一种多工位坩埚下降炉的制作方法

文档序号:12986751阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多工位坩埚下降炉,包括坩埚;升降装置,炉体、隔热板;隔热板纵向设置在炉体的中间位置;其特征在于,所述的坩埚设置在所述的炉体的中央,所述的升降装置设置在所述的坩埚的下方;所述的坩埚的两侧设置第一组U型加热棒;在所述的炉体的下方设置第二组U型加热棒。

2.如权利要求1所述的一种多工位坩埚下降炉,其特征在于,所述的第一组U型加热棒和所述的第二组U型加热棒,为硅钼棒或硅碳棒,发热部分长度为10~100cm。

3.如权利要求1所述的一种多工位坩埚下降炉,其特征在于,所述的第一组U型加热棒的数量为2~20个,且竖直、平均分布在所述的炉体的上方。

4.如权利要求1所述的一种多工位坩埚下降炉,其特征在于,所述的第二组U型加热棒的数量为2~20个,且竖直、平均分布在所述的炉体的下方。

5.如权利要求4所述的一种多工位坩埚下降炉,其特征在于,所述的炉体为1-20个炉体并排组合,形成并排多工位。

6.如权利要求1所述的一种多工位坩埚下降炉,其特征在于,所述的升降装置穿过所述的炉体;在炉体的下方的外侧设置电机驱动变速装置,与所述的升降装置形成螺纹传动。

7.如权利要求6所述的一种多工位坩埚下降炉,其特征在于,所述的电机驱动变速装置包括电机、丝杆,所述的电机的右侧连接所述的丝杆;所述的丝杆与所述的升降装置形成十字连接;所述的电机为伺服电机,所述的丝杆为滚珠丝杆。

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