一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的制作方法

文档序号:10241603阅读:854来源:国知局
一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种卷绕式真空离子镀膜机。
【背景技术】
[0002]卷绕式真空镀膜机是用于整卷塑料薄膜或金属带箔进行真空镀膜的高效设备,最初用于整卷塑料薄膜连续真空蒸发镀铝膜生产。在大型电子枪与离子镀技术发展成熟后,开发出卷绕式的大型电子枪蒸发连续沉积设备和磁控溅射连续沉积设备,用于整卷塑料薄膜上连续沉积铝、铜、Si 02、IT0、遮阳膜等,和用于整卷金属带箔的连续镀铜膜或镀镍膜生产,还有用于连续反应镀TiN膜等。
[0003]但上述现有卷绕式真空镀膜机多为卧式机,整卷镀料开卷------预处理-----镀膜——冷却——收卷等工序设备一字排开,占地面积大。有的镀膜后的金属带箔还需贴保护胶纸,又得在专用贴胶纸机上重新开卷——粘贴保护胶纸——收卷,另需专用设备和操作工,既占地又耗时,同时还增加了成本。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种集镀膜工序和贴保护胶纸工序于一身的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机。
[0005]本实用新型所要解决的技术问题通过如下技术方案解决:一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机,包括加热室、镀膜室、冷却室,其特征在于,所述离子镀膜机还包括用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作、并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴的卷绕室,所述卷绕室、加热室、镀膜室、冷却室由下向上依次安装在一起,开卷后的金属带箔向上经加热室、镀膜室后,进入冷却室冷却,并转向向下运行,折回到卷绕室,完成收卷和保护胶纸粘贴工作。
[0006]所述卷绕室包括卷绕室箱体,所述卷绕室箱体内设有放卷辊、胶纸收卷辊、撕纸辊、贴胶纸辊、保护胶纸放卷辊、收卷辊和若干个导辊,各辊平行设置,转动安装在卷绕室箱体内壁上,所述卷绕室箱体顶面设有钢带出入口 ;
[0007]贴有胶纸的金属带箔卷套装在所述放卷辊上,金属帯萡的自由端拉出伸向所述胶纸收卷辊和所述撕纸辊之间,以便分离贴有胺纸的带箔形成钢带和胶纸,所述胶纸收卷辊位于所述带箔贴有胶纸的一侧,分离出的胶纸缠绕在所述胶纸收卷辊上,分离出的钢带绕过所述撕纸辊后竖直向上或绕过所述导辊后竖直向上穿出所述钢带出入口;
[0008]完成镀膜后的已镀钢带由所述钢带出入口竖直向下进入所述卷绕室箱体,保护胶纸卷套装在所述保护胶纸放卷辊上,所述贴胶纸辊和所述保护胶纸放卷辊都位于所述已镀钢带有镀面的一侧,镀面粘贴上保护胶纸的已镀钢带绕过所述贴胶纸辊,贴胶纸辊将保护胶纸压合在所述已镀钢带的镀面上,贴有保护胶纸的已镀钢带缠绕在所述收卷辊上,收卷辊将贴有保护胶纸的已镀钢带收卷其上;
[0009]所述导辊沿着钢带传输方向设置,钢带从所述导辊上绕过,以便调节钢带的横向跨度或纵向张力或纠正走带的左右偏差。
[0010]所述加热室的结构为:所述加热室包括加热室箱体,所述加热室箱体中间由竖向设置的隔板隔成两个独立的腔体,分别为加热室上行腔和加热室下行腔,所述加热室上行腔内沿着所述钢带传输方向设有加热器,所述加热器由相对设置的两加热器组件构成,两加热器组件之间具有一定间隙,构成钢带的上行通道,待镀膜的钢带从所述上行通道中穿行;
[0011 ]所述镀膜室的结构为:所述镀膜室包括镀膜室箱体,所述镀膜室箱体中间由竖向设置的隔板隔成两个独立的腔体,分别为镀膜室上行腔和镀膜室下行腔,所述镀膜室上行腔内钢带的待镀面与所述镀膜室上行腔外壁相对,该外壁上安装有若干个阴极磁控溅射靶和若干条布气管。
[0012]所述冷却室的结构为:所述冷却室包括冷却室箱体,所述冷却室箱体内垂直于钢带传输方向转动安装有一冷却辊,已镀钢带镀面向上的绕过所述冷却辊转向向下运行,所述冷却辊内部中空形成冷却液腔,冷却室外壁上固定有用于与深冷机系统相连的冷却液出口和冷却液入口,所述冷却液出口和冷却液入口与延伸到冷却室外的冷却辊转动轴的两端分别转动连接,冷却辊转动轴两端都具有与所述冷却液腔连通的内腔,所述冷却液出口和冷却液入口都通过所述冷却辊转动轴的内腔与所述冷却液腔连通,形成冷却液循环回路。
[0013]所述加热器组件的结构为:所述加热器组件由加热器面板、加热管、加热器底板和一片以上隔热板组成,各板平行相间设置,其中,所述加热管盘绕在所述加热器底板靠近钢带的一面,所述加热器面板贴装在所述加热管上,所述隔热板位于所述加热器底板的另一面,该结构的加热器使钢带两面同时受热。
[0014]作为所述镀膜室的改进,上下相邻的两阴极磁控溅射靶之间设有防尘罩,用于防止产生的镀层碎肩和靶材尘灰落到下面的溅射靶而导致溅射靶被污染。
[0015]相邻两箱体之间设有腔室隔板,所述腔室隔板上开有两个独立的开口,分别为钢带上穿行口和钢带下穿行口,所述钢带上穿行口和钢带下穿行口都为与所述钢带适配的狭长形开口,以便尽量隔离各腔室,所述钢带上穿行口与所述加热室和所述镀膜室的上行腔相通,所述钢带下穿行口与所述加热室和所述镀膜室的下行腔相通,所述卷绕室、加热室、镀膜室箱体的外壁上分别设有真空机组外接口。
[0016]所述加热室箱体和所述镀膜室箱体都由两段舱室对接而成,两段舱室之间也由所述腔室隔板隔开,各段所述舱室的外壁上分别设有真空机组外接口。
[0017]相对于现有技术,本实用新型具有如下有益效果:
[0018]1)本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机集镀膜工序和贴保护胶纸工序于一身,无需将收卷好的已镀钢带重新开卷粘贴保护胶纸再收卷,工序得到简化,也无需另外配置专用贴胶纸机和操作工,不但提高了效率,而且节省了人力和财力;
[0019]2)本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机采用立式结构,几个主要工序的设备相叠设置,大大减少了设备的占地面积。
【附图说明】
[0020]图1是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的结构示意图;
[0021]图2是利用装卸小车为本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机装金属带箔卷的过程示意图;
[0022]图3是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的加热室的结构示意图;
[0023]图4是图3中a部位的放大图;
[0024]图5是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的镀膜室的结构示意图;
[0025]图6是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的冷却室的结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]下面结合附图和本实用新型具体实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀TiN膜镀膜机,对本实用新型的技术方案作进一步详细说明。
[0027]如图1?6所示,本实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀TiN膜镀膜机主要分为四大部分,包括卷绕室1、加热室21、镀膜室30和冷却室34,卷绕室1、加热室21、镀膜室30、冷却室34由下向上依次安装在一起。
[0028]卷绕室1,用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作,并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴。
[0029]卷绕室1包括卷绕室箱体,卷绕室箱体内设有放卷辊4、胶纸收卷辊11、撕纸辊13、贴胶纸辊14、保护胶纸放卷辊16、收卷辊5和导辊9、10、17、18,各辊平行设置,皆转动安装在卷绕室箱体内壁上,卷绕室箱体顶面设有钢带出入口。
[0030]如图1、2所示,待镀的金属带箔卷6由装卸车7承载,沿着轨道运动,从炉门处推进卷绕室1,将金属带箔卷6套装在放卷辊4上并卡好实现固定,装卸车7退出卷绕室1。将金属带箔卷6的自由端拉出由上绕过导辊9、10伸向胶纸收卷辊11和撕纸辊13之间,导辊9、10用以纠正带箔8-1走带的左右偏差和调整走带的纵向张力,胶纸收卷辊11和撕纸辊13将
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