用于直拉单晶炉的石墨加热器的制作方法

文档序号:12183689阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种用于直拉单晶炉的石墨加热器。石墨加热器包括加热器本体,加热器本体具有中轴线,加热器本体包括呈筒形的侧壁,侧壁上设置有多个第二开槽;第二开槽从加热器本体的底端向上轴向延伸,沿顶端向底端延伸的方向,第二开槽的宽度逐渐增大。该石墨加热器能够提高能量的利用率,在满足硅料受热充分的情况下,降低能耗。

技术研发人员:邹凯;曾世铭;陈家俊;徐由兵;李英涛;田栋东
受保护的技术使用者:包头市山晟新能源有限责任公司
文档号码:201621013057
技术研发日:2016.08.31
技术公布日:2017.03.15

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