用于直拉单晶炉的石墨加热器的制作方法

文档序号:12183689阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述石墨加热器包括加热器本体,所述加热器本体具有中轴线,所述加热器本体包括呈筒形的侧壁,所述侧壁上设置有多个第二开槽;所述第二开槽从所述加热器本体的底端向上轴向延伸,沿顶端向所述底端延伸的方向,所述第二开槽的宽度逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述加热器本体还包括多个第一开槽;所述第一开槽从所述侧壁的所述顶端向下轴向延伸,沿轴向方向所述第一开槽的宽度相同;所述石墨加热器还包括底部支撑脚,所述底部支撑脚设置于所述加热器本体下方以支撑所述加热器本体。

3.根据权利要求1所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述第二开槽的夹角为大于0°且小于或等于15°。

4.根据权利要求3所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述第二开槽的夹角为大于0°且小于或等于5°。

5.根据权利要求4所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述第二开槽的夹角为大于或等于1°且小于或等于2°。

6.根据权利要求2所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述加热器本体还包括内腔延伸部,所述内腔延伸部由所述侧壁的下端部向所述加热器本体的中轴线方向延伸。

7.根据权利要求6所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述内腔延伸部具有沿所述石墨加热器周向延伸的宽度和沿所述石墨加热器径向延伸的厚度,沿所述石墨加热器的径向方向从外向内,所述宽度逐渐变小和/或所述厚度逐渐变小。

8.根据权利要求6所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述内腔延伸部向所述中轴线方向延伸的距离小于或等于所述底部支撑脚向所述中轴线方向延伸的距离。

9.根据权利要求6所述的用于直拉单晶炉的石墨加热器,其特征在于,所述内腔延伸部的内侧面为圆弧形面,多个所述圆弧形面的圆心相同。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1