一种PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法与流程

文档序号:12393340阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,用纯石英玻璃衬管为基管,经腐蚀清洗干燥后,装夹于PCVD沉积机床上,衬管穿过微波谐振腔并置于保温炉内,两端由旋转夹头装夹,保温炉提供800~1200℃的沉积环境温度,微波谐振腔产生高频功率沿衬管轴向往复移动进行PCVD沉积,实现在衬管内壁的逐层沉积,参与沉积的混合反应气体从衬管的一端进入管内,衬管的另一端为排气端,排气端通过管道连接真空泵,其特征在于根据上一根被沉积的预制棒芯棒的截面积分布、折射率分布和折射率剖面,上一根预制棒芯棒不同时间被控制反应气体的流量,推算需要的截面积分布、折射率分布和折射率剖面实际需要的不同时间的被控制反应气体的流量,在芯棒沉积的不同径向和轴向位置,用快速流量控制模块和流量测量模块对反应气体的一种和多种进行精确流量控制,从而实现芯层的折射率、折射率剖面和截面积管内沉积的精确控制;直至沉积完成,最后将沉积完毕的衬管在电熔缩炉上进行熔缩得到实心芯棒。

2.按权利要求1所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于在进行精确流量控制的同时,控制谐振腔在芯棒不同轴向位置的速度,进行谐振腔往复移动速度的精确控制进而精确控制芯棒沉积参数。

3.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述的快速流量控制模块由流量控制计串接快速阀门组成。

4.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述的快速流量控制模块由流量控制计串接快速阀门后再与一流量控制计并接组成。

5.按权利要求3所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述的流量控制模块和流量测量模块共同实现精确负反馈控制,通过流量测量模块检测到的最终流量,控制函数反推出需要流量控制模块的动作,包括流量控制计开度和快速阀门打开时间比例。

6.按权利要求4所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述的流量控制模块和流量测量模块共同实现精确负反馈控制,通过流量测量模块检测到的最终流量,控制函数反推出需要流量控制模块的动作,包括流量控制计开度和快速阀门打开时间比例。

7.按权利要求5或6所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述的快速阀门的反应时间小等于500ms。

8.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述衬管的长度为1.0~2.5米,微波谐振腔的移动速度为10~30米/min,微波谐振腔的高频功率6KW~20KW。

9.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于所述的反应气体包括C2F6、C4F8、GeCl4、SiCl4的一种或多种,以及纯氧O2。

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