1.一种生长石墨烯的装置,其特征在于:包括反应腔(1)、进气机构和真空抽气机构,所述反应腔(1)内固定设置有用于将反应腔(1)分为生长室(3)和匀气室(4)的匀气筛(2),所述生长室(3)内固定设置有层层叠加的生长基底(5),所述进气机构和真空抽气机构均通过电磁阀与匀气室(4)连通。
2.如权利要求1所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述匀气室(4)的数量为两个,所述生长室(3)位于两个匀气室(4)之间,所述进气机构通过电磁阀与其中一个匀气室(4)连通,所述真空抽气机构通过电磁阀与另一个匀气室(4)连通。
3.如权利要求1所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述匀气室(4)的数量为两个,所述生长室(3)位于两个匀气室(4)之间,所述进气机构分别通过两个电磁阀与两个匀气室(4)连通,所述真空抽气机构分别通过两个电磁阀与两个匀气室(4)连通。
4.如权利要求1—3中任一项所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述进气机构包括气体室(8)、混气室(9)和管道,所述混气室(9)通过管道连接在气体室(8)和匀气室(4)之间,所述电磁阀位于混气室(9)与匀气室(4)之间。
5.如权利要求1—3中任一项所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述真空抽气机构包括真空泵(6)、针阀(7)和管道,所述针阀(7)通过管道连接在真空泵(6)与匀气室(4)之间,所述电磁阀位于针阀(7)与匀气室(4)之间。
6.如权利要求1—3中任一项所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述匀气室(4)内固定设置有气流挡板(10)。
7.如权利要求6所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述气流档板为弧形板。
8.如权利要求1所述的一种生长石墨烯的装置,其特征在于:所述生长室(3)内相邻两层生长基底(5)之间的间距为5mm。