1.氨气还原氮化法制备TiN薄膜的方法，其特征在于：包括如下步骤：
（1）制备TiO2前驱体：
在真空手套箱中，量取110 mL无水乙醇放入广口瓶内，再加入10 mL四氯化钛，得到四氯化钛乙醇溶液；取6 mL四氯化钛乙醇溶液加入烧杯，向其中加入1g PVP后加入10 mL无水乙醇及2.5 mL DMF，溶解后制得TiO2前驱体溶液；
（2）制备TiN薄膜：
以上述TiO2前驱体溶液为钛源，在石英玻璃基片上镀膜，转速为3500 r／min，镀膜20s，然后在80℃加热24 h引发非水解凝胶化反应，得到TiO2凝胶前驱体薄膜，以5℃／min升温至400℃，预烧30 min；
重复（2）3次，共镀膜3层；其放在管式气氛炉中，在流量为800 mL／min的氨气中，以5℃／min升温至1000℃碳热还原氮化反应2 h，随炉冷却后得到TiN薄膜。
2.根据权利要求1所述的氨气还原氮化法制备TiN薄膜的方法，其特征在于：所述的加入10 mL四氯化钛采用移液管。
3.根据权利要求1所述的氨气还原氮化法制备TiN薄膜的方法，其特征在于：所述的量取110 mL无水乙醇放入广口瓶时采用量筒。
4.根据权利要求1所述的氨气还原氮化法制备TiN薄膜的方法，其特征在于：所述的在石英玻璃基片上镀膜时使用匀胶机。