1.一种低温精馏提纯三氟化硼气体的工艺，其特征在于，包括以下步骤：
（1）将合成反应釜出来的三氟化硼原料气输送至缓冲罐，通过压缩机增压，压力保持在2.0-4.0MPa，进入液化罐冷凝器液化，冷凝器温度控制在-30到-50℃；所述原料气以体积分数计：SO3含量小于100ppm，SiF4含量小于50ppm，BF3大于98%；
（2）液化后的原料气由精馏塔中部的精馏塔原料进口进入精馏塔，控制进料流量100-150KG/h，精馏塔冷凝器冷剂温度控制在-30℃到-50℃，保持塔顶压力为3.0MPa-4.0MPa；
（3）正常运行后低沸点组分N2、O2由塔顶出气口控制排放，进入尾气吸收池；控制高沸点组分SO2浓度达到体积分数10%后，再开启塔釜排放阀门排放进入釜液收集罐；
（4）正常精馏塔进料速度，110-150KG/，监控产品出口处SO２含量，当SO２含量小于20ppm时，直接打开产品排放阀门从塔顶产品口出料，调节流量100-140KG/h，产品进入产品收集罐。
2.根据权利要求1所述的一种低温精馏提纯三氟化硼气体的工艺，其特征在于：所述精馏塔优选冷凝器冷剂温度-40℃，控制塔釜内物料温度15℃，精馏塔塔顶压力选用3.5MPa，塔顶与塔釜压差为0.02MPa。