技术总结
本发明公开了一种乙硅烷反应釜，包括连接反应釜的加料系统、储槽，反应釜上方的出口，反应釜底部的排渣口，和反应釜内安装的高剪力型叶片搅拌器；所述加料系统内装有硅化镁和氯化铵，所述储槽内装有液氨，所述出口排出硅烷反应混合物，所述排渣口排出反应杂物，其特征在于，所述排渣口与水平面的夹角为30‑60度。由于本发明的反应釜选择了优化设计，尤其是排渣口的夹角的设计，提高了排渣速度，节省了反应时间，生产成本较低，设备腐蚀性减小，可以连续稳定化生产。
技术研发人员：黄晓东;谢嵩嶽
受保护的技术使用者：浙江迅鼎半导体材料科技有限公司
文档号码：201610469364
技术研发日：2016.06.25
技术公布日：2016.11.23