玻璃单面减薄方法及玻璃减薄设备与流程

本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种玻璃单面减薄方法及玻璃减薄设备。

背景技术：

随着主流市场对平板显示器(Flat Panel Display，以下简称FPD)轻薄化要求越来越高，玻璃的减薄工艺已经成为了FPD等终端显示产品能否实现轻薄化的重要技术手段。

应用于OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示器的TSP(Touch Screen Panel，触摸屏)玻璃，在对其进行薄化工艺时，需要对有ITO电路的一面进行保护，而另一面进行薄化。图1为现有的TSP玻璃在薄化前后的结构示意图。请参阅图1，在减薄前，在TSP玻璃1的其中一面粘贴有抗酸膜2，并且在TSP玻璃1的上、下两端固定有两个刻蚀夹具3，用以在将TSP玻璃1放入蚀刻槽中时，夹持TSP玻璃1。当进行薄化工艺时，抗酸膜2可以保护TSP玻璃1具有ITO电路的一面不被酸性反应液腐蚀，而TSP玻璃1的另一面被薄化。

在实际应用中，上述薄化工艺存在以下问题：由于在进行薄化工艺的过程中，TSP玻璃1与刻蚀夹具3之间会在玻璃边缘处产生接触和碰撞，这不仅很容易导致刻蚀夹角7对TSP玻璃1在二者边缘相接触的位置处的保护失效，从而影响了玻璃的边缘品质，加大了TSP玻璃1被反应液冲击造成的破片风险；而且，减薄后的玻璃还可能会出现多处渗酸点，酸性较强的反应液体会自渗酸点渗入并腐蚀玻璃，导致玻璃边缘的薄化厚度均一性不良，从而产品质量无法满足后续封装工序的需求。

技术实现要素：

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种玻璃单面减薄方法及玻璃减薄设备，其不仅可以提高玻璃的边缘品质，降低了破片风险，而且还可以提高玻璃边缘的薄化厚度均一性，从而可以保证后续封装工序顺利进行。

为实现本发明的目的而提供一种玻璃单面减薄方法，所述玻璃包括待减薄面和具有耐酸保护膜的抗酸膜面，包括以下步骤：

S1，将所述玻璃可分离地固定在亚克力板的固定面上，且所述玻璃的所述抗酸膜面朝向所述亚克力板的固定面；

S2，将固定有所述玻璃的所述亚克力板移入蚀刻槽，以对所述玻璃进行薄化处理；

S3，将所述玻璃自所述亚克力板分离。

优选的，所述步骤S1进一步包括以下子步骤：

S11，在所述亚克力板的固定面的四周边缘处设置易撕贴；所述易撕贴包括有胶部和无胶部，二者沿所述固定面的周向形成交界线，且所述无胶部位于所述有胶部的内侧，所述有胶部粘贴在所述亚克力板的固定面；

S12，使用双面胶将所述玻璃的所述抗酸膜面与所述无胶部粘贴在一起。

优选的，在所述步骤S3中，通过将所述有胶部和无胶部沿所述交界线相分离，来将所述玻璃自所述亚克力板分离。

优选的，还包括以下步骤：

对所述玻璃的刻蚀速率进行检测。

优选的，所述对所述玻璃的刻蚀速率进行检测，包括以下步骤：

将与所述玻璃的材质相同的样品进行分割，以获得玻璃小片；所述玻璃小片包括待减薄面和具有耐酸保护膜的抗酸膜面；

在进行所述步骤S2的同时，将所述玻璃小片与所述玻璃一同移入所述蚀刻槽，以对所述玻璃小片进行薄化处理；

检测所述玻璃小片的刻蚀速率，并将其视为所述玻璃的刻蚀速率。

优选的，所述耐酸保护膜的面积大于所述玻璃小片的面积。

优选的，同时对两片所述玻璃进行所述玻璃单面减薄方法；并且，

在所述步骤S1中，将所述亚克力板的互为正反面的两个表面均用作所述固定面；将两片所述玻璃分别可分离地固定在所述亚克力板的两个所述固定面。

作为另一个技术方案，本发明还提供一种玻璃减薄设备，所述玻璃包括待减薄面和具有耐酸保护膜的抗酸膜面，包括：

亚克力板，其固定面可分离地与所述玻璃固定，且所述玻璃的所述抗酸膜面朝向所述亚克力板的固定面；

蚀刻槽，用于对固定在所述亚克力板上的所述玻璃进行薄化处理。

优选的，还包括：

易撕贴，其设置在所述亚克力板的固定面的四周边缘处，并且所述易撕贴包括有胶部和无胶部，二者沿所述固定面的周向形成交界线，且所述无胶部位于所述有胶部的内侧，所述有胶部粘贴在所述亚克力板的固定面；

双面胶，用于将所述玻璃的所述抗酸膜面与所述无胶部粘贴在一起。

优选的，所述亚克力板的互为正反面的两个表面均为所述固定面；两个所述固定面分别可分离地与两个所述玻璃固定。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的玻璃单面减薄方法及玻璃减薄设备的技术方案中，使用亚克力板可分离地固定玻璃，且该玻璃的抗酸膜面朝向亚克力板，然后一起移入蚀刻槽进行薄化处理，并在完成薄化之后将玻璃自亚克力板分离。上述亚克力板可以在进行薄化工艺时，对玻璃边缘起到保护的作用，从而不仅可以提高玻璃的边缘品质，降低了破片风险，而且还可以提高玻璃边缘的薄化厚度均一性，从而可以保证后续封装工序顺利进行。

附图说明

图1为现有的TSP玻璃在薄化前后的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的玻璃单面减薄方法的流程框图；

图3为本发明实施例提供的玻璃减薄设备的结构图；

图4A为图3中I区域的放大图；

图4B为玻璃与亚克力板分离时的结构图；以及

图5为本发明实施例中对玻璃小片进行薄化处理的示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的玻璃单面减薄方法及玻璃减薄设备进行详细描述。

请一并参阅图2～图4B，玻璃12包括待减薄面(图3中玻璃12的右侧表面)和具有耐酸保护膜13的抗酸膜面(图3中玻璃12的左侧表面)。耐酸保护膜13用于保护玻璃12上的ITO电路。

玻璃单面减薄方法包括以下步骤：

S1，将玻璃12可分离地固定在亚克力板10的固定面101上，且该玻璃12的抗酸膜面朝向亚克力板10的固定面101，即，玻璃12的具有耐酸保护膜13的表面朝向固定面101。

S2，将固定有玻璃12的亚克力板10移入蚀刻槽(图中未示出)，以对玻璃12进行薄化处理。在实际应用中，可以利用专用夹具15夹持固定有玻璃12的亚克力板10。

S3，将玻璃12自亚克力板10分离。

通过使用亚克力板10可分离地固定玻璃12，可以在进行薄化工艺时，对玻璃12的边缘起到保护的作用，从而不仅可以提高玻璃12的边缘品质，降低了破片风险，而且还可以提高玻璃12边缘的薄化厚度均一性，从而可以保证后续封装工序顺利进行。

在本实施例中，上述步骤S1进一步包括以下子步骤：

S11，在亚克力板10的固定面101的四周边缘处设置易撕贴11。易撕贴11包括有胶部111和无胶部112，二者沿固定面101的周向形成交界线113，且无胶部112位于有胶部111的内侧，有胶部111具有粘性，且粘贴在亚克力板10的固定面101上，而无胶部112没有粘性。当然，本发明并不局限于此，在实际应用中，易撕贴11还可以根据具体情况自由设计其在亚克力板10上的位置，以及数量、尺寸和形状。

S12，使用双面胶14将玻璃12的抗酸膜面(该表面上具有耐酸保护膜13)与无胶部112粘贴在一起，从而将玻璃12与亚克力板10粘贴在一起。

进一步的，在上述步骤S3中，通过将有胶部111和无胶部112沿交界线113相分离，来将玻璃12自亚克力板10分离。在实际应用中，可以人工使用刀具将有胶部111和无胶部112沿交界线113相分离。由于无胶部112没有粘性，在将玻璃12自亚克力板10分离时，只需将有胶部111和无胶部112沿交界线113撕开即可，操作方便，且不会损坏亚克力板10和玻璃12。

优选的，在步骤S3之后，还包括以下步骤：

对亚克力板10进行清洗，以回收再利用，从而节省了工艺成本。

在实际应用中，上述易撕贴11和双面胶14均可以使用自动贴合机或者人工作业粘贴在亚克力板10上。玻璃12可以使用对位贴合机或者人工作业的方式固定在亚克力板10上。

优选的，玻璃单面减薄方法还包括以下步骤：

对玻璃12的刻蚀速率进行检测，从而获得玻璃12被减薄后的厚度，以确定其是否达到目标。若直接测量玻璃12的厚度，一旦其未达到目标，就需要对该玻璃12进行复工(rework)，然后重新将其固定在亚克力板10上，工艺效率较低。为此，优选的，本发明实施例提供的玻璃单面减薄方法采用以下方式对玻璃12的刻蚀速率进行检测，其包括以下步骤：

将与玻璃12的材质相同的样品进行分割，以获得玻璃小片17，如图5所示，例如该玻璃小片17为横截面积为20*20mm的正方形小片。与玻璃12相同的，该玻璃小片17同样包括待减薄面和具有耐酸保护膜16的抗酸膜面。

在进行上述步骤S2的同时，将玻璃小片17与玻璃12一同移入蚀刻槽，以对玻璃小片17进行薄化处理。也就是说，玻璃小片17和玻璃12同时进行薄化处理。例如，玻璃小片17可以安装在专用夹具15上。

检测该玻璃小片的刻蚀速率，并将其视为玻璃12的刻蚀速率。

由于玻璃小片17的材质与玻璃12相同，且玻璃小片17和玻璃12同时进行薄化处理，因此，玻璃小片17的刻蚀速率与玻璃12的刻蚀速率之间的差异很小，可以满足工艺要求。

表1

上述表1为检测该玻璃小片的刻蚀速率与实际刻蚀速率(即，实际产品的刻蚀速率)之间的差异进行试验。由表1可知，玻璃小片的刻蚀速率与实际刻蚀速率之间的差异小于0.05μm/min；玻璃小片的厚度与实际产品的厚度差异小于6mm，这没有超出将厚度为0.5mm的玻璃薄化至0.2mm的情况下，0.2±0.015mm的允许范围，从而可以满足工艺要求。

优选的，贴附在玻璃小片17上的耐酸保护膜16的面积大于玻璃小片17的面积，以对玻璃小片17的边缘进行保护。

优选的，可以同时对两片玻璃进行上述玻璃单面减薄方法。在这种情况下，在上述步骤S1中，将亚克力板10的互为正反面的两个表面均用作固定面101，如图3所示，亚克力板10的左、右两侧的表面均为固定面101。并且，将两片玻璃12分别可分离地固定在亚克力板10的两个固定面101。这样，可以同时对两片玻璃12进行减薄工艺，从而可以使产能加倍。

作为另一个技术方案，本发明还提供一种玻璃减薄设备，如图3所示，该玻璃12包括待减薄面和具有耐酸保护膜13的抗酸膜面。该玻璃减薄设备包括亚克力板10和蚀刻槽(图中未示出)。其中，亚克力板10的固定面101可分离地与玻璃12固定，且该玻璃12的抗酸膜面朝向亚克力板10的固定面。蚀刻槽用于对固定在亚克力板上的玻璃12进行薄化处理。

借助亚克力板10可分离地固定玻璃12，可以在进行薄化工艺时，对玻璃12的边缘起到保护的作用，从而不仅可以提高玻璃12的边缘品质，降低了破片风险，而且还可以提高玻璃12边缘的薄化厚度均一性，从而可以保证后续封装工序顺利进行。

在本实施例中，亚克力板10可分离地与玻璃12固定的方式具体为：玻璃减薄设备还包括易撕贴11和双面胶14。其中，易撕贴11设置在亚克力板10的固定面101的四周边缘处，并且易撕贴11包括有胶部111和无胶部112，二者沿固定面101的周向形成交界线，且无胶部112位于有胶部111的内侧，有胶部111具有粘性，且粘贴在亚克力板10的固定面101上，而无胶部112没有粘性。双面胶14用于将玻璃12的抗酸膜面与无胶部112粘贴在一起，从而实现玻璃12与亚克力板10的固定。当然，本发明并不局限于此，在实际应用中，易撕贴11还可以根据具体情况自由设计其在亚克力板10上的位置，以及数量、尺寸和形状。

在实际应用中，可以人工使用刀具将有胶部111和无胶部112沿交界线113相分离。由于无胶部112没有粘性，在将玻璃12自亚克力板10分离时，只需将有胶部111和无胶部112沿交界线113撕开即可，操作方便，且不会损坏亚克力板10和玻璃12。

优选的，亚克力板10的互为正反面的两个表面均为固定面101，并且两个固定面101分别可分离地与两个玻璃12固定。这样，可以同时对两片玻璃12进行减薄工艺，从而可以使产能加倍。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。