电极绝缘套的拆卸装置制造方法

文档序号:3457874阅读:154来源:国知局
电极绝缘套的拆卸装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种电极绝缘套的拆卸装置,绝缘套套设在电极的一端并沿电极的延伸方向远离电极延伸,拆卸装置包括:连接单元,连接单元用于连接绝缘套;顶起单元,顶起单元包括支撑件和与支撑件螺纹配合的顶杆,支撑件与连接单元连接。应用本实用新型的技术方案,顶起单元与绝缘套连接后,利用顶起单元的顶杆顶电极的端面,促使连接单元与绝缘套同时沿远离电极的方向移动,使电极与绝缘套分离。
【专利说明】电极绝缘套的拆卸装置

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电极绝缘套的拆卸装置。

【背景技术】
[0002]多晶硅生产领域中,还原炉是生产多晶硅的核心设备,三氯氢硅被氢气还原沉积在与电极连接的硅芯上形成棒状多晶硅,电极外侧为绝缘套,起固定和绝缘作用,在生产中硅棒温度达到1000°C以上,即使有隔热保护,电极上部的绝缘套在运行几个周期后仍会出现烧糊变形,甚至顶端出现无定形硅沾污现象,影响电极绝缘性能,严重时会引起打火、接地现象,不利于还原炉稳定运行,因此需要对电极上部四氟绝缘套进行定期更换。由于绝缘套变形严重,且没有专用拆除工具,在更换时难度较大,一般需要将整个电极单独拆除后才能进行更换,更换周期较长,不利于还原炉高效运行,影响还原炉单炉产量。
实用新型内容
[0003]本实用新型旨在提供一种用于拆除设置在电极上部绝缘套的拆卸装置。
[0004]为了实现上述目的,本实用新型提供了一种电极绝缘套的拆卸装置,绝缘套套设在电极的一端并沿电极的延伸方向远离电极延伸,拆卸装置包括:连接单元,连接单元用于连接绝缘套;顶起单元,顶起单元包括支撑件和与支撑件螺纹配合的顶杆,支撑件与连接单元连接。
[0005]进一步地,连接单元包括:连接件,所述连接件用于设置在绝缘套内;至少两个扎入件,每个扎入件均与连接件连接,扎入件用于扎入绝缘套的内周壁。
[0006]进一步地,扎入件上设置有导入面以使连接单元易于进入绝缘套。
[0007]进一步地,连接件包括第一筒体,第一筒体的外径小于绝缘套的内径,扎入件设置在第一筒体的外周面上。
[0008]进一步地,连接单元还包括设置在第一筒体内的第二筒体用于驱动扎入件扎入绝缘套。
[0009]进一步地,第二筒体的长度大于第一筒体的长度。
[0010]进一步地,第一筒体上设置有用于承载支撑件的第一通孔。
[0011 ] 进一步地,第二筒体上设置有用于承载支撑件的第二通孔。
[0012]应用本实用新型的技术方案,绝缘套套设在电极的一端并沿所述电极的延伸方向远离所述电极延伸,所述拆卸装置包括:连接单元,所述连接单元用于连接所述绝缘套;顶起单元,所述顶起单元包括支撑件和与所述支撑件螺纹配合的顶杆,所述支撑件与所述连接单元连接并远离所述电极设置有所述绝缘套的一端。应用本实用新型的技术方案,顶起单元与绝缘套连接后,利用顶起单元的顶杆顶电极的端面,促使连接单元与绝缘套同时沿远离电极的方向移动,使电极与绝缘套分离。

【专利附图】

【附图说明】
[0013]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0014]图1示出了本实用新型实施例的电极绝缘套的拆卸装置的结构示意图。
[0015]附图标记:11、连接件;12、扎入件;13、第二筒体;21、支撑件;22、顶杆。

【具体实施方式】
[0016]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0017]如图1所示,本实用新型实施例中,绝缘套套设在电极的一端并沿电极的延伸方向远离电极延伸,拆卸装置包括:连接单元,连接单元用于连接绝缘套;顶起单元,顶起单元包括支撑件21和与支撑件21螺纹配合的顶杆22,支撑件21与连接单元连接。
[0018]本实施例中,连接单元与待拆卸的绝缘套连接,支撑件与连接单元连接,与支撑件螺纹配合的顶杆22的延伸方向与电极的延伸方向一致。在顶电极的过程中,支撑件21相对于连接单元固定地设置,顶杆22的一端顶向电极以驱动电极与绝缘套分离。
[0019]优选地,连接单元包括:连接件11,连接件11用于设置在绝缘套内;至少两个扎入件12,每个扎入件12均与连接件11连接,扎入件12用于扎入绝缘套的内周壁。扎入件12扎入绝缘套的内周壁以连接绝缘套。
[0020]扎入件12上设置有导入面以使连接单元易于进入绝缘套。连接件11包括连接件本体和与连接件本体连接并沿连接本体的延伸方向一致的与至少两个扎入件--对应地设置的至少两个延伸体。延伸体具有弹性,因此,由连接件向远离连接件延伸的扎入件可以进入绝缘套内。
[0021]连接件包括第一筒体,第一筒体的外径小于绝缘套的内径,扎入件12设置在第一筒体的外周面上。
[0022]连接单元还包括设置在第一筒体内的第二筒体13用于驱动扎入件12扎入绝缘套。将第一筒体放置在绝缘套内后,将第二筒体13插入第一筒体,第二筒体13将扎入件顶入绝缘套的基体内易以与绝缘套连接。
[0023]第二筒体13的长度大于第一筒体的长度。以便于驱动第二筒体13进入第一筒体内。
[0024]第一筒体上设置有用于承载支撑件的通孔。
[0025]第二筒体13上设置有用于承载支撑件的第二通孔。
[0026]在操作时,将连接件11插入电极上部绝缘套内侧底部,然后将第二筒体13插入第一筒体内部,由于第二筒体13的扩充作用,扎入件12楔入四氟套本体内部,然后将支撑件21插入第一筒体上设置的第一通孔和第二筒体上部所开的第二通孔内,再将顶杆22旋入支撑件21上的螺纹孔内,当顶杆22下端与还原炉电极顶板接触时,并产生向上的反向推力,促使第一筒、第二筒体13和绝缘套同时向上移动,从而实现电极上部绝缘套拆卸的目的。
[0027]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种电极绝缘套的拆卸装置,绝缘套套设在电极的一端并沿所述电极的延伸方向远离所述电极延伸,其特征在于,所述拆卸装置包括: 连接单元,所述连接单元用于连接所述绝缘套; 顶起单元,所述顶起单元包括支撑件(21)和与所述支撑件(21)螺纹配合的顶杆(22),所述支撑件(21)与所述连接单元连接。
2.根据权利要求1所述的拆卸装置,其特征在于,所述连接单元包括: 连接件(11),所述连接件(11)用于设置在所述绝缘套内; 至少两个扎入件(12),每个所述扎入件(12)均与所述连接件(11)连接,所述扎入件(12)用于扎入所述绝缘套的内周壁。
3.根据权利要求2所述的拆卸装置,其特征在于,所述扎入件(12)上设置有导入面以使所述连接单元易于进入所述绝缘套。
4.根据权利要求2所述的拆卸装置,其特征在于,所述连接件包括第一筒体,所述第一筒体的外径小于所述绝缘套的内径,所述扎入件(12)设置在所述第一筒体的外周面上。
5.根据权利要求4所述的拆卸装置,其特征在于,所述连接单元还包括设置在所述第一筒体内的第二筒体(13),用于驱动所述扎入件(12)扎入所述绝缘套。
6.根据权利要求5所述的拆卸装置,其特征在于,所述第二筒体(13)的长度大于所述第一筒体的长度。
7.根据权利要求5所述的拆卸装置,其特征在于,所述第一筒体上设置有用于承载所述支撑件的第一通孔。
8.根据权利要求7所述的拆卸装置,其特征在于,所述第二筒体(13)上设置有用于承载所述支撑件的第二通孔。
【文档编号】C01B33/035GK204251347SQ201420719749
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年11月25日 优先权日:2014年11月25日
【发明者】孙强, 万烨, 严大洲, 汤传斌, 乔兵超 申请人:中国恩菲工程技术有限公司
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