技术总结
本实用新型公开了一种提纯三氯氢硅的精馏设备，包括预塔、第一精馏塔、第二精馏塔和第三精馏塔；预塔的塔顶设有预塔冷凝器，预塔冷凝器的冷凝液出口与预塔回流罐的进料口连接，预塔回流罐的出料口与预塔的回流口连接；预塔的塔底出料口设有预塔再沸器，预塔再沸器依次连接三氯氢硅进料槽、三氯氢硅进料泵；所述三氯氢硅进料泵与第一精馏塔的进料口连接，第一精馏塔的顶部设有精馏塔冷凝器一，精馏塔冷凝器一的冷凝液出口与第二精馏塔的进料口连接；第二精馏塔的塔底出料口设有精馏塔再沸器，精馏塔再沸器与第三精馏塔的进料口连接，第三精馏塔的塔顶设有精馏塔冷凝器。本实用新型实现了降低三氯氢硅中所含杂质的技术效果。
技术研发人员：陈道伟;郑云峰;汪玉林;毛彩珠;余晖
受保护的技术使用者：浙江开化合成材料有限公司
技术研发日：2017.11.22
技术公布日：2018.07.10