1.一种碳化硅单晶生长热场结构中的石墨板涂层的制备方法,其中,所述石墨板位于颗粒状原料的上方,用于过滤碳化硅蒸汽中的碳颗粒,其特征在于,所述涂层的制备方法包括如下步骤:
1)制备TaCl5正丁醇溶液;
2)将多孔石墨板浸入上述溶液内,使多孔石墨板空隙表面完全被饱和溶液浸润;
3)将浸润后的多孔石墨板烘干;
4)将步骤3)制备好的多孔石墨板放入真空炉内,进行升温煅烧,从而使浸润到多孔石墨表面的TaCl5与多孔石墨发生反应,生成TaC层;
5)重复步骤1)-4)的过程,多孔石墨表面形成致密的TaC涂层;
6)将步骤5)制备好的多孔石墨板放入真空炉内,煅烧5-10小时,从而使原有的Ta在石墨体系内全部转化为TaC晶粒,并且和原有的TaC晶粒在高温下逐步长大,并进一步致密化。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤4)中,升温到1000℃煅烧2小时。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,重复步骤1)-4)的过程3-5次。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤6)中,采用石墨坩埚及保温材料,在500-10000Pa的压力、2000℃温度下煅烧5-10小时。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,TaCl5正丁醇溶液浓度达到饱和浓度70%-95%。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括步骤7):将具有致密TaC涂层的多孔石墨板覆盖在碳化硅颗粒状原料表面,将原料与籽晶隔离后进行晶体生长。