一种晶体生长装置的制作方法

本实用新型涉及晶体生长设备领域，尤其是一种晶体生长装置。

背景技术：

晶体生长炉是常用的一种晶体生长设备，晶体生长炉一般要配合晶体生长炉架使用，现有的晶体生长炉及晶体生长炉架是单独的，每次使用都要调节好晶体生长炉及晶体生长炉架相对位置，使用比较麻烦。

技术实现要素：

因此，本实用新型提供了一种晶体生长装置，以解决上述问题。

本实用新型的技术方案是：一种晶体生长装置，包括晶体生长炉及晶体生长炉架，所述晶体生长炉架包括底座、第一立柱、第二立柱、顶架、横梁、平衡铁，所述第一立柱和第二立柱分别与所述底座和所述顶架连接；所述横梁的一端安装有第一直线轴承，所述横梁通过第一直线轴承活动地套于第一立柱上，所述横梁的另一端固定有晶转电机；所述顶架上安装有导向轮，所述平衡铁上连接有拉绳，所述拉绳通过所述导向轮与所述横梁连接；所述平衡铁上安装有第二直线轴承，所述平衡铁通过第二直线轴承活动地套于第二立柱上；所述底座上安装有旋转电机，所述旋转电机与所述晶体生长炉连接。

可选的，所述底座上均匀的设置有多个滚珠，所述晶体生长炉位于多个所述滚珠上。

可选的，所述晶体生长炉包括壳体及位于壳体内的容置空间，壳体内部安装有电热丝和热电偶；所述旋转电机上安装有电刷，所述电热丝及热电偶与所述电刷连接。

可选的，所述晶体生长炉上还设置有炉盖，所述炉盖上设置有观察窗。

可选的，所述第一立柱或所述第二立柱内安装有两端密封的透明玻璃管，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；所述透明玻璃管内有透明液体及浮球，所述浮球通过线连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；所述第一立柱或所述第二立柱上有开口，所述开口上有与所述开口大小和形状配合的透明塑料板，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述开口上。

可选的，所述横梁包括平衡梁、第一调节梁和第二调节梁，所述第二调节梁上固定有晶转电机，所述第一调节梁的形状为一端开口的方形，所述开口的方向背向所述第一立柱，所述第一调节梁的另一端与所述平衡梁连接，所述开口内安装有固定杆，所述第二调节梁活动的套于所述固定杆上，所述第一调节梁和所述第二调节梁通过丝杠连接。

可选的，所述丝杠包括丝杆和螺套，所述螺套安装于所述第二调节梁上，所述第一调节梁在竖直方向上设置有轴承，所述丝杆穿过所述轴承与螺套。

可选的，所述螺套为滚珠螺套。

可选的，所述壳体上安装有温度控制器，所述温度控制器通过电刷分别与所所述电热丝及热电偶连接。

本实用新型提供的晶体生长装置，将晶体生长炉及晶体生长炉架设置为一体，使用方便，并且晶体生长炉可旋转，适用性更广泛。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的晶体生长装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型另一个实施例的晶体生长装置的结构示意图；

图3是根据本实用新型另一实施例的晶体生长装置的结构示意图；

图4是根据本实用新型另一实施例的晶体生长装置的结构示意图；

图5是根据本实用新型另一实施例的晶体生长装置的结构示意图；

图6是图5在A处的放大图；

图7是根据本实用新型另一实施例的晶体生长装置的结构示意图；

其中，11、底座；12、第一立柱；13、第二立柱；14、顶架；15、导向轮；16、横梁；17、平衡铁；18、拉绳；19、晶转电机；20、第一直线轴承；21、第二直线轴承；161、平衡梁；162、第一调节梁；163、第二调节梁；164、固定杆；165、丝杆；166、螺套；167、轴承；168、提拉电机；101、壳体；102、容置空间；103、电热丝；104、热电偶；105、电刷；106、观察窗；107、孔；111、晶体生长炉；112、旋转电机；113、滚珠；37、透明玻璃管；38、凸起条；39、透明液体；40、浮球；41、线；42、开口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案详细描述。

参见图1，是本实用新型提供的一种晶体生长装置的结构示意图，该晶体生长装置包括晶体生长炉111及晶体生长炉架，所述晶体生长炉架包括底座11、第一立柱12、第二立柱13、顶架14、横梁16、平衡铁17，所述第一立柱和第二立柱分别与所述底座和所述顶架连接；所述横梁的一端安装有第一直线轴承20，所述横梁通过第一直线轴承活动的套于第一立柱上，所述横梁的另一端固定有晶转电机19；所述顶架上安装有导向轮15，所述平衡铁上连接有拉绳18，所述拉绳通过所述导向轮与所述横梁连接；所述平衡铁上安装有第二直线轴承21，所述平衡铁通过第二直线轴承活动的套于第二立柱上；所述底座上安装有旋转电机112，所述旋转电机与所述晶体生长炉连接。底座上最好设置有固定孔36以方便将晶体生长炉架固定住，横梁和平衡铁上最好还设置紧固旋钮以方便将横梁和平衡铁在第一立柱和第二立柱上定位。

参见图2，所述底座上最好均匀的设置有多个滚珠113，所述晶体生长炉位于多个所述滚珠上。可减小晶体生长炉对电机的压力，防止电机轴损坏，并且减小晶体生长炉在旋转中与底座的摩擦

参见图3，所述晶体生长炉具体可以是包括壳体101及位于壳体内的容置空间102，壳体内部安装有电热丝103和热电偶104；所述旋转电机上安装有电刷105，所述电热丝及热电偶与所述电刷连接，通过电刷，可防止电热丝和热电偶进线缠绕壳体或电机而妨碍壳体旋转，并且保持电热丝和热电偶不间断供电，所述壳体上最好还安装有温度控制器，所述温度控制器通过电刷分别与所所述电热丝及热电偶连接，这样可通过温度控制器控制晶体生长炉内温度，使用方便且温度控制更精确。

参见图4，所述晶体生长炉上还可以设置有炉盖，所述炉盖上设置有观察窗106，以方便对晶体生长过程的观察与调节。炉盖上还可以设置用于籽晶杆进入的孔107。

参见图5和图6，本申请中，所述第一立柱内安装有两端密封的透明玻璃管37，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条38，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；所述透明玻璃管内有透明液体39及浮球40，所述浮球通过线41连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；安装透明玻璃管时，透明玻璃管连线的一端位于未连线的一端的正下方，所述第一立柱上有观察口42，所述观察口上有与所述观察口大小和形状配合的透明塑料板，用于保护透明玻璃管，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述观察口上。这种结构，在对晶体生长炉架固定时，可以通过观察线与两个凸起条的偏移可看出晶体生长炉架安放位置是否平整，从而可防止晶体生长炉架固定倾斜。具体的，从两个凸起条处分别看线都没有偏移时说明晶体生长炉架安放位置平整。当然透明玻璃管也可以安装于第二立柱内，其结构和原理与安装于第一立柱内相同，此处不再赘述。

参见图7，本申请中，所述横梁包括平衡梁161、第一调节梁162和第二调节梁163，所述第二调节梁上固定有晶转电机，所述第一调节梁的形状为一端开口的方形，所述开口的方向背向所述第一立柱，所述第一调节梁的另一端与所述平衡梁连接，所述开口内安装有固定杆164，所述第二调节梁活动的套于所述固定杆上，所述第一调节梁和所述第二调节梁通过丝杠连接，丝杠优选使用滚珠丝杠，具体的，所述丝杠包括丝杆165和螺套166，螺套优选为滚珠螺套，所述螺套安装于所述第二调节梁上，所述第一调节梁在竖直方向上设置有轴承167，所述丝杆穿过所述轴承与螺套，丝杆与轴套可以过盈配合或直接焊接，丝杆上可以还安装有提拉电机168，通过提拉电机调节第二调节梁与第一调节梁的相对位置方便快捷，尤其是再配合上电机控制器，可大大提高调节的精确度。

上述实施例只是本实用新型的例示，不应当以说明书及附图的例示性实施例描述限制专利权的保护范围。

上面结合附图对本实用新型优选的具体实施方式和实施例作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式和实施例，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型构思的前提下作出各种变化。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。单词第一、第二以及第三等的使用不表示任何顺序，可将这些单词解释为名称。