本发明涉及一种用作填料时的填充性和成型性良好的、同时还具有出色的操控性和高电阻的球形铁氧体粉、含该球形铁氧体粉的树脂组合物以及使用该树脂组合物的成型体。
背景技术：
半导体等包括LSI密封剂的各个领域中，在树脂中混合无机填料的树脂组合物被人们广泛使用和开发。
目前，作为树脂中所混合的无机填料，人们通常使用的是具有各种组成、平均粒径或粉体特性以及电特性的物质。
一般而言，在对流动性高的树脂添加填料时，树脂组合物的流动性虽然也会与填料的粒径及树脂的粘度有关，但通常随着填料的添加量的增加，添加填料后的树脂组合物的流动性就会变低。相反，当填料的粒径较大时，即使填料的添加量增加，流动性也并不一定降低。为此，通常添加的是诸如用于发挥主要特性的填料和用于控制树脂组合物的流动性的填料等多种填料。
作为用于发挥主要特性的填料的例子，可以举出各种金属粉、金属氧化物等，作为控制流动性的填料，可以举出二氧化硅粉、碳黑等。
另外，也有通过采用成分相同但粒径不同的二氧化硅等的填料来获得较宽粒度分布，从而对树脂组合物的流动性进行控制的情况。此外，在不规则形状的铁氧体粉等的填料中，还有通过维持较宽粒度分布来控制流动性以及改善填料填充率的情况。
填料的选择取决于其用途，在电磁波吸收用途中想要使用磁性填料来兼顾高填料填充率和高体积电阻率的话，就有必要对磁性填料的各种粉体特性(平均粒径、粒度分布以及形状等)进行控制，并有必要对磁性填料的电气特性进行调整，困难程度变高。
作为磁性填料，多半建议使用铁氧体粉，例如在专利文献1(日本特开平5‐335121号公报)中，记载了由含有用硅烷偶联剂表面处理后的铁氧体粉的树脂所构成的磁性密封材料。通过该磁性密封材料，使强度提高、脱模性变好。
在专利文献2(日本特开2005‐139050号公报)中，记载了一种球状铁氧体磁性粉体，该球状铁氧体磁性粉体在120℃时的体积固有电阻为5×107Ωm(5×109Ωcm)以上，且在25℃时的体积固有电阻为3×109Ωm(3×1011Ωcm)以上。另外，在该专利文献2中，公开了含该铁氧体磁性粉体的半导体密封用树脂组合物，还公开了与二氧化硅粒子组合使用的内容。
根据该专利文献2，记载于该文献中的铁氧体磁性粉体具有电磁波屏蔽功能以及电绝缘性，含该铁氧体磁性粉体的半导体密封用树脂组合物具有较高可靠性。
在专利文献3(日本特开2005‐347449号公报)中，记载了在频率粒度分布中，在10μm以上50μm以下的区域具有极大值A、并在0.5μm以上且小于10μm的区域具有极大值B的软磁性粉，以及使该软磁性粉含于树脂或橡胶中的有机材料。在该专利文献3中，能够得到电磁波吸收性和散热性优异的成型物。
而且，记载于这些专利文献1～3中的磁性粉，通过同时对各种粉体特性(平均粒径、粒度分布以及形状等)的控制和对电气特性进行的调整，用作填料时的填充性良好，还具有出色的操控性，并且电阻不高。
另外，在专利文献4(日本再公表2007/108437号公报)中，记载了一种二氧化硅粉末，在基于激光衍射和散射法的体积基准频率粒度分布中，该二氧化硅粉末在1～4μm的粒度范围内至少具有最大峰值1的最大频率值，在15～55μm的粒度范围内至少具有最大峰值2的最大频率值，其中，所述最大峰值2的最大频率值比所述最大峰值1的最大频率值大，所述最大峰值2有峰肩，15～55μm的粒度范围内的粒子的含有率比1～4μm的粒度范围内的粒子的含有率高。另外，还记载了使该二氧化硅粉末包含于橡胶以及树脂的至少一者中所形成的组合物来用作半导体密封材料。
根据该专利文献4，能够获得被二氧化硅粉末高度填充的成形性良好的、毛刺较少的密封材料。但是，专利文献4所涉及的是作为控制流动性的填料而使用的二氧化硅粉末，并不涉及作为发挥性能的填料而使用的铁氧体粉。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平5‐335121号公报
专利文献2：日本特开2005‐139050号公报
专利文献3：日本特开2005‐347449号公报
专利文献4：日本再公表2007/108437号公报
技术实现要素：
发明要解决的问题
为此，本发明的目的在于提供一种用作填料时填充性和成型性良好的、同时还具有出色的操控性和高电阻的球形铁氧体粉、含该球形铁氧体粉的树脂组合物以及使用该树脂组合物的成型体。
解决问题的方法
本发明人为了解决上述问题进行了深入研究，结果发现：通过含有形状为圆球状、具有特定的粒径以及粒度分布的铁氧体粒子，就能够获得用作填料时具有高填充性和成型性优异，同时还具有出色的操控性和高电阻的铁氧体粉，从而实现了上述目的。另外，这里所说的铁氧体粒子是指单个粒子或某些粒径的聚集体，而所说的铁氧体粉是指铁氧体粒子的整个聚集体。
即，本发明提供了一种圆球形铁氧体粉，其特征在于，含有15～30重量％粒径小于11μm的铁氧体粒子，且体积平均粒径为10～50μm。
本发明所述的圆球形铁氧体粉，优选粒径11μm以上的铁氧体粒子涂覆有树脂。
另外，本发明还提供了一种树脂组合物，其特征在于，含有50～99.5重量％的上述圆球形铁氧体粉。
另外，本发明还提供了一种通过成型上述树脂组合物而得到成型体。
发明效果
本发明所述的铁氧体粉，通过含有形状为圆球状、具有特定粒径以及粒度分布的铁氧体粒子，用作填料时具有高填充性以及成型性优异，同时还具有出色的操控性和高电阻。
具体实施方式
以下，通过具体实施例对本发明进一步加以说明。
本发明所述的铁氧体粉
如上所述，本发明所述的铁氧体粉为圆球状。如果是圆球状以外的不规则形状、粒状、板状等形状，则无法充分增大用作填料时的填充量。特别在电磁波吸收等的用途中，电磁波吸收能力除了磁性粉的磁特性以外，占单位重量的磁性体量越多则电磁波吸收能力越高。因此有必要为圆球状。
这里所说的圆球状，是指形状系数SF‐1为100～120，优选100～110，更优选无限接近100的形状。形状系数SF‐1超过120的话，则有损铁氧体粒子的球状性。
形状系数SF‐1：小于11μm的铁氧体粒子的形状系数SF‐1是采用FE‐SEM在倍率50000倍下以能够计数超过总共100个粒子的方式改变视野来进行拍摄的。11μm以上的铁氧体粒子的平均球状率是采用FE‐SEM在倍率800倍下以能够计数超过总共100个粒子的方式改变视野来进行拍摄的。经由接口将这些图像信息导入到Media Cybernetics公司编制的图像分析软件“Image‐Pro PLUS”中进行分析，求出圆当量直径和投影面积，利用下述公式计算得到的数值即为形状系数SF‐1。铁氧体粒子的形状越接近球形该数值就越接近100。在计算小于11μm的铁氧体粒子和11μm以上的铁氧体粒子的形状系数SF‐1时，分别计算出单个粒子的形状系数SF‐1，将100个粒子的平均值作为其铁氧体粒子的形状系数SF‐1。
SF-1＝(R2/S)×(π/4)×100
R：圆当量直径、S：Area(投影面積)
本发明所述的球形铁氧体粉含有粒径小于11μm的铁氧体粒子15～30重量％。如果该铁氧体粒子的含量超过30重量％，则作为填料添加到树脂中时，树脂混合物的粘度容易变高，存在不容易成型的可能。如果铁氧体粒子的含量低于15重量％，则作为填料添加到树脂中时树脂组合物的粘度容易变低，存在不容易成型的可能。
本发明所述的球形铁氧体粉的体积平均粒径为10～50μm。如果体积平均粒径低于10μm，则将铁氧体粉作为填料添加到树脂中时树脂组合物的粘度容易变高，存在不容易成型的可能。换句话说，如果希望将粘度设定在一定的程度，在仅使用小于10μm的填料时，必须降低填料的添加量，这意味着将难以确保填料的高填充量。体积平均粒径超过50μm时，将铁氧体粉作为填料添加到树脂中时树脂组合物的粘度容易变低，存在不容易成型的可能。
上述的体积平均粒径和含有粒径小于11μm的铁氧体粒子的比例，取决于所添加的树脂(也包含添加剂)和成型物的形状等，通过在上述范围内加以组合使用，可以在维持高填料填充率的基础上能够容易地进行流动性调整。
体积平均粒径是用日机装株式会社制造的Microtrac粒度分析仪(Model9320‐X100)进行测定的。分散介质中使用了水。将10g试样和80ml水加入到100ml的烧杯中，添加2～3滴分散剂(六偏磷酸钠)。然后，用超声波均质器(SMT.Co.LTD.制造的UH‐150型)，并设定输出等级4，进行20秒分散。之后，除去烧杯表面产生的泡沫，将试样投入到装置中。
本发明所述的铁氧体粉中，粒径11μm以上的铁氧体粒子优选用树脂进行涂覆。填料的填充量越高则填料的影响就变得越大，即使与树脂进行混合、分散，但电阻比树脂低的圆球状铁氧体粒子彼此接触，容易形成电流的通道。通过用树脂进行涂覆，难以引起填料彼此的接触，很容易获得高电阻的树脂组合物以及将该树脂组合物加以成型的成型体。
包覆的树脂并无特别限定。例如，可以列举：氟树脂、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酯树脂、不饱和聚酯树脂、尿素树脂、密胺树脂、醇酸树脂、酚醛树脂、氟丙烯酸树脂、丙烯酸‐苯乙烯树脂、硅氧烷树脂、或者由丙烯酸树脂、聚酯树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、醇酸树脂、聚氨酯树脂、氟树脂等各树脂变性后的变性硅氧烷树脂等。如果考虑到使用过程中因机械应力造成的树脂脱离，则优选使用热固化性树脂。作为具体的热固化性树脂，可以列举：环氧树脂、酚醛树脂、硅氧烷树脂、不饱和聚酯树脂、尿素树脂、密胺树脂、醇酸树脂以及含有这些热固化性树脂的树脂等。相对于铁氧体粒子100重量份，树脂的包覆量优选为0.5～5.0重量份。
另外，在包覆树脂中，为了改善热固化性及耐溶剂性，可以含有偶联剂。作为偶联剂的例子可以列举各种硅烷偶联剂。这是因为在对树脂组合物进行注塑成形时，包覆的树脂由于暴露在高温下造成剥离或变质，使得成型体的电阻降低，而通过添加偶联剂能够改善这样的现象。可使用的偶联剂的种类并无特别限定，优选氨基硅烷偶联剂、环氧类硅烷偶联剂等。
关于本发明所述的铁氧体粉，优选用Al化合物包覆粒径小于11μm的铁氧体粒子。粒径小于11μm的铁氧体粒子能够进入11μm以上的铁氧体粒子彼此之间的空隙。由于粒径小于11μm的铁氧体粒子的比表面积大，难以分散且以凝集体的形式存在于树脂组合物中，容易形成电流通道。通过由Al化合物加以包覆，能够减少流过粒子表面的电流，因此容易获得高电阻的树脂组合物以及该树脂组合物成型而得的成型体。作为Al化合物可以列举硫酸铝、铝酸钠等。表面处理量换算成Al，则为铁氧体粒子的0.2～1重量％。
本发明所述的铁氧体粉优选为以下述式(1)表示的组成。
(MnO)x(MgO)y(Fe2O3)z···(1)
x＝35～45Mol％、y＝5～15Mol％
z＝40～60Mol％、x+y+z＝100Mol％
在上述组成中，优选的是式(1)中的(MnO)和/或(MgO)的一部分被SrO取代，且SrO的取代量为0.1～2.5摩尔％。
SrO的取代量超过2.5摩尔％时，由于开始出现硬磁铁氧体的影响，因此用作填料时，各种特性有迅速劣化的可能性。SrO的量优选为2.0摩尔％以下，更优选为1.5摩尔％以下。
Fe、Mn、Mg以及Sr的含量：这些Fe、Mn、Mg以及Sr的含量通过下述方法测定。称取0.2g试样(铁氧体粉)，在60ml纯水中加入1N的盐酸20ml以及1N的硝酸20ml并对其加热，制备出使铁氧体粉完全溶解的水溶液，采用ICP分析装置(岛沣制作所制造的ICPS-1000IV)来测定Fe、Mn、Mg以及Sr的含量。
本发明所述的铁氧体粉优选5K·1000/4π·A/m时的磁化为35～95Am2/kg。
铁氧体粉在5K·1000/4π·A/m时的磁化小于35Am2/kg时，作为电磁波吸收能力存在不充分的可能性，软磁铁氧体的磁化就不会超过95Am2/kg。
磁化：采用了振动试样型磁力测定装置(型号：VSM-C7-10A(东英工业公司制造))。测定试样放入到内径5mm、高2mm的单元格中，进而设置在上述装置中。测定时，施加外加磁场，并扫描至5K·1000/4π·A/m。接着，减小外加磁场，绘制出滞后曲线。根据该曲线的数据求出磁化。
本发明所述的11μm以上的、被树脂包覆前的大粒径侧铁氧体粒子的BET比表面积优选为0.1～2m2/g。进一步优选为0.2～2m2/g。
大粒径侧铁氧体粒子的BET比表面积的值若超过2m2/g，小于11μm的铁氧体粒子的含量过多，存在流动性提高而无法良好成型的可能性。BET比表面积的值若小于0.1m2/g，树脂组合物的流动性过低而存在无法良好成型的可能性。
本发明所述的小于11μm的小粒径侧铁氧体粒子的BET比表面积优选为2～50m2/g。进一步优选为2～40m2/g，最优选为2～35m2/g。
小粒径侧铁氧体粒子的BET比表面积的值若小于2m2/g，小于11μm的铁氧体粒子的含量过少，存在流动性提高而无法良好成型的可能性。BET比表面积的值若超过50m2/g，流动性降低而存在无法良好成型的可能性。
BET比表面积：在本发明中，BET比表面积采用Mountech公司制造的BET比表面积测定装置(Macsorb HM model 1210)进行测定。将测定试样加入真空干燥机中，在常温下处理2小时。之后，将试样紧密地填充到单元格内，设置在装置中。在脱气温度40℃下进行60分钟前处理，然后进行测定。
本发明所述的铁氧体粉在常温常湿下的体积电阻优选为1×106～5×109Ω·cm。进一步优选为1×107～5×109Ω·cm，最优选为1×107～5×108Ω·cm。这里所说的常温常湿(N/N)是指温度为20～25℃，相对湿度为50～60％。
铁氧体粉的常温常湿下的体积电阻若小于1×106Ω·cm，即使与树脂进行了混合和分散后成型得到成型物，也不能获得充分的绝缘性，因此不优选。体积电阻若超过5×109Ω·cm，意味着粒径11μm以上的粒子的含量小于15体积％，在与树脂混合时，无法调整树脂组合物的流动性的可能性较高。
体积电阻：将试样填充到截面积为4cm2的氟树脂制的筒内使得试样高度达到4mm后，在两端安装电极，进而在其上承载1kg的砝码来测定电阻。电阻的测定使用吉时利公司制造的6517A型绝缘电阻测定器施加25V电压、根据60sec后的电流值(60sec的电流值)求出电阻，将其作为体积电阻。
本发明所述的树脂组合物
本发明所述的树脂组合物含有50～99.5重量％的上述球形铁氧体粉。铁氧体粉的含量若低于50重量％，即使含有铁氧体粉也不能充分发挥铁氧体的特性。另外，铁氧体粉的含量若超过99.5重量％，由于几乎不含有树脂，因此存在无法成型的可能性。
用于该树脂组合物的树脂，可以列举环氧树脂、酚醛树脂、密胺树脂、尿素树脂、氟树脂等，但并无特别限定。另外，该树脂组合物中可以含有固化剂或固化促进剂，此外根据需要还可以含有二氧化硅粒子等各种添加剂。
本发明所述的成型体
本发明所述的成型体是通过对树脂组合物进行成型，并加热固化来获得。然后，将该成型体使用于以电磁波吸收为目的的LSI用密封剂等的用途。
本发明所述的铁氧体粉的制造方法
下面，对本发明所述的铁氧体粉的制造方法加以说明。
本发明所述的铁氧体粉的制造方法是在适量称取原材料后，利用球磨机或振动研磨机等进行0.5小时以上、优选1～20小时的粉碎混合。原料并无特别的限定，但优选具有上述组成的物质。
将如此获得的粉碎物用加压成型机等进行造粒后，以700～1300℃的温度进行预煅烧。也可以不使用加压成型机，在粉碎后，加水制成浆料，使用喷雾干燥机进行粒状化。预煅烧后，进一步用球磨机或振动研磨机等进行粉碎，然后添加粘结剂等，使用亨舍尔混合机等干式混合装置进行造粒。
将如此制备而得的造粒物在大气中进行热喷涂使其铁氧体化。在热喷涂中，作为可燃性气体燃焰可以使用燃烧气体和氧，燃烧气体和氧的容积比为1：3.5～6.0。相对于燃烧气体，可燃性气体燃焰的氧的比例如果不足3.5，则熔融不充分，而相对于燃烧气体，如果氧的比例超过6.0，则铁氧体化变得困难。例如，相对于10Nm3/hr的燃烧气体，氧可以按35～60Nm3/hr的比例来使用。
作为上述热喷涂中使用的燃烧气体，可以用丙烷气体、丙烯气体、乙炔气体等，特别是丙烷气体更为适合使用。另外，造粒物载气可以使用氮、氧或空气。造粒物流速优选为20～60m/sec。
将这样进行热喷涂而得以铁氧体化的铁氧体粉在水中或室温的大气中进行急冷凝固，并用过滤器对其进行收集。
之后，根据需要对由收集用过滤器所回收的铁氧体粉进行分级。作为分级方法，可采用已知的风力分级、丝网过滤法、沉淀法等将粒度调整至所需的粒径。且，也可以用旋风分离器等将所需粒径的粒子与大粒径的粒子分离后进行回收。
如上所述，制备出球形铁氧体粉后，优选用树脂包覆粒径11μm以上的铁氧体粒子的表面。尤其，粉体特性多受铁氧体粒子表面存在的材料、性状影响。因此，通过用适当的树脂包覆其表面，可对所要求的成型后的树脂成型物的电阻、操控性(与树脂的分散性、与树脂组合物中所添加的除该铁氧体粒子以外的微粒子的混合性、以及/或树脂成型物成型时的固化性)进行控制。作为包覆方法，可使用公知方法，例如通过刷涂法、干式法、借助流化床的喷雾干燥方式、回转干燥方式、借助万能搅拌机的浸液干燥法等来进行包覆。为了提高包覆率优选借助了流化床的方法。当树脂包覆后进行烘干时，可采用外部加热方式或内部加热方式中的任意一种，例如可使用固定式或流动式电炉、转轴式电炉、燃烧炉，也可以通过微波进行烘干。当采用UV固化树脂时，使用UV加热器。虽然烘干的温度根据所使用的树脂而不尽相同，但必须是熔点或玻璃化点以上的温度，当采用的是热固化性树脂或缩合交联型树脂等时，则必须升高至能促进充分固化的温度。
制备出球形铁氧体粉后，优选用Al化合物包覆粒径11μm不足的铁氧体粒子的表面。将铁氧体粒子分散在水中，通过在分散而成的浆料中滴加Al化合物水溶液来进行表面包覆。Al化合物由于其在与各种树脂混合分散时不会发生凝集而容易分散，从而优选。虽然其理由并不特别明晰，但Al化合物能轻松地提高在含羟基的树脂中的分散性。
本发明所述的树脂组合物的制造方法
本发明所述的树脂组合物，是将上述球形铁氧体粉和树脂、固化剂以及固化促进剂，此外再根据需要将二氧化硅粒子等的各种添加剂添加后，用辊式磨碎机、捏合机等的混合机进行混合，而被制造出来的。
本发明所述的成型体的制造方法
本发明所述的成型体是通过对上述树脂组合物进行成型以及加热固化而得的。作为成型法可使用刮刀法、挤压法、冲压法、滚压法等。另外，加热固化可以采用外部加热方式或内部加热方式中的任意一种，例如可借助固定式或流动式电炉、转轴式电炉、燃烧炉，也可以借助微波烘干。
以下，根据实施例等对本发明作具体说明。
实施例1
大粒径侧：按照以Mn3O4换算为12mol％、以Mg(OH)2换算为11mol％、以Fe203换算为52mol％、以SrO换算为1mol％的方式，混合适量的各原材料，加水，用湿式球磨机粉碎混合6小时，得到浆料。对得到的浆料进行造粒干燥，在大气中以1135℃保持6小时后，粉碎得到Mn‐Mg‐Sr铁氧体粉(一次煅烧粉)。
将得到的铁氧体粉按照40kg/hr的供给速度通过供应有5Nm3/hr的丙烷、供应有25Nm3/hr的氧的火焰，进行圆球化处理后，调整粒度分布，从而得到平均粒径20μm的铁氧体粉。使用丙烯酸树脂(三菱丽阳制BR‐80)制备树脂包覆溶液，使得树脂重量为铁氧体粒子的1wt％，并借助流化床涂布装置对得到的各铁氧体粒子进行包覆，在145℃下烘干2小时后击碎，得到大粒径侧铁氧体粒子。且，用溶剂稀释树脂包覆溶液树脂，使得树脂的固含量为10重量％。
小粒径侧：除了改变造粒物的平均粒径以外，与上述相同地，进行圆球化处理，用收集用过滤器得到小粒径侧的铁氧体粉。将得到的各铁氧体粒子分散在水中使得固含量为10重量％，通过在分散而成的浆料中滴入铝酸钠水溶液来进行表面处理。此时，添加醋酸水溶液使分散而成的浆料的pH维持在8.5～9.5。以处理量按照铝换算为铁氧体粒子(粉体)的0.5重量％，且铝酸钠水溶液中的铝浓度为10重量％的方式进行制备。对含有经表面处理的铁氧体粒子的浆料进行过滤，在120℃下干燥8小时除去水分后，用样品粉碎机进行粉碎，制出用Al化合物进行了表面处理的铁氧体粒子。
将按照上述方法制出的80wt％的大粒径侧铁氧体粒子和20wt％的小粒径侧铁氧体粒子混合30分钟，得到实施例1的铁氧体粉。
实施例2
除了将85wt％的大粒径侧铁氧体粒子和15wt％的小粒径侧铁氧体粒子混合30分钟以外，利用和实施例1相同的方法制造铁氧体粉。
实施例3
除了将70wt％的大粒径侧铁氧体粒子和30wt％的小粒径侧铁氧体粒子混合30分钟以外，利用和实施例1相同的方法制造铁氧体粉。
实施例4
除了树脂包覆前的大粒径侧铁氧体粒子的平均粒径为50μm以外，利用和实施例1相同的方法制造铁氧体粉。
实施例5
除了在铁氧体粉的组成中，按照以Mn3O4换算为8mol％、以Mg(OH)2换算为21mol％、以Fe203换算为52mol％、以SrO换算为1mol％的方式，混合适量的各原材料，制备大粒径侧铁氧体粒子以及小粒径铁氧体粒子以外，利用和实施例1相同的方法制造铁氧体粉。
将按照上述方法制出的80wt％的大粒径侧铁氧体粒子和20wt％的小粒径侧铁氧体粒子混合30分钟，得到实施例5的铁氧体粉。
实施例6
除了在铁氧体粒子的组成中，按照以Mn3O4换算为14mol％、以Mg(OH)2换算为5mol％、以Fe203换算为52mol％、以SrO换算为1mol％的方式，混合适量的各原材料，制备大粒径侧铁氧体粒子以及小粒径铁氧体粒子以外，利用和实施例1相同的方法制造铁氧体粉。
将按照上述方法制出的80wt％的大粒径侧铁氧体粒子和20wt％的小粒径侧铁氧体粒子混合30分钟，得到实施例6的铁氧体粉。
比较例
比较例1
将实施例1记载的包覆树脂后的大粒径侧铁氧体粒子作为比较例1的铁氧体粉。
比较例2
除了将65wt％的大粒径侧铁氧体粒子和35wt％的小粒径侧铁氧体粒子混合30分钟以外，利用和实施例1相同的方法制出铁氧体粉。
比较例3
将实施例4记载的包覆树脂前的大粒径侧铁氧体粒子作为比较例3的铁氧体粉。
在表1中示出实施例1～6以及比较例1～3的原料组成、一次煅烧条件(煅烧炉、煅烧温度以及煅烧环境)以及正式煅烧条件。另外，关于实施例1～6以及比较例1～3的大粒径侧铁氧体粒子，在表2中示出粒子的回收方法、包覆前的铁氧体粒子的平均粒径、BET比表面积、形状系数SF‐1、树脂包覆、包覆量、涂布装置以及树脂包覆后的小于11μm的粒子的含量。关于实施例1～6以及比较例1～3的小粒径侧铁氧体粒子，在表3中示出粒子的回收方法、表面处理前的铁氧体粒子的平均粒径、BET比表面积、形状系数SF‐1、表面处理剂、进行表面处理后的铁氧体粒子的分散液的pH、处理量以及铁氧体粒子的重量混合比例(大粒径：小粒径)。
在表4中示出对实施例1～6以及比较例1～3的化学分析、粉体特性(平均粒径、小于11μm的粒子的含量、BET比表面积)、磁特性(在5K·1000/4π·A/m下的VSM磁化)以及电特性(体积电阻)。在表5以及表6中分别示出实施例1～6以及比较例1～3的液体树脂成型性以及粉成型性。表4的各特性的测定方法如上所述。另外，表5的液体树脂成型性以及表6的粉成型性的测定方法如下。
液体树脂成型性：按照表5所示的混合条件，在实施例1～6以及比较例1～3得到的铁氧体粉中加入10％PVA的水溶液以及聚羧酸分散剂来制备混合物，进而持续搅拌30分钟，搅拌结束后，用B型粘度计测定粘度。
粉末树脂成型性：在表6所示的混合条件下，分别在实施例1～6以及比较例1～3得到的铁氧体粉中添加氟类粉末树脂，进而加入到50cc的玻璃瓶中，通过球磨机混合30分钟。称取0.8g所得到的混合物后，将其填充至直径13mm、内径5mm的环状的冲压模具中，在30MPA下加压成型。在取出所得到的成型体时，确认是否变形，将未变形的评为〇，变形的评为×。
表1
表2
表3
表4
表5
表6
由表4～表6可知，在实施例1～6中，形成的铁氧体粉电阻高，在高粘度的液体中也能充分控制粘度，不仅如此，在粉末树脂成型中也难以变形。
另一方面，比较例1的铁氧体粉中由于不存在小粒径侧铁氧体粒子，因此成型性差。由于比较例2的小粒径侧铁氧体粒子过多，从而在高粘度的液体中，即使添加调整粘度的分散剂，也无法控制粘度，不能作为填料使用。比较例3由于未对大粒径侧铁氧体粒子进行树脂包覆，从而电阻低，无法用在对绝缘性有要求的用途中。
工业实用性
本发明所述的铁氧体粉在用作填料时的填充性和成型性良好，同时还具有出色的操控性和高电阻，因此，将该球形铁氧体粉和树脂一起混合作为树脂组合物，进而成型而得的成型体可用在包括吸收电磁波用的IC用密封剂的各种用途中。