技术特征：
技术总结
本发明涉及多晶硅生产中尾气的提纯技术领域，公开了一种四氯化硅的净化方法及应用，四氯化硅的净化方法主要用于净化多晶硅生产中得到的四氯化硅，包括离子化步骤：将含有Cl2、含碳杂质的四氯化硅通入等离子体发生器使Cl2活化得到氯自由基，氯自由基与含碳杂质反应得到含氯化合物。该方法还包括分离步骤：将含氯化合物与四氯化硅分离。该方法能够应用于多晶硅的生产中。本发明的四氯化硅的净化方法能够较好的去除四氯化硅中的含碳杂质。
技术研发人员：宗冰;张宝顺;王体虎
受保护的技术使用者：亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
技术研发日：2017.06.27
技术公布日：2017.08.18