专利名称：残液洗涤塔的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅生产过程中用于残液处理的残液洗涤塔。
背景技术：
用于多晶硅生产过程残液处理的洗涤塔，在工艺设置上一般是两套系统，一开一备、倒换检修，其进气控制方式一般是采用自动切断阀。因长期使用，管道内壁附带水解物， 造成阀板软密封损坏，许多气动切断阀门存在内漏现象。在设备需要进行检修时，就无法将待检修设备与生产系统完全断开，大量的氯硅烷气体漏入检修塔，存在爆炸的危险；为了避免爆炸，就只有整个系统停止生产，停止排放残液，洗涤塔才能进行检修。这样不仅备用洗涤塔就无法发挥备用的作用，同时对整个多晶硅生产也会造成较大损失。
实用新型内容本实用新型的目的是针对上述情况，提供一种检修时保证多晶硅生产正常进行的残液洗涤塔。本实用新型的目的通过下述技术方案来实现一种残液洗涤塔，在残液洗涤塔的进气口处设有控制阀，所述控制阀平时处于常开状态，待检修时，控制阀与自动切断阀一并关闭。作为优选方式，所述的控制阀为涡轮对夹式蝶阀。本实用新型的有益效果在设备需要进行检修时，可将待检修设备与生产系统完全断开，避免了爆炸的危险；同时备用洗涤塔也可发挥备用，保证多晶硅生产正常进行。
图1是本实用新型的示意图。图中，1为控制阀，2为残液洗涤塔，3为排放尾气管线。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。如图1所示，一种残液洗涤塔，在残液洗涤塔2的进气口处设有控制阀1，所述的控制阀1为涡轮对夹式蝶阀，所述控制阀1平时处于常开状态，待检修时，控制阀与自动切断阀一并关闭。本实用新型的有益效果在设备需要进行检修时，可将待检修设备与生产系统完全断开，避免了爆炸的危险；同时备用洗涤塔也可发挥备用，保证多晶硅生产正常进行。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种残液洗涤塔，其特征在于在残液洗涤塔(2)的进气口处设有控制阀(1)，所述控制阀平时处于常开状态，待检修时，控制阀与自动切断阀一并关闭。
2.如权利要求1所述的残液洗涤塔，其特征在于所述的控制阀(1)为涡轮对夹式蝶阀。
专利摘要本实用新型公开了一种残液洗涤塔，在残液洗涤塔的进气口处设有控制阀，所述控制阀平时处于常开状态，待检修时，控制阀与自动切断阀一并关闭；本实用新型的有益效果在设备需要进行检修时，可将待检修设备与生产系统完全断开，避免了爆炸的危险；同时备用洗涤塔也可发挥备用，保证多晶硅生产正常进行。
文档编号C01B33/037GK202144454SQ20112020183
公开日2012年2月15日 申请日期2011年6月16日 优先权日2011年6月16日
发明者曾勇强, 曾维华 申请人:四川瑞能硅材料有限公司