一种大单晶双层石墨烯及其制备方法与流程

文档序号:16973593发布日期:2019-02-26 18:46阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种大单晶双层石墨烯的制备方法。该制备方法包括如下步骤:利用单层石墨烯作为种子层,采用化学气相沉积法在绝缘衬底上生长石墨烯,即在所述绝缘衬底上得到双层石墨烯。本发明使用单层石墨烯作为双层石墨烯生长的种子层,通过化学气相沉积控制双层石墨烯大面积的生长,实现双层石墨烯的堆叠结构控制。利用纳米铜粉等催化剂在高温下蒸出铜微粒,通过载气将铜蒸汽送到反应衬底处,催化裂解碳源,获得的碳原子或原子团通过气流飘到满单层石墨烯的衬底上,在单层石墨烯上外延生长双层石墨烯,提高生长效率,实现“自下而上”堆叠的制备方式。

技术研发人员:陈珊珊;王伟伟;陈香萍
受保护的技术使用者:中国人民大学
技术研发日:2016.08.26
技术公布日:2019.02.26

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