产生辉光放电，发射钛等离子体，钛等离子体与通入的氮气在受热的钢带8-2表面反应合成TiN膜，钢带8-2在溅射辉光区一边上行，一边沉积加厚TiN膜，当钢带8-2行至镀膜室30上端时，即达到所要求的膜厚，进入冷却室34。镀好TiN膜的钢带8-3温度较高，它绕在冷却辊35上，与冷却辊35的辊面接触，被强制冷却降温，热量由冷却辊35内腔中的冷却液带走。冷却的钢带8-3转向向下运行，经镀膜室30的镀膜室下行腔39和加热室21的加热室下行腔40继续冷却，行至加热室21下端时，温度应降至100度以下，然后进入卷绕室1，保护胶纸放卷辊16送出保护胶纸15，保护胶纸15贴在绕过贴胶纸辊14的钢带上，由贴胶纸辊14压合在钢带的镀面上形成贴有保护胶纸的已镀钢带8-4，贴有保护胶纸的已镀钢带
8-4经两组导辊17、18纠正走带左右偏差和纵向张力后，由收卷辊5收卷。
[0043]放卷辊4上的金属带箔卷被自动连续地放卷送出，直至完成镀膜和贴保护胶纸作业。作业完毕后，关停阴极磁控溅射钛靶32，同时关停所有转动的辊，停止供气，关闭加热器，待收卷辊5上的钢带卷19冷却到规定温度后，关闭相关的真空阀门，停止对各箱体抽气，然后向炉体内充气，打开卷绕室1上的炉门，松开收卷辊5上的钢带卷19，在收卷辊5前剪断钢带，留在炉内的余带作为下一炉的引导钢带的头端，放卷辊4前的钢带作为下一炉的引导钢带的尾端。把松开的钢带卷19绑扎牢后，由装卸小车7承载，沿道轨拉出卷绕室1。然后即可开始第二个镀膜作业周期。
【主权项】
1.一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，包括加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)，其特征在于，所述离子镀膜机还包括用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作、并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴的卷绕室(1)，所述卷绕室(1)、加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)由下向上依次安装在一起。2.根据权利要求1所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述卷绕室包括卷绕室箱体，所述卷绕室箱体内设有放卷辊(4)、胶纸收卷辊(11)、撕纸辊(13)、贴胶纸辊(14)、保护胶纸放卷辊(16)、收卷辊(5)和若干个导辊(9、10、17、18)，各辊平行设置，转动安装在卷绕室箱体内壁上，所述卷绕室箱体顶面设有钢带出入口； 贴有胶纸的金属带箔卷套装在所述放卷辊(4)上，自由端拉出伸向所述胶纸收卷辊(11)和所述撕纸辊(13)之间，以便分离贴有胶纸的带箔(8-1)形成钢带(8-2)和胶纸(12)，所述胶纸收卷辊(11)位于所述带箔(8-1)贴有胶纸(12)的一侧，分离出的胶纸(12)缠绕在所述胶纸收卷辊(11)上，分离出的钢带(8-2)绕过所述撕纸辊(13)后竖直向上或绕过所述导辊后竖直向上穿出所述钢带出入口 ； 完成镀膜后的已镀钢带(8-3)由所述钢带出入口竖直向下进入所述卷绕室箱体，保护胶纸卷套装在所述保护胶纸放卷辊(16)上，所述贴胶纸辊(14)和所述保护胶纸放卷辊(16)都位于所述已镀钢带(8-3)有镀面的一侧，镀面粘贴上保护胶纸(15)的已镀钢带(8-4)绕过所述贴胶纸辊(14)，贴胶纸辊(14)将保护胶纸(15)压合在所述已镀钢带(8-3)的镀面上，贝占有保护胶纸(15)的已镀钢带(8-4)缠绕在所述收卷辊(5)上，收卷辊(5)将贴有保护胶纸(15)的已镀钢带(8-4)收卷其上； 所述导辊(9、10、17、18)沿着钢带传输方向设置，钢带从所述导辊(9、10、17、18)上绕过。3.根据权利要求2所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述加热室(21)的结构为:所述加热室(21)包括加热室箱体，所述加热室箱体中间由竖向设置的隔板(23)隔成两个独立的腔体，分别为加热室上行腔和加热室下行腔(40)，所述加热室上行腔内沿着所述钢带(8-2)传输方向设有加热器，所述加热器由相对设置的两加热器组件构成，两加热器组件之间具有一定间隙，构成钢带(8-2)的上行通道，待镀膜的钢带(8-2)从所述上行通道中穿行。4.根据权利要求3所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述加热器组件的结构为:所述加热器组件由加热器面板(24)、加热管(25)、加热器底板(26)和一片以上隔热板(27、28、29)组成，各板平行相间设置，其中，所述加热管(25)盘绕在所述加热器底板(26)靠近钢带(8-2)的一面，所述加热器面板(24)贴装在所述加热管(25)上，所述隔热板(27、28、29)位于所述加热器底板(26)的另一面。5.根据权利要求1所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述镀膜室(30)的结构为:所述镀膜室(30)包括镀膜室箱体，所述镀膜室箱体中间由竖向设置的隔板(23)隔成两个独立的腔体，分别为镀膜室上行腔和镀膜室下行腔(39)，所述镀膜室上行腔内钢带的待镀面与所述镀膜室上行腔外壁相对，该外壁上安装有若干个阴极磁控溅射靶(32)和若干条布气管。6.根据权利要求5所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，上下相邻的两阴极磁控溅射靶(32)之间设有防尘罩(33)。7.根据权利要求1?6任一项权利要求所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述冷却室(34)的结构为:所述冷却室(34)包括冷却室箱体，所述冷却室箱体内垂直于钢带(8-3)传输方向转动安装有一冷却辊(35 )，已镀钢带(8-3)镀面向上的绕过所述冷却辊(35)转向向下运行，所述冷却辊(35)内部中空形成冷却液腔(36)，冷却室(34)外壁上固定有用于与深冷机系统相连的冷却液出口(38)和冷却液入口(37)，所述冷却液出口(38)和冷却液入口(37)与延伸到冷却室(34)外的冷却辊转动轴的两端分别转动连接，冷却辊转动轴两端都具有与所述冷却液腔(36)连通的内腔，所述冷却液出口(38)和冷却液入口(37)都通过所述冷却辊转动轴的内腔与所述冷却液腔(36)连通，形成冷却液循环回路。8.根据权利要求7所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，相邻两箱体之间设有腔室隔板(50)，所述腔室隔板(50)上开有两个独立的开口，分别为钢带上穿行口(51)和钢带下穿行口(52)，所述钢带上穿行口(51)和钢带下穿行口(52)都为与所述钢带适配的狭长形开口，以便尽量隔离各腔室，所述钢带上穿行口(51)与所述加热室和所述镀膜室的上行腔相通，所述钢带下穿行口与所述加热室和所述镀膜室的下行腔相通，所述卷绕室(1)、加热室(21)、镀膜室(30)箱体的外壁上分别设有真空机组外接口。9.根据权利要求8所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述加热室箱体和所述镀膜室箱体都由两段舱室对接而成，两段舱室之间也由所述腔室隔板隔开，各段所述舱室的外壁上分别设有真空机组外接口。
【专利摘要】一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，包括加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)，其特征在于，所述离子镀膜机还包括用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作、并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴的卷绕室(1)，所述卷绕室(1)、加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)由下向上依次安装在一起。本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机集镀膜工序和贴保护胶纸工序于一身，无需将收卷好的已镀钢带重新开卷粘贴保护胶纸再收卷，工序得到简化，也无需另外配置专用贴胶纸机和操作工，不但提高了效率，而且节省了人力和财力；本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机采用立式结构，几个主要工序的设备相叠设置，大大减少了设备的占地面积。
【IPC分类】C23C14/32
【公开号】CN205152317
【申请号】CN201520710122
【发明人】李志荣, 李志方, 罗志明, 陸创程
【申请人】东莞市汇成真空科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年9月14日