述拨片(2)包括两端，分别为操作端和可伸入定位槽(11)的夹持端，所述压板(4)上设有导向槽(41)，所述操作端伸出所述导向槽(41)并能在导向槽(41)内活动。
4.如权利要求3所述的基片架玻璃固定夹具，其特征在于，所述安装槽(12)槽底设有卡紧所述拨片(2)的卡紧机构。
5.如权利要求4所述的基片架玻璃固定夹具，其特征在于，所述卡紧机构为弹片(5)。
6.如权利要求1所述的基片架玻璃固定夹具，其特征在于，所述安装座(I)位于玻璃(3)两侧和上端。
7.如权利要求5所述的基片架玻璃固定夹具，其特征在于，所述拨片(2)为L型。
【专利摘要】本实用新型公开了一种基片架玻璃固定夹具，包括底座(6)，底座(6)上设有限位玻璃(3)的安装座(1)，安装座(1)上设有定位玻璃(3)的定位槽(11)，安装座(1)内还设有可滑动伸入或伸出定位槽(11)、从而与定位槽(11)槽底配合夹持或松开玻璃(3)的拨片(2)，减少或避免玻璃(3)掉片情况出现，提高产品合格率及降低设备故障率。
【IPC分类】C23C14-35, C23C14-50, C03C17-00
【公开号】CN204455281
【申请号】CN201420813835
【发明人】罗德华, 王伟, 邵家满
【申请人】芜湖长信科技股份有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2014年12月19日