一种PECVD设备炉体支撑调节机构的制作方法

本实用新型涉及PECVD设备，尤其涉及一种PECVD设备炉体支撑调节机构。

背景技术：

PECVD （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，中文全称为离子体增强化学气相淀积）设备主要用于硅片太阳能器件制造中减反射膜的镀膜工艺，炉体是镀膜工艺的反应腔室，需要固定在支撑横梁上。为了保证推舟送片机构顺利进入炉体，就必须将炉体与推舟送片机构的相对位置对准，由于推舟送片机构是固定在送料滑台上的，无法调节，因此只能对炉体位置进行调节。炉体为圆柱形，长度一般在2米左右，外径一般在0.3-0.6米之间，重量约100-200千克，体积大、重量重，且支撑横梁会占用一定的高度空间，导致炉体的高度较高，进一步增加了炉体位置调节的难度。

现有的炉体支撑调节装置主要包括安装在支撑横梁上的四个坡面支架，调节时需要操作人员手动移动坡面支架，极为费力，调节的距离需要依靠操作人员的经验，非常不准确。此外，这种方法依靠斜面调节高度和前后方向上的距离，两个方向是同时进行的，不具有独立可调性，其调节并不完全可控。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、支撑高度低以便于炉体位置调节的PECVD设备炉体支撑调节机构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种PECVD设备炉体支撑调节机构，包括一对调节底座及一对支撑圆杆，一对支撑圆杆垂直安装于一对调节底座上，所述支撑圆杆与PECVD设备的炉体平行。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述调节底座包括前后调节座、上下调节座及一对竖梁，一对竖梁分设于上下调节座的前后两端，各竖梁与上下调节座之间设有上下调节组件，所述前后调节座设于所述上下调节座上、且前后调节座与上下调节座之间设有前后调节组件，所述支撑圆杆垂直安装于一对调节底座的前后调节座上。

所述上下调节组件包括上下调节固定螺栓、上下调节块和上下调节螺栓所述上下调节座通过所述上下调节固定螺栓与所述竖梁连接并于连接处开设沿上下方向布置的腰孔，所述上下调节块位于所述上下调节座下侧并与所述竖梁固定连接，所述上下调节螺栓与所述上下调节块螺纹连接且上端与所述上下调节座相抵。

所述上下调节组件还包括上下调节锁紧螺母，所述上下调节锁紧螺母设于所述上下调节螺栓上且位于所述上下调节块下侧。

所述前后调节组件包括前后调节固定螺栓、前后调节块、前后调节螺栓和一对前后调节锁紧螺母，所述前后调节座通过所述前后调节固定螺栓与所述上下调节座连接并于连接处开设沿前后方向布置的腰孔，所述前后调节块位于所述前后调节座前侧或后侧，所述前后调节块与所述上下调节座固定连接，所述前后调节螺栓与所述前后调节块螺纹连接，所述前后调节螺栓与所述前后调节座通孔连接，一对所述前后调节锁紧螺母设于所述前后调节螺栓上并分布于通孔连接处的前后两侧。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型公开的PECVD设备炉体支撑调节机构，利用一对与炉体平行布置（沿炉体长度方向布置）的支撑圆杆支撑炉体，利用调节底座调节支撑圆杆的位置，结构简单，支撑圆杆与炉体之间相切，减少高度空间的占用，从而可降低炉体的安装高度，有利于对炉体进行位置调节。

附图说明

图1是本实用新型PECVD设备炉体支撑调节机构的主视结构示意图。

图2是图1中的A-A示意图。

图3是图2的局部放大图。

图中各标号表示：1、调节底座；11、前后调节座；12、上下调节座；13、竖梁；14、上下调节组件；141、上下调节固定螺栓；142、上下调节块；143、上下调节螺栓；144、上下调节锁紧螺母；15、前后调节组件；151、前后调节固定螺栓；152、前后调节块；153、前后调节螺栓；154、前后调节锁紧螺母；2、支撑圆杆；3、炉体。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如图1、图2和图3所示，本实施例的PECVD设备炉体支撑调节机构，包括一对调节底座1及一对支撑圆杆2，一对支撑圆杆2垂直安装于一对调节底座1上，支撑圆杆2与PECVD设备的炉体3平行。该PECVD设备炉体支撑调节机构利用一对与炉体3平行布置（沿炉体长度方向布置）的支撑圆杆2支撑炉体3，利用调节底座1调节支撑圆杆2的位置，结构简单，支撑圆杆2与炉体3之间相切，从而可降低炉体3的安装高度，有利于对炉体3进行位置调节。

本实施例中，调节底座1包括前后调节座11、上下调节座12及一对竖梁13，一对竖梁13分设于上下调节座12的前后两端，各竖梁13与上下调节座12之间设有上下调节组件14，前后调节座11设于上下调节座12上、且前后调节座11与上下调节座12之间设有前后调节组件15，支撑圆杆2通过螺栓垂直安装于一对调节底座1的前后调节座11上。利用上下调节组件14整体调整上下调节座12、前后调节座11和支撑圆杆2的高度，利用前后调节组件15调节前后调节座11和其上的支撑圆杆2的前后位置，炉体3的高度方向和前后方向的调节独立、可控，调节更加方便，位置调节更准确。

本实施例中，上下调节组件14包括上下调节固定螺栓141、上下调节块142和上下调节螺栓143上下调节座12通过上下调节固定螺栓141与竖梁13连接并于连接处开设沿上下方向布置的腰孔，上下调节块142位于上下调节座12下侧并与竖梁13固定连接，上下调节螺栓143与上下调节块142螺纹连接且上端与上下调节座12相抵。

本实施例中，上下调节组件14还包括上下调节锁紧螺母144，上下调节锁紧螺母144设于上下调节螺栓143上且位于上下调节块142下侧，进一步提高了上下调节组件14的可靠性。

前后调节组件15包括前后调节固定螺栓151、前后调节块152、前后调节螺栓153和一对前后调节锁紧螺母154，前后调节座11通过前后调节固定螺栓151与上下调节座12连接并于连接处开设沿前后方向布置的腰孔，前后调节块152位于前后调节座11前侧或后侧，前后调节块152与上下调节座12固定连接，前后调节螺栓153与前后调节块152螺纹连接，前后调节螺栓153与前后调节座11通孔连接，一对前后调节锁紧螺母154设于前后调节螺栓153上并分布于通孔连接处的前后两侧。本实施例中，前后调节块152位于前后调节座11前侧。

本实用新型的工作原理如下：

需要调节炉体3的高度时：拧松上下调节固定螺栓141和上下调节锁紧螺母144后，拧紧上下调节螺栓143就可以推动上下调节座12往上移动，从而实现炉体3往上调节；反之，拧松上下调节螺栓143就可以让上下调节座12依靠重力往下移动，从而实现炉体3往下调节；调节完毕后，锁紧上下调节锁紧螺母144，以防止上下调节螺栓143松动。

需要调节炉体3的前后位置时，拧松前后调节固定螺栓151和通孔后侧的前后调节锁紧螺母154，再拧紧前后调节螺栓153就可以推动前后调节座11往后移动，从而实现炉体3往后调节；反之，拧松前后调节固定螺栓151和通孔前侧的前后调节锁紧螺母154，再拧松前后调节螺栓153就可以拉动前后调节座11往前移动，从而实现炉体3往前调节。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。