平行度调节装置及cvd生长膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及调节装置技术领域，具体而言，涉及一种平行度调节装置及CVD生长膜装置。
【背景技术】
[0002]目前的大面积的CVD设备中，制备微晶膜层的加热下电极尺寸为1540mmX 1370mm，可以兼容两种基板玻璃尺寸:1400_\1100_和1245mmX 635mm。加热板作为下电极，和喷淋电极形成平行的等离子体放电区域。
[0003]在大面积的CVD设备中，平行度误差较大会影响成膜质量。
[0004]专利201210249414.9，名称为《可调电极间距及平行度的CVD生长膜腔》的文件中介绍了用可调螺栓调节波纹管腔体即可变腔体的高度，进而调节上下电极的距离及平行度。在上下电极距离固定时，调节两电极的平行度，可优化到测试点面内的均匀性小于2%的要求(mm晶圆内)。上述专利中的CVD生长膜腔为一圆形腔室，上电极固定在所述腔室上表面，下电极固定在所述腔体下表面，所述腔体中设置一可变腔体，用于调节所述上下电极之间的距离与平行度。
[0005]上述专利中的调节平行度的结构复杂，工件比较小，不便于支撑批量生产。为了满足微晶膜层的制备，急需要一种结构简单、便投入大面积的CVD设备的平行度调节装置。
【发明内容】
[0006]本发明的主要目的在于提供一种结构简单的平行度调节装置及CVD生长膜装置。
[0007]为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种平行度调节装置，平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体和第二板体之间的平行度，平行度调节装置包括:安装部；多个调节部，多个调节部安装在安装部上，各调节部均包括驱动组件和执行组件，执行组件包括执行件，执行件的第一端连接在第一板体的远离或靠近第二板体的侧面上，驱动组件驱动执行组件沿远离或靠近第二板体的方向运动。
[0008]进一步地，安装部上设置有安装孔，驱动组件包括:第一驱动件，第一驱动件安装在安装孔内，第一驱动件上设置有螺纹孔，螺纹孔的轴线与安装孔的轴线一致；第二驱动件，第二驱动件与第一驱动件配合并驱动第一驱动件在安装孔内转动；执行件的第二端安装在螺纹孔内，执行件的第二端设置有与螺纹孔的内螺纹配合的外螺纹。
[0009]进一步地，第一驱动件为涡轮，第二驱动件为与涡轮配合的蜗杆。
[0010]进一步地，安装孔为阶梯孔，第一驱动件的第一端位于阶梯孔的阶梯上；平行度调节装置还包括紧固组件，紧固组件固定设置在安装部上并搭靠在第一驱动件的第二端。
[0011]进一步地，紧固组件包括定位套和定位螺栓，定位套套设在执行件的外周并搭靠在第一驱动件的第二端，定位螺栓用于将定位套固定在安装部上。
[0012]进一步地，执行件的第二端设置有止挡块，止挡块的最大宽度大于螺纹孔的直径，执行件的第一端的最大宽度大于螺纹孔的最大宽度。
[0013]进一步地，第二板体位于第一板体的上方，平行度调节装置位于第一板体的底部，执行件的第一端设置有安装凹槽，平行度调节装置还包括支撑组件，支撑组件安装在安装凹槽内。
[0014]进一步地，支撑组件包括:护套，护套位于安装凹槽内，护套的与安装凹槽的槽底接触的面为球面；隔热支撑块，隔热支撑块设置在护套上并抵接在第一板体的底部。
[0015]进一步地，平行度调节装置还包括定位销，定位销穿过安装凹槽的槽壁以将护套限定在安装凹槽内。
[0016]进一步地，平行度调节装置还包括限位组件，限位组件固定设置在第一板体的底部，限位组件包括限位板，限位板上设置有限位槽，隔热支撑块的上端抵设在限位槽内。
[0017]进一步地，隔热支撑块为陶瓷块，护套为金属套。
[0018]进一步地，平行度调节装置还包括加长杆，加长杆固定连接在第二驱动件的第一端。
[0019]进一步地，平行度调节装置还包括间隔设置的多个接近开关，接近开关设置在第一板体或第二板体上。
[0020]根据本发明的另一方面，提供了一种CVD生长膜装置，包括上电极板、下电极板以及平行度调节装置，下电极板形成第一板体，上电极板形成第二板体，平行度调节装置为上述的平行度调节装置。
[0021]应用本发明的技术方案，本发明的平行度调节装置中具有多个调节部，且多个调节部的执行件均设置在第一板体的靠近或远离第二板体的侧面上，当需要对第一板体和第二板体的平行度进行调节的过程中，可以通过驱动组件驱动多个执行件运动，对第一板体和第二板体之间的距离进行调节以调节第一板体和第二板体之间的平行度。本发明的平行度调节装置的结构简单，能够实用于大面积的CVD设备中，便于提高大面积的CVD设备的生产效率。
【附图说明】
[0022]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0023]图1示意性示出了本发明的平行度调节装置的局部剖视图。
[0024]其中，上述附图包括以下附图标记:
[0025]100、第一板体；10、安装部；11、安装孔；20、调节部；21、驱动组件；211、第一驱动件；211a、螺纹孔；212、第二驱动件；22、执行组件；221、执行件；221a、安装凹槽；30、紧固组件；31、定位套；32、定位螺栓；40、止挡块；50、螺钉；60、支撑组件；61、护套；62、隔热支撑块；70、定位销；80、限位组件；81、限位板；811、限位槽；82、限位螺栓。
【具体实施方式】
[0026]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
[0027]参见图1所示，根据本发明的实施例，提供了一种平行度调节装置。在图1中，仅示出了平行度调节装置的一部分。
[0028]本发明的平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体100和第二板体(图中未示出)之间的平行度。
[0029]在本实施例中平行度调节装置包括安装部10和多个调节部20。
[0030]其中，多个调节部20安装在安装部10上(图1中仅示出了一个调节部20)，各调节部20均包括驱动组件21和执行组件22。执行组件22包括执行件221，该执行件221的第一端连接在第一板体100的远离或靠近第二板体的侧面上，便于对第一板体100和第二板体之间的距离进行调节，进而实现对第一板体100和第二板体之间的平行度进行的调节。调节第一板体100和第二板体之间的平行度的过程中，驱动组件21驱动执行组件22沿远离或靠近第二板体的方向运动，进而实现对第一板体100和第二板体之间的距离调节以实现第一板体100和第二板体之间的平行度的调节。
[0031]根据本实施例的平行度调节装置的结构可以知道，本实施例的平行度调节装置中具有多个调节部20，且多个调节部20的执行件均设置在第一板体100的靠近或远离第二板体的侧面上，当需要对第一板体100和第二板体的平行度进行调节的过程中，可以通过驱动组件21驱动多个执行件221运动，对第一板体100和第二板体之间的距离进行调节以调节第一板体100和第二板体之间的平行度。
[0032]本实施例的平行度调节装置的结构简单，能够实用于大面积的CVD设备中，便于提高大面积的CVD设备的生产效率。
[0033]在本实施例中，调节部20可以为四个或四个以上，四个调节部20设置在第一板体100的四个角上，便于调节第一板体100和第二板体之间的平行度进行调节。
[0034]再次参见图1所示，本实施例中的安装部10为安装板，为了安装调节部20，在安装板上开设有安装孔11。本实施例中的驱动组件21包括第一驱动件211和第二驱动件212，安装时，第一驱动件211可旋转地安装在安装孔11内，第二驱动件212与第一驱动件211配合连接。
[0035]本实施例的第一驱动件211上设置有螺纹孔211a，螺纹孔211a的轴线与安装孔11的轴线一致，执行件221的第二端安装在螺纹孔211a内，且该执行件221的第二端的端部设置有与螺纹孔211a的内螺纹配合的外螺纹。
[0036]在进行平行度调节的过程中，通过第二驱动件212驱动第一驱动件211在安装孔11内转动，在第一驱动件211转动的过程中，执行件221可以沿安装孔11的轴向移动，将第一驱动件211的旋转运动转化为执行件221的轴向方向的直线运动，当执行件221在安装孔11内做直线运动的过程中，可以推动第一板体100向靠近或远离第二板体的方向运动，进而实现对第一板体100和第二板体之间的平行度的调节。
[0037]在本发明的一种优选的实施例中，第一驱动件211为涡轮，第二驱动件212为与涡轮配合的蜗杆，通过蜗杆驱动涡轮在安装孔11内正反转实现对执行件221驱动，结构简单，便于实现。在本发明的其他实施例中，第一驱动件211和第二驱动件212还可以设置为传动齿轮，然后利用电机驱动，只要是在本发明的构思下其他变形方式，均在本发明的保护范围之内。
[0038]优选地，本实施例的平行度调节装置还包括加长杆(图中未示出)，该加长杆的第一端固定连接在第二驱动件212的第一端，通过加长杆的作用来带动第二驱动件212运动，便于将本实施例的平行度调节装置使用在大面积的CVD设置中。
[0039]优选地，本实施例的平行度调节装置还包括接近开关，该接近开关设置在第一板体100或第二板体上，通过接近开关的作用，便于检测第一板体100和第二板体的平行度。在本发明的其他实施例中，还可以将接近开关设置为接近式传感器或距离传感器等。
[0040]为了将第一驱动件211限定在安装孔11内容，本实施例中的安装孔11为阶梯孔，第一驱动件211的第一端位于阶梯孔的阶梯上，本实施例的平行度调节装置还包括紧固组件30，该紧固组件30固定设置在安装部10上并搭靠在第一驱动件211的第二端，通过阶梯孔的阶梯和紧固组件30的共同作用，可以稳定地将第一驱动件211限定在安装孔11内，防止第一驱动件211与执行件221之间发生打滑现象而无法对第一板体100和第二板体之间的平行度进行调节。
[0041]优选地，本实施例中的紧固组件30包括定位套31和定位螺栓32。
[0042]其中，定位套31套设在执行件221的外周并搭靠在第一驱动件211的第二端，定位螺栓32用于将定位套31固定在安装部10上，结构简单，安装方便快捷。
[0043]优选地，本实施例的执行件221的第二端设置有止挡块40，该